JPH01112090A - 流量制御弁 - Google Patents
流量制御弁Info
- Publication number
- JPH01112090A JPH01112090A JP27120687A JP27120687A JPH01112090A JP H01112090 A JPH01112090 A JP H01112090A JP 27120687 A JP27120687 A JP 27120687A JP 27120687 A JP27120687 A JP 27120687A JP H01112090 A JPH01112090 A JP H01112090A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- piezoelectric
- control valve
- piezoelectric element
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 7
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置、真空蒸着装置等に用いるプ
ロセスガスの流量を制御する制御弁に関するものである
。
ロセスガスの流量を制御する制御弁に関するものである
。
従来、特開昭６１−２３６９７４号に開示された如くユ
ニモルフ等の複合圧電素子を用いて弁を構成する場合は
、第４図に示す如く、圧電素子ｌの周辺を何らかの手段
で固定し、圧電素子の中心部の最大たわみを利用して流
量制御を行なっていた。
ニモルフ等の複合圧電素子を用いて弁を構成する場合は
、第４図に示す如く、圧電素子ｌの周辺を何らかの手段
で固定し、圧電素子の中心部の最大たわみを利用して流
量制御を行なっていた。
しかしながら上記の手段では、周辺の固定方法あるいは
固定強度等によって、大幅に圧電素子の変位特性が変わ
り、再現性に影響を与え、流量制御の際に大きな偏差を
生じるという問題点があった。
固定強度等によって、大幅に圧電素子の変位特性が変わ
り、再現性に影響を与え、流量制御の際に大きな偏差を
生じるという問題点があった。
本発明は、流体の流量を制御する流量制御弁において、
アクチュエータに圧電バイモルフあるいは圧電ユニモル
フ等の圧電による歪を屈曲変位に変換する圧電素子を用
いて、前記圧電素子の中心部を固定し、周辺部の屈曲変
位を発生させ、その力の均一化を図り、上記手段により
得られた変位で流体の流量を制御することを特徴とする
特許御弁である。
アクチュエータに圧電バイモルフあるいは圧電ユニモル
フ等の圧電による歪を屈曲変位に変換する圧電素子を用
いて、前記圧電素子の中心部を固定し、周辺部の屈曲変
位を発生させ、その力の均一化を図り、上記手段により
得られた変位で流体の流量を制御することを特徴とする
特許御弁である。
本発明の一実施例を第１図に示す。厚さ０．３ ｎ直径
１５ｍｍのチタン酸ジルコン酸鉛から成る圧電素子の薄
板に、電極を形成し、同寸法のステンレ′ ス板を貼
りあわせた圧電素子１の中心部にφ２．５鶴の穴をあけ
、図の如く、Ｍ２のねじで固定した。
１５ｍｍのチタン酸ジルコン酸鉛から成る圧電素子の薄
板に、電極を形成し、同寸法のステンレ′ ス板を貼
りあわせた圧電素子１の中心部にφ２．５鶴の穴をあけ
、図の如く、Ｍ２のねじで固定した。
一方、弁室内には直径０．４鶴の穴を２つあけ、それぞ
れを流入口３、流出口４とする。今、圧電素子への印加
電圧ゼロの時には、圧電素子はフラットな状態になって
いるため、ガス流入口及びガス流出口は閉じ、ガスは流
れない。逆に電圧を印加した際には、圧電素子は屈曲変
位し、それにより流入口及び流出口は開き、ガスは流れ
る。第５図に本発明バルブの流量と電圧の関係を示す。
れを流入口３、流出口４とする。今、圧電素子への印加
電圧ゼロの時には、圧電素子はフラットな状態になって
いるため、ガス流入口及びガス流出口は閉じ、ガスは流
れない。逆に電圧を印加した際には、圧電素子は屈曲変
位し、それにより流入口及び流出口は開き、ガスは流れ
る。第５図に本発明バルブの流量と電圧の関係を示す。
ガス流路の断面積が小さいため、大流量には向いていな
いが、本実施例の如く微少流量制御は充分に可能である
。
いが、本実施例の如く微少流量制御は充分に可能である
。
第２図に本発明の別の実施例を示す。基本構成は上記実
施例と同様であるが、ガス流入口３及びガス流出口４の
穴径をそれぞれφ１．５Ｒにする為、ユニモルフの背面
よりバックアップばね７により、圧力を加えた。この際
の流量と電圧の関係を第３図に示す。実施例１に比べる
と、比較的流量の大きなものでも制御することが可能に
なった。
施例と同様であるが、ガス流入口３及びガス流出口４の
穴径をそれぞれφ１．５Ｒにする為、ユニモルフの背面
よりバックアップばね７により、圧力を加えた。この際
の流量と電圧の関係を第３図に示す。実施例１に比べる
と、比較的流量の大きなものでも制御することが可能に
なった。
本発明によれば、従来不充分であった複合圧電素子の固
定法に起因する再現性不良及び、流量制御性の不良は大
幅に改善され、再現性に優れた流量制御弁の供給が実現
できる。
定法に起因する再現性不良及び、流量制御性の不良は大
幅に改善され、再現性に優れた流量制御弁の供給が実現
できる。
第１図は本発明に係る流量制御弁の一実施例を示す断面
図、第２図は本発明に係る流量制御弁の別の実施例を示
す断面図、第３図は本発明に係る実施例に関する特性図
、第４図は従来技術に係る流量制御弁の断面図、第５図
は本発明に係る実施例に関する特性図。 １：圧電素子、２：固定ねし、３：ガス流入口、４：ガ
ス流出口、５：Ｏリング、６：弁座、７：バックアップ
ばね。 第１図 第２図 印加電圧り、Ｃ、（Ｖ） 第３図 第４図
図、第２図は本発明に係る流量制御弁の別の実施例を示
す断面図、第３図は本発明に係る実施例に関する特性図
、第４図は従来技術に係る流量制御弁の断面図、第５図
は本発明に係る実施例に関する特性図。 １：圧電素子、２：固定ねし、３：ガス流入口、４：ガ
ス流出口、５：Ｏリング、６：弁座、７：バックアップ
ばね。 第１図 第２図 印加電圧り、Ｃ、（Ｖ） 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 気体、液体等の流体の流量を制御する流量制御弁におい
て （１）アクチュエータに圧電バイモルフあるいは圧電ユ
ニモルフ等の圧電による歪を屈曲変位に変換する圧電素
子を用いる手段 （２）前記圧電素子の中心部を固定し、屈曲変位を発生
させる手段 （３）前記（２）の手段により得られた変位により流体
の流量を制御する手段 とを有することを特徴とする流量制御弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27120687A JPH01112090A (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 流量制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27120687A JPH01112090A (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 流量制御弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112090A true JPH01112090A (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=17496826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27120687A Pending JPH01112090A (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 流量制御弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112090A (ja) |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP27120687A patent/JPH01112090A/ja active Pending
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