JPH01113676A - 高出力電界効果トランジスタの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マイクロ波電力増幅器に広く用いられる高出
力ＧａＡｓ　　ＦＥＴの動作アンバランスの検査方法に
関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、高出力ＧａＡｓ　　ＦＥＴは単一または複数個
のチップより構成され、複数個の単位ＦＥＴを並列接続
し、電力分配、合成により高出力化を計っているが、半
導体特性のばらつき、ポンディングワイヤ、チップ配置
等の要因により動作アンバランスを生じ、そのアンバラ
ンス発生は、普通、入力信号レベル、周波数に対し、不
連続性を示す。従来、この種の検査方法としては、入力
信号レベルあるいは周波数を手動にて変化させ、出力電
力計の変化を目視にて観測することにりより、アンバラ
ンス異常を検出できることが経験的に知られている程度
で明確な検査方法は無かった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、従来欠けていた実用性、判定精度、作業性に
優れた高出力ＧａＡｓ　　ＦＥＴの動作アンバランス検
査方法を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によるアンバランス検査方法は、被検査用高出力
ＧａＡｓ　　ＦＥＴに、定速で周波数掃引された一定レ
ベルの高周波信号を入力する掃引発振器と、前記ＦＥＴ
により増幅された出力信号を検波する検波回路と、前記
検波信号を微分し、時間的に急峻に変化する信号成分の
みを検知する微分検知回路より構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例を説明するためのブロック
回路図である。第１図において、周波数掃引発振器１か
ら出力された信号を、電力増幅器２で増幅し、信号の一
部を方向性結合器３によりモニターし、検波器４．抵抗
５を経て、周波数掃引発振器１に対し定レベル化の為の
帰還をかける。

一方、方向性結合器３の主要出力電力は、可変減衰器６
により適正なレベルに設定し、アイソレータ７を経て被
検査用ＦＥＴ８のゲート端子に入力される。ＦＥＴ８は
バイアス回路９からバイアスが加えられ、出力信号はア
イソレータ１０．可変減衰器１１を経た後、検波器１２
により直流電圧に変換され、微分回路１３に入力される
。また、結果の表示の為に、カウンタ１４が微分回路１
３の出力に接続されている。

第２図は、第１図回路の所要部分の動作波形を示す図で
ある。まず、同図（ａ）は、ＦＥＴ８に入力される信号
レベルで、時間ｔ１からｔ２まで定速で周波数ｆ１より
ｆ＋＋Δｆに濫用する。同図（ｂ）は、検波器１２の出
力信号電圧で、ＦＥＴのバランスが良い場合は、ゆる、
やかな周波数特性（破線）が出力されるが、バランスが
悪い場合は、急峻な変化を生じ（実線）、微分回路１３
の出力として、同図（ｃ）のパルスが出力される為、こ
れをカウンタ１４によりカウントすることによりアンバ
ランスの有無と回数が検知出来る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は、被検査用ＦＥＴに定速
で周波数掃引された高波信号を入力する手段と、出力信
号を検波し、不連続な信号変化を検知し、表示する手段
を付加することにより、従来欠けていた実用性、判定精
度、作業性に優れた高出力ＧａＡｓ　　ＦＥＴの、動作
アンバランス検査方法を提供するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック回路図、第２図（
ａ）　、　（ｂ）　、　（ｃ）はそれぞれ試料用Ｆ’Ｅ
Ｔ８、の入力信号レベル、検波器１２の出力信号、微分
回路１３の出力信号の波形を示す図である。 ■・・・・・・周波数掃引発振器、２・・・・・・増幅
器、３・・・・・・方向性結合器、４，１２・・・・・
・検波器、５゜６．１１・・・・・・可変減衰器、７，
１０・・・・・・アイソレータ、８・・・・・・被検査
ＦＥＴ、９・・・・・・バイアス回路、１３・・・・・
・微分回路、１４・・・・・・カウンタ。 代理人　弁理士　　内　原　　　音 筋！図 泊２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査用高出力電界効果トランジスタに、定速で周波数
   掃引された一定レベルの高周波信号を入力し、増幅され
   た出力信号を検波し、この検波出力を微分回路に加え、
   時間的に急峻に変化する信号成分のみを検知することに
   より、前記高出力電界効果トランジスタのアンバランス
   動作の有無を判別することを特徴とする高出力電界効果
   トランジスタの検査方法。