JPH01119735A - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
- Publication number
- JPH01119735A JPH01119735A JP62277444A JP27744487A JPH01119735A JP H01119735 A JPH01119735 A JP H01119735A JP 62277444 A JP62277444 A JP 62277444A JP 27744487 A JP27744487 A JP 27744487A JP H01119735 A JPH01119735 A JP H01119735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- pairs
- fibers
- fiber
- interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は干渉計に係り、特に一次元または二次元のマル
チチャネル光検出器を干渉図形の検出部に用いる干渉計
に関する。
チチャネル光検出器を干渉図形の検出部に用いる干渉計
に関する。
従来の一次元または二次元のマルチチャネル光検知器を
干渉図計の検出部に用いる干渉計については、アプライ
ド・オプティックス、２３，２６９（１９８４年）第２
６９頁から第２７３頁（Ａｐｐｌ・０ρｔ・２３，２６
９（１９８４）ＰＰ２６９−２７３） 、およびアプラ
イド・スペクトロスコピー、４０，６９１（１９８６年
）第６９１頁から第６９５頁（Ａｐｐｌ・５ｐｅｃｆｒ
ｏｓｃ・４０，６９１ （１９８６） Ｐ Ｐ ６９１
−６９５）において論じられているように、ビームスプ
リッタ又は偏光プリズムによって被測定光束を２光束に
分割し、各光束が空間を伝播する間に各光束の断面内で
連続的に変化する光路差を発生させた後に結合させ、空
間上に形成された干渉図形を、一次元マルチチャネル検
知器で離散的にサンプリングするようになっていた。
干渉図計の検出部に用いる干渉計については、アプライ
ド・オプティックス、２３，２６９（１９８４年）第２
６９頁から第２７３頁（Ａｐｐｌ・０ρｔ・２３，２６
９（１９８４）ＰＰ２６９−２７３） 、およびアプラ
イド・スペクトロスコピー、４０，６９１（１９８６年
）第６９１頁から第６９５頁（Ａｐｐｌ・５ｐｅｃｆｒ
ｏｓｃ・４０，６９１ （１９８６） Ｐ Ｐ ６９１
−６９５）において論じられているように、ビームスプ
リッタ又は偏光プリズムによって被測定光束を２光束に
分割し、各光束が空間を伝播する間に各光束の断面内で
連続的に変化する光路差を発生させた後に結合させ、空
間上に形成された干渉図形を、一次元マルチチャネル検
知器で離散的にサンプリングするようになっていた。
上記従来技術では、干渉計を構成する光学素子の配置が
振動や外力によって変化を受けた場合、２光束の断面内
における光路差の変化が正規の状態からずれる点につい
て配慮されておらず、振動が干渉計に加わる場合、安定
な測定ができない問題があった。
振動や外力によって変化を受けた場合、２光束の断面内
における光路差の変化が正規の状態からずれる点につい
て配慮されておらず、振動が干渉計に加わる場合、安定
な測定ができない問題があった。
本発明の目的は、干渉計に振動が加わる環境下でも安定
に測定することのできる干渉計を提供することにある。
に測定することのできる干渉計を提供することにある。
上記目的は、被測定光束を複数の２光束の対に分割し、
各々を独立な固体閉路中を伝播させ、その間に各々の２
光束間に各２光束対毎に異なる光路差を生じさせること
によって達成される。
各々を独立な固体閉路中を伝播させ、その間に各々の２
光束間に各２光束対毎に異なる光路差を生じさせること
によって達成される。
本発明の干渉計の構成を第１図に示す。被測定光源１を
出た被測定光束２はコリメーター３によって平行光束４
となり、光フアイバー束５に入射する。この光フアイバ
ー束５は、各々２本のファイバーから成るＮ対のファイ
バ一対６から成る。
出た被測定光束２はコリメーター３によって平行光束４
となり、光フアイバー束５に入射する。この光フアイバ
ー束５は、各々２本のファイバーから成るＮ対のファイ
バ一対６から成る。
各ファイバ一対の一方のファイバー７はＮ対について全
て等しい光路長Ｑで、他方のファイバー８は６対で異な
り、ｎ番目の対については光路長がＱ＋ （ｎ−Ｎ、／
２）ＸΔＱ となっている。これにより、ｎ番目の対の２本のファイ
バー間には（ｎ−Ｎ／２）ＸΔＱだけの光路差があり、
ｎ番目とｎ ４１番目の対の間では光路差がΔＱだけ異
なる。６対の２本のファイバー７゜８から出た光は光結
合器９で再結合されて干渉を起こし、Ｎビットの絵素か
ら成る一次元マルチチャネル光検知器１ｏの対応する絵
素１１にて検出される。これにより一次元マルチチャネ
ル光検出器１ｏの出力として、被測定光束２によって生
じる干渉図形を光路差ΔＱ毎にサンプリングした信号が
得られる。
て等しい光路長Ｑで、他方のファイバー８は６対で異な
り、ｎ番目の対については光路長がＱ＋ （ｎ−Ｎ、／
２）ＸΔＱ となっている。これにより、ｎ番目の対の２本のファイ
バー間には（ｎ−Ｎ／２）ＸΔＱだけの光路差があり、
ｎ番目とｎ ４１番目の対の間では光路差がΔＱだけ異
なる。６対の２本のファイバー７゜８から出た光は光結
合器９で再結合されて干渉を起こし、Ｎビットの絵素か
ら成る一次元マルチチャネル光検知器１ｏの対応する絵
素１１にて検出される。これにより一次元マルチチャネ
ル光検出器１ｏの出力として、被測定光束２によって生
じる干渉図形を光路差ΔＱ毎にサンプリングした信号が
得られる。
この干渉計によれば、各ファイバ一対における光路差は
振動によって変化することが無いため、安定な測定を行
うことができる。
振動によって変化することが無いため、安定な測定を行
うことができる。
また、前記の光フアイバー束のかわりに、第２図に示す
先導波路を用いることもできる。これは半導体等の基板
１上に透明材料から成る先導波路２を前記光ファイバー
東同様にＮ本設ける。各先導波路は光２分岐部３を有し
、この部分で２本の先導波路に分れ、光再結合部４で再
び１本の先導波路となる。この２分岐した部分の２本の
先導波路の間の光路長差を前記光ファイバー束同様Ｎ本
毎に異なるようにし、光再結合後、同一基板上に形成し
たＮビットのフォトダイオード５にて検知する。この場
合にも、各ビット毎の光路差は振動によって変化するこ
とは無い。
先導波路を用いることもできる。これは半導体等の基板
１上に透明材料から成る先導波路２を前記光ファイバー
東同様にＮ本設ける。各先導波路は光２分岐部３を有し
、この部分で２本の先導波路に分れ、光再結合部４で再
び１本の先導波路となる。この２分岐した部分の２本の
先導波路の間の光路長差を前記光ファイバー束同様Ｎ本
毎に異なるようにし、光再結合後、同一基板上に形成し
たＮビットのフォトダイオード５にて検知する。この場
合にも、各ビット毎の光路差は振動によって変化するこ
とは無い。
本発明によれば、干渉計に振動が加わる環境下でも安定
に測定することのできる干渉計を提供できる効果がある
。
に測定することのできる干渉計を提供できる効果がある
。
第１図は本発明の光ファイバーを用いた干渉計の構成図
、第２図は基板上に形成した先導波路及びフォトダイオ
ードアレイの構造図である。 １・・・被測定光源、２・・・被測定光束、３・・・コ
リメータ、４・・・平行光束、５・・・光フアイバー束
、６・・・光フアイバ一対、７及び８・・・光ファイバ
ー、９・・・光結合器、１０・・・一次元マルチチャネ
ル光検出器、１１・・・前記光検出器の一絵素、１２・
・・基板、１３・・・先導波路、１４・・・光２分岐部
、１５・・・光再結合部、１６・・・フォトダイオード
。
、第２図は基板上に形成した先導波路及びフォトダイオ
ードアレイの構造図である。 １・・・被測定光源、２・・・被測定光束、３・・・コ
リメータ、４・・・平行光束、５・・・光フアイバー束
、６・・・光フアイバ一対、７及び８・・・光ファイバ
ー、９・・・光結合器、１０・・・一次元マルチチャネ
ル光検出器、１１・・・前記光検出器の一絵素、１２・
・・基板、１３・・・先導波路、１４・・・光２分岐部
、１５・・・光再結合部、１６・・・フォトダイオード
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一次元または二次元のマルチチャネル光検出器を干
渉図形検出部にもつ干渉計において、被測定光束を複数
の２光束の対に分割し、分割された各光束を独立な閉路
中を伝播させ、その間に各々の２光束間に各２光束の対
毎で異なる光路差を生じさせ、然る後、各２光束を再び
結合して干渉を起こさせ、一次元または二次元のマルチ
チャネル光検出器の各絵素に導いて検出するようにした
ことを特徴とする干渉計。 ２、特許請求の範囲第１項において、複数に分割された
各２光束の伝播媒体として、光路長が互いに異なる一対
の光ファイバを用いることを特徴とする干渉計。 ３、特許請求の範囲第１項において、複数に分割された
各２光束の伝播媒体として、半導体等の基板上に形成し
た光路長が互いに異なる一対の光導波路を用いることを
特徴とする干渉計。 ４、特許請求の範囲第１項において、光導波路と同一基
板上に、マルチチャネル光検出器を形成させ、その各絵
素に光導波路を接続して検知することを特徴とする干渉
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277444A JPH01119735A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277444A JPH01119735A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01119735A true JPH01119735A (ja) | 1989-05-11 |
Family
ID=17583658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62277444A Pending JPH01119735A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01119735A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010539458A (ja) * | 2007-09-14 | 2010-12-16 | ライカ ジオシステムズ アクチエンゲゼルシャフト | 表面の測定方法および測定装置 |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP62277444A patent/JPH01119735A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010539458A (ja) * | 2007-09-14 | 2010-12-16 | ライカ ジオシステムズ アクチエンゲゼルシャフト | 表面の測定方法および測定装置 |
| US9127929B2 (en) | 2007-09-14 | 2015-09-08 | Leica Geosystems Ag | Method and measuring device for gauging surfaces |
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