JPH01114264U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01114264U JPH01114264U JP1088288U JP1088288U JPH01114264U JP H01114264 U JPH01114264 U JP H01114264U JP 1088288 U JP1088288 U JP 1088288U JP 1088288 U JP1088288 U JP 1088288U JP H01114264 U JPH01114264 U JP H01114264U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- polishing
- carrier
- storage hole
- view
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る研摩用キヤリアの一実施
例を示す平面図、第２図は第１図―線拡大断
面図、第３図は本考案の他の実施例を示す平面図
、第４図は本考案の他の実施例を示す平面図、第
５図は第４図―線拡大断面図、第６図は本考
案のさらに他の実施例を示す要部平面図、第７図
ａ，ｂはそれぞれ被加工物の他の実施例を示す図
、第８図及び第９図は研摩装置の従来例を示す要
部断面図および上定盤を取り除いた要部平面図で
ある。 ２……上定盤、３……下定盤、４……被加工物
、５……キヤリア、６……太陽歯車、７……内歯
歯車、８……研摩材、１８……収納孔、２３……
離間部材、３０……板ばね。
例を示す平面図、第２図は第１図―線拡大断
面図、第３図は本考案の他の実施例を示す平面図
、第４図は本考案の他の実施例を示す平面図、第
５図は第４図―線拡大断面図、第６図は本考
案のさらに他の実施例を示す要部平面図、第７図
ａ，ｂはそれぞれ被加工物の他の実施例を示す図
、第８図及び第９図は研摩装置の従来例を示す要
部断面図および上定盤を取り除いた要部平面図で
ある。 ２……上定盤、３……下定盤、４……被加工物
、５……キヤリア、６……太陽歯車、７……内歯
歯車、８……研摩材、１８……収納孔、２３……
離間部材、３０……板ばね。
Claims (1)
- 被加工物を収納保持する収納孔を有し前記被加
工物の研摩に用いられる研摩用キヤリアにおいて
、前記収納孔の内面に弾性を有する離間部材を設
け、前記被加工物の側面もしくは周面が前記内面
に当接するのを防止するようにしたことを特徴と
する研摩用キヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1088288U JPH01114264U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1088288U JPH01114264U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01114264U true JPH01114264U (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=31218937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1088288U Pending JPH01114264U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01114264U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007098543A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Nikon Corp | ワークキャリア及び両面研磨装置 |
| JP2009012086A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Speedfam Co Ltd | ワークキャリア |
| JP2011067918A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Shirasaki Seisakusho:Kk | 脆性薄板研磨装置用ホルダ、およびその製造方法 |
| JP2011235373A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Fujibo Holdings Inc | 枠材および枠材を有する保持具 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209877A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-18 | Nitto Hatsujo:Kk | ラツピングキヤリア |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP1088288U patent/JPH01114264U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209877A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-18 | Nitto Hatsujo:Kk | ラツピングキヤリア |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007098543A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Nikon Corp | ワークキャリア及び両面研磨装置 |
| JP2009012086A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Speedfam Co Ltd | ワークキャリア |
| JP2011067918A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Shirasaki Seisakusho:Kk | 脆性薄板研磨装置用ホルダ、およびその製造方法 |
| JP2011235373A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Fujibo Holdings Inc | 枠材および枠材を有する保持具 |