JPH01110830U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01110830U JPH01110830U JP570288U JP570288U JPH01110830U JP H01110830 U JPH01110830 U JP H01110830U JP 570288 U JP570288 U JP 570288U JP 570288 U JP570288 U JP 570288U JP H01110830 U JPH01110830 U JP H01110830U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- liquid
- chambers
- partition wall
- outside
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
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Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案バプラーの一実施例を示す模式
的断面図、第２図は本考案バプラーを使用して、
ＡｌＧａＩｎＰ系半導体レーザを作製するＭＯＣ
ＶＤ装置への適用例を示す概略図、第３図は従来
のバブラーを使用して、ＡｌＧａＩｎＰ系半導体
レーザを作製するＭＯＣＶＤ装置を示す概略図で
ある。 １…シリンダ、２…隔壁、３…有機金属原料、
４…送入管、５…送出管、６…開口部。
的断面図、第２図は本考案バプラーを使用して、
ＡｌＧａＩｎＰ系半導体レーザを作製するＭＯＣ
ＶＤ装置への適用例を示す概略図、第３図は従来
のバブラーを使用して、ＡｌＧａＩｎＰ系半導体
レーザを作製するＭＯＣＶＤ装置を示す概略図で
ある。 １…シリンダ、２…隔壁、３…有機金属原料、
４…送入管、５…送出管、６…開口部。
Claims (1)
- 液体が収容されたシリンダと、該シリンダ内を
複数の部屋に仕切るべく配置された隔壁と、上記
各部屋毎に設けられ、上記シリンダの外部から気
体を当該シリンダ内の液体中に送り込む送入管及
び上記液体中を通過した上記気体を当該シリンダ
の外部に送り出す送出管と、該送入管の吹出口よ
りも下方の上記隔壁に設けられ、上記各部屋を連
通する開口部と、を備えたことを特徴とするバブ
ラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP570288U JPH01110830U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP570288U JPH01110830U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110830U true JPH01110830U (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=31209307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP570288U Pending JPH01110830U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110830U (ja) |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP570288U patent/JPH01110830U/ja active Pending