JPH01112488U - - Google Patents
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- JPH01112488U JPH01112488U JP591788U JP591788U JPH01112488U JP H01112488 U JPH01112488 U JP H01112488U JP 591788 U JP591788 U JP 591788U JP 591788 U JP591788 U JP 591788U JP H01112488 U JPH01112488 U JP H01112488U
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- JP
- Japan
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- ion beam
- faraday
- ground potential
- gauges
- ion
- Prior art date
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- -1 accelerates it Substances 0.000 claims 1
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の系統図、第２図は
イオンビーム当り面の平面図である。 １……フアラデイゲージ、２……絶縁物、３…
…取付プレート、４……マスクプレート、５……
ロツド、７……リード線、８……切換器、１０…
…電圧計。
イオンビーム当り面の平面図である。 １……フアラデイゲージ、２……絶縁物、３…
…取付プレート、４……マスクプレート、５……
ロツド、７……リード線、８……切換器、１０…
…電圧計。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 不活性ガスをイオン化し、これを加速してイ
オンビームを引き出すイオンビーム加工機のイオ
ンビーム量や分布の測定装置において、 接地電位にある一枚の取付板上に、イオン測定
面となるフアラデイゲージを接地より絶縁するた
めの絶縁物を介して多数取付け、これと平行に所
定距離をおいて前記フアラデイゲージの端面とほ
ぼ同一の多数の開口部をもつ接地電位にあるマス
クプレートを配置したことを特徴とするイオンビ
ーム測定装置。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記フアラ
デイゲージから接地電位にイオンが流れる回路の
途中に抵抗を挿入したことを特徴とするイオンビ
ーム測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP591788U JPH01112488U (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP591788U JPH01112488U (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112488U true JPH01112488U (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=31209708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP591788U Pending JPH01112488U (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112488U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003323858A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Advantest Corp | 電子ビーム処理装置及び電子ビーム形状測定方法 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP591788U patent/JPH01112488U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003323858A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Advantest Corp | 電子ビーム処理装置及び電子ビーム形状測定方法 |
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