JPH01126511U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01126511U JPH01126511U JP2194888U JP2194888U JPH01126511U JP H01126511 U JPH01126511 U JP H01126511U JP 2194888 U JP2194888 U JP 2194888U JP 2194888 U JP2194888 U JP 2194888U JP H01126511 U JPH01126511 U JP H01126511U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- measured
- workpiece
- projection lens
- laser
- Prior art date
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- Pending
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図および第２図は従来のレーザ走査測定装
置における測定方法の一例を示す概略説明図、第
３図はこの考案の一実施例の主要部を示す概略斜
視図、第４図は第３図の平面図、第５図は前記実
施例の光学系を示す説明図、第６図は動作説明の
ための波形図である。 １はレーザ光源、２は多面鏡、３はｆθレンズ
、４は被測定物、５は集光レンズ、６は受光素子
、７は音叉、８は可動反射ミラー、９は投光レン
ズ、１０ａ，１０ｂは電磁コイル、１１ａ，１１
ｂはマグネツト、１２はレンズホルダ、１３は板
バネ、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは固定柱
、１５はレンズホルダ支え、１６は接続部、１７
は半導体レーザ、１８はコリメータレンズ、２０
は基準スリツト、２１は受光素子、なお１９は欠
番である。
置における測定方法の一例を示す概略説明図、第
３図はこの考案の一実施例の主要部を示す概略斜
視図、第４図は第３図の平面図、第５図は前記実
施例の光学系を示す説明図、第６図は動作説明の
ための波形図である。 １はレーザ光源、２は多面鏡、３はｆθレンズ
、４は被測定物、５は集光レンズ、６は受光素子
、７は音叉、８は可動反射ミラー、９は投光レン
ズ、１０ａ，１０ｂは電磁コイル、１１ａ，１１
ｂはマグネツト、１２はレンズホルダ、１３は板
バネ、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは固定柱
、１５はレンズホルダ支え、１６は接続部、１７
は半導体レーザ、１８はコリメータレンズ、２０
は基準スリツト、２１は受光素子、なお１９は欠
番である。
Claims (1)
- レーザ光により被測定物を平行走査し、被測定
物により妨げられたレーザ光の暗部の時間を計測
して、被測定物の外径を測定する装置において、
電磁コイル、マグネツトにより構成された振動装
置に投光レンズを取り付け、被測定物に向かうレ
ーザ光と被測定物の間に前記振動装置を配置し、
投光レンズにレーザ光を入射させ、投光レンズを
振動させることにより、被測定物の断面方向にレ
ーザ光を微小走査することを特徴とするレーザ走
査測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2194888U JPH01126511U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2194888U JPH01126511U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01126511U true JPH01126511U (ja) | 1989-08-29 |
Family
ID=31239627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2194888U Pending JPH01126511U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01126511U (ja) |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP2194888U patent/JPH01126511U/ja active Pending
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