JPH01122062U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01122062U JPH01122062U JP1560588U JP1560588U JPH01122062U JP H01122062 U JPH01122062 U JP H01122062U JP 1560588 U JP1560588 U JP 1560588U JP 1560588 U JP1560588 U JP 1560588U JP H01122062 U JPH01122062 U JP H01122062U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- furnace body
- movable mirror
- mirror
- monitoring device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の炉内監視装置の一実施例に
かかり、レトルトを備えた炉に設置したものの断
面構造図、第２図は従来装置の断面構造図である
。 １：炉体、２：レトルト、３：炉底板、４：パ
ツキン、５：断熱層、６：ヒータ、７：断熱層、
８：ガス供給管、９：ガス供給設備、１０：排気
管、１１：排気設備、２０：炉内監視装置、２１
：ノズル、２２：覗窓、２３：操作棒、２４：パ
ツキン、２５：ハンドル、２６：移動鏡、２７：
固定鏡、Ｗ：ワーク、Ａ，Ｂ，Ｃ：移動鏡の位置
。
かかり、レトルトを備えた炉に設置したものの断
面構造図、第２図は従来装置の断面構造図である
。 １：炉体、２：レトルト、３：炉底板、４：パ
ツキン、５：断熱層、６：ヒータ、７：断熱層、
８：ガス供給管、９：ガス供給設備、１０：排気
管、１１：排気設備、２０：炉内監視装置、２１
：ノズル、２２：覗窓、２３：操作棒、２４：パ
ツキン、２５：ハンドル、２６：移動鏡、２７：
固定鏡、Ｗ：ワーク、Ａ，Ｂ，Ｃ：移動鏡の位置
。
Claims (1)
- 炉体外から回転及び昇降操作可能な操作棒の先
端部に移動鏡を取り付けて炉体内に配設する一方
、炉体に連通して設けた覗窓の内側に前記移動鏡
の像を前記覗窓で監視し得る固定鏡を設けたこと
を特徴とする炉内監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1560588U JPH01122062U (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1560588U JPH01122062U (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01122062U true JPH01122062U (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=31227795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1560588U Pending JPH01122062U (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01122062U (ja) |
-
1988
- 1988-02-08 JP JP1560588U patent/JPH01122062U/ja active Pending