JPH01128014A - 光半導体装置の製造方法 - Google Patents
光半導体装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH01128014A JPH01128014A JP62286640A JP28664087A JPH01128014A JP H01128014 A JPH01128014 A JP H01128014A JP 62286640 A JP62286640 A JP 62286640A JP 28664087 A JP28664087 A JP 28664087A JP H01128014 A JPH01128014 A JP H01128014A
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- optical
- optical fiber
- cladding
- optical element
- light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
光半導体装置の光素子と光ファイバとの結合方法の改良
に関し、 クラッド伝播モード成分光を最小にし、コア伝播モード
成分光を最大にすることが可能な光半導体装置の製造方
法の提供を目的とし、 光素子と光ファイバとを結合し組み立てる際に、前記光
ファイバのクラッド漏洩光を測定し、前記クラッド漏洩
光が最小となるように、前記光素子と前記光ファイバと
の相対位置を調節して組み立てるよう構成する。
に関し、 クラッド伝播モード成分光を最小にし、コア伝播モード
成分光を最大にすることが可能な光半導体装置の製造方
法の提供を目的とし、 光素子と光ファイバとを結合し組み立てる際に、前記光
ファイバのクラッド漏洩光を測定し、前記クラッド漏洩
光が最小となるように、前記光素子と前記光ファイバと
の相対位置を調節して組み立てるよう構成する。
本発明は、光半導体装置の製造方法に係り、特に光素子
と光ファイバとの結合方法の改良に関するものである。
と光ファイバとの結合方法の改良に関するものである。
光半導体装置は光素子と約１ｅ；の光ファイバとを結合
して組み立てたものであり、その組立方法として、光素
子から放射される光を光ファイバで伝播させ、光素子と
結合していない光ファイバの端面から放射される、コア
伝播モード成分光とクラッド伝播モード成分光とからな
る全光パワーを、光検知器で検知し、全光パワーの最大
値を求め、その位置で光チップがマウントされているス
テムと光ファイバとを固定する方法゛をとっている。
して組み立てたものであり、その組立方法として、光素
子から放射される光を光ファイバで伝播させ、光素子と
結合していない光ファイバの端面から放射される、コア
伝播モード成分光とクラッド伝播モード成分光とからな
る全光パワーを、光検知器で検知し、全光パワーの最大
値を求め、その位置で光チップがマウントされているス
テムと光ファイバとを固定する方法゛をとっている。
光ファイバで伝播される成分光の内、−有効なのはコア
伝播モード成分光であり、クラッド伝播モ−ド成分光は
光ファイバの長さが長くなると、光ファイバの外へ放射
されて減衰するため、クラッド伝播モード成分光は伝送
信号としては無効な成分であり、光半導体装置の製造の
際の光素子と光ファイバとの結合時にこのクラッド伝播
モード成分光を除去することが可能であれば、伝送シス
テムの設計に際して、使用時に必要なパワー以外の余分
なマージンをとることが必要でなくなる。
伝播モード成分光であり、クラッド伝播モ−ド成分光は
光ファイバの長さが長くなると、光ファイバの外へ放射
されて減衰するため、クラッド伝播モード成分光は伝送
信号としては無効な成分であり、光半導体装置の製造の
際の光素子と光ファイバとの結合時にこのクラッド伝播
モード成分光を除去することが可能であれば、伝送シス
テムの設計に際して、使用時に必要なパワー以外の余分
なマージンをとることが必要でなくなる。
以上のような状況からコア伝播モード成分光が最大にな
るように光素子と光ファイバとを結合することが可能な
光半導体装置の製造方法が要望されている。
るように光素子と光ファイバとを結合することが可能な
光半導体装置の製造方法が要望されている。
従来の光半導体装置の製造方法を第２図により説明する
。
。
先ず図に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ９の上に光素
子ｌを固定してドライブ電源２にて作動させ、光ファイ
バ３を光素子１のレンズ１ｃの上に位置させる。
子ｌを固定してドライブ電源２にて作動させ、光ファイ
バ３を光素子１のレンズ１ｃの上に位置させる。
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ９のＺ方向を調節して光素子１から
放射される光の焦点を光ファイバ３の光素子１側のコア
３ａの端面に合わせる。
放射される光の焦点を光ファイバ３の光素子１側のコア
３ａの端面に合わせる。
次にＸ−Ｙ−Ｚステージ９のＸ及びＹ方向を調節して光
ファイバ３のコア３ａの中心と光素子ｌから放射される
光の光軸とを一致させて、光検知器Ａ４により光ファイ
バ３の光検知器Ａ４側の端面から放射される光を検知し
、光パワーメータＡ５が最大値を指示するようにし、こ
の状態で光素子１と光ファイバ３とを固定して光半導体
装置の製造が完了する。
ファイバ３のコア３ａの中心と光素子ｌから放射される
光の光軸とを一致させて、光検知器Ａ４により光ファイ
バ３の光検知器Ａ４側の端面から放射される光を検知し
、光パワーメータＡ５が最大値を指示するようにし、こ
の状態で光素子１と光ファイバ３とを固定して光半導体
装置の製造が完了する。
以上説明の従来の光半導体装置の製造方法で問題となる
のは、光ファイバ３の光検知器Ａ４側の端面から放射さ
れる、コア３ａを伝播するコア伝播モード成分光と、ク
ラッド３ｂを伝播するクラッド伝播モード成分光とから
なる全光パワーを光検知器Ａ４により検知し、光パワー
メータＡ５の指示によって全光パワーを測定しているこ
とである。
のは、光ファイバ３の光検知器Ａ４側の端面から放射さ
れる、コア３ａを伝播するコア伝播モード成分光と、ク
ラッド３ｂを伝播するクラッド伝播モード成分光とから
なる全光パワーを光検知器Ａ４により検知し、光パワー
メータＡ５の指示によって全光パワーを測定しているこ
とである。
伝送システムの設計に際しては、使用時に必要なパワー
、即ち、コア伝播モード成分光の値のみが有効であるか
ら、この成分光を最大にすることが要求されるのである
。
、即ち、コア伝播モード成分光の値のみが有効であるか
ら、この成分光を最大にすることが要求されるのである
。
本発明は以上のような状況からクラッド伝播モード成分
光を最小にし、コア伝播モード成分光を最大にすること
が可能な光半導体装置の製造方法の提供を目的としたも
のである。
光を最小にし、コア伝播モード成分光を最大にすること
が可能な光半導体装置の製造方法の提供を目的としたも
のである。
上記問題点は、光素子と光ファイバとを結合し組み立て
る際に、この光ファイバのクラッド漏洩光を測定し、こ
のクラッド漏洩光が最小となるように、゛光素子と光フ
ァイバとの相対位置を調節して組み立てる本発明による
光半導体装置の製造方法によって解決される。
る際に、この光ファイバのクラッド漏洩光を測定し、こ
のクラッド漏洩光が最小となるように、゛光素子と光フ
ァイバとの相対位置を調節して組み立てる本発明による
光半導体装置の製造方法によって解決される。
即ち本発明においては、光素子と光ファイバとを結合し
組み立てる際に、この光ファイバのクラッドの側面から
放射されるクラッド漏洩光を測定し、このクラッド漏洩
光が最小となるように光素子と光ファイバとの相対位置
を調節して組み立てるので、光ファイバの光検知器側の
端面から放射されるコア伝播モード成分光を最大にした
状態で光素子と光ファイバとを結合する光半導体装置の
製造が可能となる。
組み立てる際に、この光ファイバのクラッドの側面から
放射されるクラッド漏洩光を測定し、このクラッド漏洩
光が最小となるように光素子と光ファイバとの相対位置
を調節して組み立てるので、光ファイバの光検知器側の
端面から放射されるコア伝播モード成分光を最大にした
状態で光素子と光ファイバとを結合する光半導体装置の
製造が可能となる。
以下第１図について本発明の一実施例を説明する。
先ず図に示すように、ｘ−ｙ−ｚステージ９の上に光素
子１を固定してドライブ電源２にて作動させ、光ファイ
バ３を光素子１のレンズ１ｃの上に位置させる。
子１を固定してドライブ電源２にて作動させ、光ファイ
バ３を光素子１のレンズ１ｃの上に位置させる。
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ９のＺ方向、を調節して光素子ｌか
ら放射される光の焦点を光ファイバ３の光素子１側のコ
ア３ａの端面に合わせる。
ら放射される光の焦点を光ファイバ３の光素子１側のコ
ア３ａの端面に合わせる。
次に本発明では第１図に示すように、従来の光半導体装
置の製造方法に加えて、光ファイバ３の側面に光検知器
Ｂ６を設け、光ファイバ３のクラッド３ｂの側面から放
射されるクラッド漏洩光を検知し、アンプ７で増幅して
光パワーメータＢ８で測定しながら光素子１のＸ−Ｙ方
向の位置をｘ−ｙ−Ｚステージ９により調節し、このク
ラッド漏洩光が最小となる位置に光素子１を固定する。
置の製造方法に加えて、光ファイバ３の側面に光検知器
Ｂ６を設け、光ファイバ３のクラッド３ｂの側面から放
射されるクラッド漏洩光を検知し、アンプ７で増幅して
光パワーメータＢ８で測定しながら光素子１のＸ−Ｙ方
向の位置をｘ−ｙ−Ｚステージ９により調節し、このク
ラッド漏洩光が最小となる位置に光素子１を固定する。
このようにしてクラッド漏洩光が最小になる状態で光素
子ｌと光ファイバ３とを結合して組み立てると、クラッ
ド３ｂを伝播するクラッド伝播モード成分光は最小とな
り、伝送システムの設計に際して必要なパワー、即ち、
コア３ａを伝播するコア伝播モード成分光の値を最大に
することが可能となるので、光半導体装置の製造に際し
て、使用時に必要なパワー以外の余分なマージンをとる
ことが不要となる。
子ｌと光ファイバ３とを結合して組み立てると、クラッ
ド３ｂを伝播するクラッド伝播モード成分光は最小とな
り、伝送システムの設計に際して必要なパワー、即ち、
コア３ａを伝播するコア伝播モード成分光の値を最大に
することが可能となるので、光半導体装置の製造に際し
て、使用時に必要なパワー以外の余分なマージンをとる
ことが不要となる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば極めて
簡単な構成のクラッド漏洩光の測定機構を設けてクラン
ド漏洩光を測定し、その値を最小にすることにより、伝
送システムの設計に際して有効なコア伝播モード成分光
の値を最大にすることが可能となる利点があり、著しい
経済的効果が期待でき工業的には極めて有用なものであ
る。
簡単な構成のクラッド漏洩光の測定機構を設けてクラン
ド漏洩光を測定し、その値を最小にすることにより、伝
送システムの設計に際して有効なコア伝播モード成分光
の値を最大にすることが可能となる利点があり、著しい
経済的効果が期待でき工業的には極めて有用なものであ
る。
第１図は本発明による一実施例を示す側面図、第２図は
従来の光半導体装置の製造方法を示す側面図、 である。 図において、 ■は光素子、 ｌａはステム、 １ｂはは光チップ、 ｌｃはレンズ、 ２はドライブ電源、 ３は光ファイバ、 ３ａはコア、 ３ｂはクラッド、 ４は光検知器Ａ、 ５は光パワーメータＡ１ ６は光検知器Ｂ、 ７はアンプ、 ８は光パワーメータＢ。 ９はＸ−Ｙ−Ｚステージ、 本発明による一実施例を示す側面図 第１図
従来の光半導体装置の製造方法を示す側面図、 である。 図において、 ■は光素子、 ｌａはステム、 １ｂはは光チップ、 ｌｃはレンズ、 ２はドライブ電源、 ３は光ファイバ、 ３ａはコア、 ３ｂはクラッド、 ４は光検知器Ａ、 ５は光パワーメータＡ１ ６は光検知器Ｂ、 ７はアンプ、 ８は光パワーメータＢ。 ９はＸ−Ｙ−Ｚステージ、 本発明による一実施例を示す側面図 第１図
Claims (1)
- 光素子（１）と光ファイバ（３）とを結合し組み立て
る際に、前記光ファイバ（３）のクラッド漏洩光を測定
し、前記クラッド漏洩光が最小となるように、前記光素
子（１）と前記光ファイバ（３）との相対位置を調節し
て組み立てることを特徴とする光半導体装置の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286640A JPH01128014A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 光半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286640A JPH01128014A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 光半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128014A true JPH01128014A (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=17707036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286640A Pending JPH01128014A (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | 光半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128014A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2808093A1 (fr) * | 1999-09-29 | 2001-10-26 | Corning Inc | Procede d'alignement de faisceaux lumineux |
| WO2012118021A1 (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-07 | 住友電気工業株式会社 | 光導波体、レーザ光照射装置およびレーザ光照射装置の組立方法 |
| WO2022157820A1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-07-28 | 三菱電機株式会社 | 光導波路素子、導光板および光軸調整方法 |
| CN117608038A (zh) * | 2023-12-19 | 2024-02-27 | 广东国志激光技术有限公司 | 一种激光传输装置及激光传输方法 |
| WO2024214134A1 (ja) * | 2023-04-10 | 2024-10-17 | 日本電信電話株式会社 | 光装置の製造方法、光導波路部品および光装置 |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP62286640A patent/JPH01128014A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2808093A1 (fr) * | 1999-09-29 | 2001-10-26 | Corning Inc | Procede d'alignement de faisceaux lumineux |
| WO2012118021A1 (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-07 | 住友電気工業株式会社 | 光導波体、レーザ光照射装置およびレーザ光照射装置の組立方法 |
| WO2022157820A1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-07-28 | 三菱電機株式会社 | 光導波路素子、導光板および光軸調整方法 |
| JP7170876B1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-11-14 | 三菱電機株式会社 | 光導波路素子および光軸調整方法 |
| US12442986B2 (en) | 2021-01-19 | 2025-10-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Optical waveguide element and optical axis adjustment method |
| WO2024214134A1 (ja) * | 2023-04-10 | 2024-10-17 | 日本電信電話株式会社 | 光装置の製造方法、光導波路部品および光装置 |
| CN117608038A (zh) * | 2023-12-19 | 2024-02-27 | 广东国志激光技术有限公司 | 一种激光传输装置及激光传输方法 |
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