JPH01110267U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01110267U JPH01110267U JP463988U JP463988U JPH01110267U JP H01110267 U JPH01110267 U JP H01110267U JP 463988 U JP463988 U JP 463988U JP 463988 U JP463988 U JP 463988U JP H01110267 U JPH01110267 U JP H01110267U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holder
- fixing
- fixing plate
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図〜第３図は本考案の１具体例である基板
固定用ホルダーの説明図である。第１図は基板固
定用ホルダーの平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ
断面図、第３図は第１図のＢ―Ｂ断面図である。 １：ホルダー本体、２：固定板、３：スプリン
グ、４：スプリング支持具、５：ストツパー、６
：突起部、７：基板。
固定用ホルダーの説明図である。第１図は基板固
定用ホルダーの平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ
断面図、第３図は第１図のＢ―Ｂ断面図である。 １：ホルダー本体、２：固定板、３：スプリン
グ、４：スプリング支持具、５：ストツパー、６
：突起部、７：基板。
Claims (1)
- 分子線結晶成長法に用いる基板固定用ホルダー
において、基板の周囲を包む環状ホルダー本体と
、基板端部を先端のＶ字形溝内に受けて押圧支持
する固定板とからなり、該固定板はホルダー本体
の溝に沿つて摺動可能に設置し、板バネ若しくは
線条バネの両端をホルダー本体の支持具に固定し
、固定板のストツパーを該板バネ若しくは線条バ
ネに係合することにより、基板に対する押圧力を
固定板に付与するようにしたことを特徴とする基
板固定用ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP463988U JPH01110267U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP463988U JPH01110267U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110267U true JPH01110267U (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=31207327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP463988U Pending JPH01110267U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110267U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120821A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-23 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 集積回路デバイスの製造方法 |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP463988U patent/JPH01110267U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120821A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-23 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 集積回路デバイスの製造方法 |
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