JPH01127908A - 微小変位検出装置 - Google Patents
微小変位検出装置Info
- Publication number
- JPH01127908A JPH01127908A JP28529687A JP28529687A JPH01127908A JP H01127908 A JPH01127908 A JP H01127908A JP 28529687 A JP28529687 A JP 28529687A JP 28529687 A JP28529687 A JP 28529687A JP H01127908 A JPH01127908 A JP H01127908A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- minute displacement
- voltage
- detected
- noise
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- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は礒小ｆ立の検出装置に係り、ｆｊにポテンシオ
メータを用いた微小変位検出装置に関する。
メータを用いた微小変位検出装置に関する。
（従来の技術）
近年、光学、天文学あるいは精密加工などの分野におい
て、サブミクロンのオーダで立置ｅ調整する変位素子が
所望さ几る工うになった。
て、サブミクロンのオーダで立置ｅ調整する変位素子が
所望さ几る工うになった。
これに伴い、立置、変位の検出情度の向上が要求されて
いる。大がかりな装置を必要とせず、比較的簡尋に、背
反よく微小変位を検出できるものにポテンシオメータが
ある。ポテンシオメータは、いわゆるヘリカル可変抵抗
器のようなもので、摺動部において位置と検出する。ポ
テンシオメータには接触形と無接触形があり、特にある
橿の半導体が磁場中で大きな抵抗変化を示す現象すなわ
ち「Ｌａ気低抵抗効果を利用した無接触形のものは、寿
命が半永久的で分解能も高いとさｎ、ている。
いる。大がかりな装置を必要とせず、比較的簡尋に、背
反よく微小変位を検出できるものにポテンシオメータが
ある。ポテンシオメータは、いわゆるヘリカル可変抵抗
器のようなもので、摺動部において位置と検出する。ポ
テンシオメータには接触形と無接触形があり、特にある
橿の半導体が磁場中で大きな抵抗変化を示す現象すなわ
ち「Ｌａ気低抵抗効果を利用した無接触形のものは、寿
命が半永久的で分解能も高いとさｎ、ている。
第２図に従来の方法によるポテンシオメータを用いた微
小変位検出裂（崖の構成図を示す。
小変位検出裂（崖の構成図を示す。
直流電源（２）により受感部（４）の両端に一定Ｅ電圧
を印υ口して２く変位ロンド（６）の・助きととｔに、
永久磁石（５）が変位し、この時の抵抗変化を分圧とし
て読みとるものである。ポテンシオメータは５ｆＷｒ倫
四には１０−８μｍ程度の分解能？もつが実際には。
を印υ口して２く変位ロンド（６）の・助きととｔに、
永久磁石（５）が変位し、この時の抵抗変化を分圧とし
て読みとるものである。ポテンシオメータは５ｆＷｒ倫
四には１０−８μｍ程度の分解能？もつが実際には。
振動、電源ノイズ、＠度変化等の影響により１０−１μ
ｍｉ度が限界となっている。
ｍｉ度が限界となっている。
これらのノイズを除去し１分解能を上げるためには、防
撮台、恒＠ＷＩ清密安定化直流電源等の大がかりな装置
を心安とする。
撮台、恒＠ＷＩ清密安定化直流電源等の大がかりな装置
を心安とする。
（発明が解決しようとする間遠点）
本発明は上述した点に鑑みてなされたもので。
開鎖な構成により分解能が高く、ノイズの少ない微小変
位検出装置を提供する。
位検出装置を提供する。
［艷明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本宅明は上述した目的を達成するためにポテンシオメー
タにある一定周波数の交流′１圧を印加するとともに、
出力をロックインアンプ等のフィルタ機能を備えた機器
により、前述した周波数成分だけを選択的に検出するも
のである。
タにある一定周波数の交流′１圧を印加するとともに、
出力をロックインアンプ等のフィルタ機能を備えた機器
により、前述した周波数成分だけを選択的に検出するも
のである。
（作用）
上述した方法により、変位信号のみを選択的に取り出せ
るためノイズが少なく、高感度の微小変位検出装置を実
現できる。
るためノイズが少なく、高感度の微小変位検出装置を実
現できる。
（実施列）
以下１本発明の実砲列を図面企用いて説明する。
第１図は本発明の実施列２示す構成図である。
交流電源（２）により、ある一定周波数をもった電圧を
受感部（４）に印加し、その出力をロックインアンプ（
１）によって、＠記の周波数成分だけ選択的に検出する
ものである。微小変位素子の変位は変位ロッド（６）を
介して永久磁石（５）に伝わり、受感部（４）に抵抗変
化を起こさせ、分圧の変化として出力される。この時の
出力は前記の交流信号に重畳して検出されるため変位信
号化外の１源周波数とは違う周波数成分のノイズは除去
される。
受感部（４）に印加し、その出力をロックインアンプ（
１）によって、＠記の周波数成分だけ選択的に検出する
ものである。微小変位素子の変位は変位ロッド（６）を
介して永久磁石（５）に伝わり、受感部（４）に抵抗変
化を起こさせ、分圧の変化として出力される。この時の
出力は前記の交流信号に重畳して検出されるため変位信
号化外の１源周波数とは違う周波数成分のノイズは除去
される。
なお、本発明は上述した実施列に限定されるものではな
い１例えば、ポテンシオメータは無接触式に限られるも
のではなく接触式でもよいし、ロックインアンプはフィ
ルタ機能ともつ装置であれば池のもので％実現可能であ
る。
い１例えば、ポテンシオメータは無接触式に限られるも
のではなく接触式でもよいし、ロックインアンプはフィ
ルタ機能ともつ装置であれば池のもので％実現可能であ
る。
その池、本発明の要旨を逸脱しない範囲で踵々変形して
’４Ｍすることができる。
’４Ｍすることができる。
［発明の効果］
以上述べてきたように、本発明によればＷＲ拳な構成に
エリ、ノイズが少なく、感度の高い微小変位検出装置′
ｆを実現できる。
エリ、ノイズが少なく、感度の高い微小変位検出装置′
ｆを実現できる。
第１図は本発明の実施列を示す構成図、第２図は従来の
方法による微小変位検出装置の構成図である。 １・・・ロックインアンプ、２・・・交流電源、３・・
・電圧計、４・・・受感部、５・・・永久磁石−６・・
・変位ロッド、７・・・直流電源。 代理人 弁理士 則 近 憲 右 向 伝 山 光 ２乙 第２図
方法による微小変位検出装置の構成図である。 １・・・ロックインアンプ、２・・・交流電源、３・・
・電圧計、４・・・受感部、５・・・永久磁石−６・・
・変位ロッド、７・・・直流電源。 代理人 弁理士 則 近 憲 右 向 伝 山 光 ２乙 第２図
Claims (3)
- （１）一定周波数の交流電圧を発生する信号源と、前記
交流電圧に、微小変位を電圧変化に変換し、重畳させる
手段と、前記交流電圧の周波数成分のみを選択的に検出
するフィルタ機能を有する装置とを具備することを特徴
とした微小変位検出装置。 - （２）前記微小変位を電圧変化に変換する手段がポテン
シオメータであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の微小変位検出装置。 - （３）前記フィルタ機能を有する装置がロックインアン
プであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
微小変位検出装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28529687A JPH01127908A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 微小変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28529687A JPH01127908A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 微小変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127908A true JPH01127908A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17689686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28529687A Pending JPH01127908A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 微小変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01127908A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515032A (en) * | 1978-07-20 | 1980-02-01 | Toshiba Corp | Non-contact displacement measuring unit |
| JPS5886405A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Nec Corp | 角度検出器 |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP28529687A patent/JPH01127908A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515032A (en) * | 1978-07-20 | 1980-02-01 | Toshiba Corp | Non-contact displacement measuring unit |
| JPS5886405A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Nec Corp | 角度検出器 |
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