JPH01111707A - ダイヤモンド微粒子の製造方法 - Google Patents
ダイヤモンド微粒子の製造方法Info
- Publication number
- JPH01111707A JPH01111707A JP62267141A JP26714187A JPH01111707A JP H01111707 A JPH01111707 A JP H01111707A JP 62267141 A JP62267141 A JP 62267141A JP 26714187 A JP26714187 A JP 26714187A JP H01111707 A JPH01111707 A JP H01111707A
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- JP
- Japan
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- particles
- substrate material
- base material
- diamond
- chemicals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、研磨材等として利用可能なダイヤモンド粉末
及びその製造方法に関する。
及びその製造方法に関する。
本発明は、気相合成法により、繊維状の基板材表面にダ
イヤモンド微粒子を析出させた後、基板材のみを薬品溶
解除去することによりダイヤモンド微粒子粉末を生産性
良く回収するというものである。
イヤモンド微粒子を析出させた後、基板材のみを薬品溶
解除去することによりダイヤモンド微粒子粉末を生産性
良く回収するというものである。
公知の如く、工業用の研磨材として広く使用されている
ダイヤモンド粉末を人工的に合成する方法としては、静
的超高圧法や衝撃圧縮法が一般に用いられている。
ダイヤモンド粉末を人工的に合成する方法としては、静
的超高圧法や衝撃圧縮法が一般に用いられている。
しかし、気相合成法により基板材表面に析出させたダイ
ヤモンド微粒子を基板材表面から分離して粉末として回
収するための有効な手段は特に提案されてはいなかった
。
ヤモンド微粒子を基板材表面から分離して粉末として回
収するための有効な手段は特に提案されてはいなかった
。
仮に、気相合成法でごく一般的に用いられる板状（ウェ
ハー状）や塊状の基板材の表面にダイヤモンド微粒子を
合成した後、これを基板材から分離して粉末として回収
使用とした場合、以下のような問題点が考えられる。
ハー状）や塊状の基板材の表面にダイヤモンド微粒子を
合成した後、これを基板材から分離して粉末として回収
使用とした場合、以下のような問題点が考えられる。
■ 板状や塊状の基板材では、単位体積当たりの表面積
が小さいため、ダイヤモンド微粒子の核発生場所が少な
い。故に、１バツチ当たりのダイヤモンド微粒子の析出
量が少なくなり、生産性が悪い。
が小さいため、ダイヤモンド微粒子の核発生場所が少な
い。故に、１バツチ当たりのダイヤモンド微粒子の析出
量が少なくなり、生産性が悪い。
■ 板状や塊状の基板材表面に付着析出している微粒子
は付着性が良いため、効率的に基板材から剥離させて回
収することは非常に困難である。
は付着性が良いため、効率的に基板材から剥離させて回
収することは非常に困難である。
機械的な手段、例えば基板材表面をグラインダー等で研
削することにより回収しようとすると、基板材の表面層
も同時に混入してしまうという不具合が生じるし、そも
そもこの方法は面倒であり非効率的でもある。
削することにより回収しようとすると、基板材の表面層
も同時に混入してしまうという不具合が生じるし、そも
そもこの方法は面倒であり非効率的でもある。
本発明は、これらの問題点を解決し、気相法により合成
したダイヤモンド微粒子を基板材表面層の混入を抑えて
、しかも生産性良く効率的に回収することを目的とした
ものである。
したダイヤモンド微粒子を基板材表面層の混入を抑えて
、しかも生産性良く効率的に回収することを目的とした
ものである。
本発明において、ダイヤモンド微粒子を合成するための
気相合成法としては、プラズマＣＶＤ法（特開昭５８−
１５６５９４） 、熱ＣＶＤ法（特開昭５８−１１０４
９４） 、光ＣＶＤ法、イオンビーム法、イオン化７着
法等があるが、いずれを用いても良い。
気相合成法としては、プラズマＣＶＤ法（特開昭５８−
１５６５９４） 、熱ＣＶＤ法（特開昭５８−１１０４
９４） 、光ＣＶＤ法、イオンビーム法、イオン化７着
法等があるが、いずれを用いても良い。
これらの気相合成法を用いて、金属繊維またはガラス繊
維または炭素繊維の集合体（例えば綿状や布状や鋼状等
の集合体）からなる基板材にダイヤモンド微粒子を析出
させる。
維または炭素繊維の集合体（例えば綿状や布状や鋼状等
の集合体）からなる基板材にダイヤモンド微粒子を析出
させる。
次に、このダイヤモンド微粒子の析出した基板材を液状
の化学薬品中に浸漬することにより、基板材を構成する
繊維材のみを溶解除去し、溶解せずに粉末状となって残
ったダイヤモンド微粒子を液中から回収する。
の化学薬品中に浸漬することにより、基板材を構成する
繊維材のみを溶解除去し、溶解せずに粉末状となって残
ったダイヤモンド微粒子を液中から回収する。
尚、ダイヤモンド微粒子は、あらゆる酸、アルカリに対
して安定であり不溶性であるから繊維材を溶解するため
の化学薬品としては、その繊維材を溶解し得るものであ
れば何を用いても良い。
して安定であり不溶性であるから繊維材を溶解するため
の化学薬品としては、その繊維材を溶解し得るものであ
れば何を用いても良い。
上述の如く、金属繊維またはガラス繊維または炭素繊維
の集合体からなる基板材を用いれば、板状や塊状の基板
材に比べて単位体積当たりの表面積が大きいため、ダイ
ヤモンド微粒子の析出層が多くなり、即ち１バソ千当た
りの回収量が増えて生産性が向上する。
の集合体からなる基板材を用いれば、板状や塊状の基板
材に比べて単位体積当たりの表面積が大きいため、ダイ
ヤモンド微粒子の析出層が多くなり、即ち１バソ千当た
りの回収量が増えて生産性が向上する。
また、表面積の大きいもの程、液状薬品に対する溶解速
度が大きいため、繊維集合体からなる基板材は速やかに
、極めて効率的に溶解除去され、この点でも生産性が良
いと言える。
度が大きいため、繊維集合体からなる基板材は速やかに
、極めて効率的に溶解除去され、この点でも生産性が良
いと言える。
また、繊維材を液状薬品中に必要十分な時間だけ浸漬す
ることにより完全に溶解してしまえば、回収されたダイ
ヤモンド微粒子粉末中に、基板材の表面層が不純物とし
て混入する恐れもなく極めて純粋なダイヤモンド微粒子
粉末を回収するとかできる。
ることにより完全に溶解してしまえば、回収されたダイ
ヤモンド微粒子粉末中に、基板材の表面層が不純物とし
て混入する恐れもなく極めて純粋なダイヤモンド微粒子
粉末を回収するとかできる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に示す様な直径約１０μｍのｔＲ（ＣＩ）繊維か
らなる綿状の基板材１を用意し、これにマイクロ波プラ
ズマＣＶＤ法（特開昭５８−５６５９４）により直径２
〜４μｍのダイヤモンド微結晶２を析出させる（第２図
）。
らなる綿状の基板材１を用意し、これにマイクロ波プラ
ズマＣＶＤ法（特開昭５８−５６５９４）により直径２
〜４μｍのダイヤモンド微結晶２を析出させる（第２図
）。
表１に、今回我々が採用したマイクロ波プラズマＣＶＤ
法の設定条件の一例を示す。
法の設定条件の一例を示す。
表１ マイクロ波プラズマＣＶＤ法の設定条件次にこの
ダイヤモンド微粒子の析出した基板材を、例えば、硝酸
（ｌｌＮＯ３）溶液３中に１５分間浸漬することにより
（第３図）、７３板材を構成する銅繊維のみを完全に溶
解すれば、ダイヤモンド微粒子が粉末状となって残る（
第４図）。
ダイヤモンド微粒子の析出した基板材を、例えば、硝酸
（ｌｌＮＯ３）溶液３中に１５分間浸漬することにより
（第３図）、７３板材を構成する銅繊維のみを完全に溶
解すれば、ダイヤモンド微粒子が粉末状となって残る（
第４図）。
これに濾過等の方法を施すことにより、ダイヤモンド微
粒子粉末を回収することができる。ちなみに、上述の如
く綿状の銅繊維を基板材として用いた場合と、通常の如
く板状の銅繊維を基板材として用いた場合の１バツチ当
たりのダイヤモンド微粒子の回収量をマイクロ波プラズ
マＣＶＤ法における析出時間を同一にして比較した結果
、前者の方が後者の約１．５〜１．８倍の回収量（重量
比）を得ることができ、生産性が高いことを確認した。
粒子粉末を回収することができる。ちなみに、上述の如
く綿状の銅繊維を基板材として用いた場合と、通常の如
く板状の銅繊維を基板材として用いた場合の１バツチ当
たりのダイヤモンド微粒子の回収量をマイクロ波プラズ
マＣＶＤ法における析出時間を同一にして比較した結果
、前者の方が後者の約１．５〜１．８倍の回収量（重量
比）を得ることができ、生産性が高いことを確認した。
また、本発明により得られたダイヤモンド微粒子粉末を
電子線解析及びラマン分光分析により評価した結果、極
めて純度の高いダイヤモンド結晶からなる粉末であるこ
とが確認できた。
電子線解析及びラマン分光分析により評価した結果、極
めて純度の高いダイヤモンド結晶からなる粉末であるこ
とが確認できた。
上述の如く本発明によれば、１バツチ当たりのダイヤモ
ンド微粒子粉末の回収量を増やして生産性を向上させ、
しかも不純物の混入しない極めて純粋なダイヤモンド微
粒子粉末を効率的に得ることができる。
ンド微粒子粉末の回収量を増やして生産性を向上させ、
しかも不純物の混入しない極めて純粋なダイヤモンド微
粒子粉末を効率的に得ることができる。
第１図〜第４図は全て、本発明の製造工程の説明図であ
り、第１図は金属繊維の説明図、第２図はダイヤモンド
微粒子が析出された説明図、第３図は基板材を除去する
説明図、第４図はダイヤモンド微粒子が回収された説明
図である。 １・・・銅（Ｃｕ）繊維から成る綿状の基板材２・・・
ダイヤモンド微粒子 ３・・・硝酸（ＩＩＮ（＋３）溶液 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 繊７惟Ｉ７′ｌ集合体の吉に日月間 第１図 繊維と途去オろ説明図 第３図 第２図 デイヤモントｉ粒子か 回収さＫｒ／−８２哨図 第４図
り、第１図は金属繊維の説明図、第２図はダイヤモンド
微粒子が析出された説明図、第３図は基板材を除去する
説明図、第４図はダイヤモンド微粒子が回収された説明
図である。 １・・・銅（Ｃｕ）繊維から成る綿状の基板材２・・・
ダイヤモンド微粒子 ３・・・硝酸（ＩＩＮ（＋３）溶液 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 繊７惟Ｉ７′ｌ集合体の吉に日月間 第１図 繊維と途去オろ説明図 第３図 第２図 デイヤモントｉ粒子か 回収さＫｒ／−８２哨図 第４図
Claims (1)
- 金属繊維またはガラス繊維または炭素繊維の集合体か
らなる基板材に、気相合成法によりダイヤモンド微粒子
を析出させた後、該基板材のみを薬品溶解除去すること
により分離回収されるダイヤモンド微粒子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267141A JPH01111707A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | ダイヤモンド微粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267141A JPH01111707A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | ダイヤモンド微粒子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01111707A true JPH01111707A (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=17440650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62267141A Pending JPH01111707A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | ダイヤモンド微粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01111707A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5183529A (en) * | 1990-10-29 | 1993-02-02 | Ford Motor Company | Fabrication of polycrystalline free-standing diamond films |
| US5614272A (en) * | 1992-11-19 | 1997-03-25 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making small dimensional diamond-coated graphite articles |
| US6020677A (en) * | 1996-11-13 | 2000-02-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Carbon cone and carbon whisker field emitters |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP62267141A patent/JPH01111707A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5183529A (en) * | 1990-10-29 | 1993-02-02 | Ford Motor Company | Fabrication of polycrystalline free-standing diamond films |
| US5614272A (en) * | 1992-11-19 | 1997-03-25 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making small dimensional diamond-coated graphite articles |
| US6020677A (en) * | 1996-11-13 | 2000-02-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Carbon cone and carbon whisker field emitters |
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