JPH01129107A - スペックルパターン干渉計 - Google Patents
スペックルパターン干渉計Info
- Publication number
- JPH01129107A JPH01129107A JP28814987A JP28814987A JPH01129107A JP H01129107 A JPH01129107 A JP H01129107A JP 28814987 A JP28814987 A JP 28814987A JP 28814987 A JP28814987 A JP 28814987A JP H01129107 A JPH01129107 A JP H01129107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- speckle pattern
- switch
- power
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はスペックル干渉法を用いたスペックルパター
ン干渉計に関し、なかでも測定対象物とテレビカメラと
のピント合わせを容易に行うことができるスペックルパ
ターン干渉計に関する。
ン干渉計に関し、なかでも測定対象物とテレビカメラと
のピント合わせを容易に行うことができるスペックルパ
ターン干渉計に関する。
レーザー光を粗面物体に照射すると粗面からの拡散反射
光が不規則に干渉し合って、スペックルパターンと呼ば
れる斑点状の模様が現れ、このスペックルの明暗の変化
を検出して粗面物体の変位。
光が不規則に干渉し合って、スペックルパターンと呼ば
れる斑点状の模様が現れ、このスペックルの明暗の変化
を検出して粗面物体の変位。
変形、振動を測定する方法が知られており、スペックル
干渉法と呼ばれている。スペ・ンクル干渉法は第２図に
示すような干渉計の配置により面の変位による拡散反射
光の位相の微小な変化をスペックルの明暗の変化に直す
ことにより粗面の微小な変形や振動振幅の分布を干渉縞
パターンとして得ている。かようなスペックル干渉法を
用いたスペックルパターン干渉計において測定対象物の
変位をみるには、干渉したスペックルパターンを撮影す
るテレビカメラと測定対象物とのピントを合わせる必要
がある。そこで従来の一体型のスペックルパターン干渉
計においては、テレビカメラと測定対象物とのピント合
わせを光源部を駆動したまま行っていた。
干渉法と呼ばれている。スペ・ンクル干渉法は第２図に
示すような干渉計の配置により面の変位による拡散反射
光の位相の微小な変化をスペックルの明暗の変化に直す
ことにより粗面の微小な変形や振動振幅の分布を干渉縞
パターンとして得ている。かようなスペックル干渉法を
用いたスペックルパターン干渉計において測定対象物の
変位をみるには、干渉したスペックルパターンを撮影す
るテレビカメラと測定対象物とのピントを合わせる必要
がある。そこで従来の一体型のスペックルパターン干渉
計においては、テレビカメラと測定対象物とのピント合
わせを光源部を駆動したまま行っていた。
ところがテレビカメラのピントのずれの有無に拘わらず
スペックルパターンは三次元の至るところで明瞭に撮影
されるという性質を有するので、テレビカメラに撮影さ
れるスペックルパターンが妨げとなり、テレビカメラの
ピントを測定対象物に対して正確に合わせることが困難
であるという問題点があった。
スペックルパターンは三次元の至るところで明瞭に撮影
されるという性質を有するので、テレビカメラに撮影さ
れるスペックルパターンが妨げとなり、テレビカメラの
ピントを測定対象物に対して正確に合わせることが困難
であるという問題点があった。
この発明はスペックル干渉法を用いたスペックルパター
ン干渉針において、スペックルパターンの影響を全く受
けることな（テレビカメラのピントを測定対象物に対し
て容易に合わせることができるスペックルパターン干渉
計を提供することを目的とする。
ン干渉針において、スペックルパターンの影響を全く受
けることな（テレビカメラのピントを測定対象物に対し
て容易に合わせることができるスペックルパターン干渉
計を提供することを目的とする。
上記問題点を解決し、この目的を達成するための具体的
手段は、少なくともレーザーより成る光源部と、該光源
部より射出されるビームを二分するビームスプリフタと
、測定対象物からの拡散反射光により生じるスペックル
パターンを撮影するテレビカメラとを備えた一体型のス
ペックルパターン干渉計において、前記光源部への電源
を供給する経路にのみ断続可能なスイッチを配設される
ように構成したことである。
手段は、少なくともレーザーより成る光源部と、該光源
部より射出されるビームを二分するビームスプリフタと
、測定対象物からの拡散反射光により生じるスペックル
パターンを撮影するテレビカメラとを備えた一体型のス
ペックルパターン干渉計において、前記光源部への電源
を供給する経路にのみ断続可能なスイッチを配設される
ように構成したことである。
この発明は前述のような手段を採ったので、次のような
作用がもたらされる。即ちテレビカメラと測定対象物と
のピントを合わせる場合には、光源部への電源を供給す
る経路に配設されたスイッチをオフさせることにより光
源部が駆動されなくなる。そのためスペックルパターン
は生じない。
作用がもたらされる。即ちテレビカメラと測定対象物と
のピントを合わせる場合には、光源部への電源を供給す
る経路に配設されたスイッチをオフさせることにより光
源部が駆動されなくなる。そのためスペックルパターン
は生じない。
一方テレビカメラへ電源を供給している経路には前記ス
イッチは作用しないため通常どうりの撮影が行える。そ
こで何の妨げもなくテレビカメラと測定対象物とのピン
ト合わせを行うことができる。
イッチは作用しないため通常どうりの撮影が行える。そ
こで何の妨げもなくテレビカメラと測定対象物とのピン
ト合わせを行うことができる。
この発明を、以下一実施例に基づいて詳細に説明する。
第１図に示すようにこの発明はレーザーよりなる光源部
１と該光源部から照射されるビームを拡大するビーム拡
大レンズ２と該拡大されたビームを参照粗面４と測定対
象物５にそれぞれ向かわしめるように二分するビームス
プリッタ３と参照粗面４と測定対象物５からの拡散反射
光により生ずるスペックルパターンを撮影するテレビカ
メラ６と前記光源部１への電源を供給する経路にのみ配
設されたスイッチ７とから成り、これらが一体型に構成
されている。また電源部８から供給される電源は前記光
源部１とビデオカメラ６に共通に供給されるが光源部１
にはスイッチ７を介して供給され、また一方ビデオカメ
ラ６には直接供給されるように構成されている。
１と該光源部から照射されるビームを拡大するビーム拡
大レンズ２と該拡大されたビームを参照粗面４と測定対
象物５にそれぞれ向かわしめるように二分するビームス
プリッタ３と参照粗面４と測定対象物５からの拡散反射
光により生ずるスペックルパターンを撮影するテレビカ
メラ６と前記光源部１への電源を供給する経路にのみ配
設されたスイッチ７とから成り、これらが一体型に構成
されている。また電源部８から供給される電源は前記光
源部１とビデオカメラ６に共通に供給されるが光源部１
にはスイッチ７を介して供給され、また一方ビデオカメ
ラ６には直接供給されるように構成されている。
次にこのような構成より成る当該発明についてその必須
の構成要件である光源部への電源を供給する経路に配設
されたスイッチ（第１図における７）がオンしている場
合を第１図に基づき説明する。光源部１から照射される
ビームはビーム拡大レンズ２により拡大され、ビームス
プリッタ３に入射し、当該ビームスプリッタ３で参照粗
面４と測定対象物５のそれぞれの方向に向かうように二
分されて、一方は参照粗面４をもう一方は測定対象物５
をそれぞれ照射する。そして参照粗面４と測定対象物５
からの拡散反射光により生ずるスペックルパターンをテ
レビカメラ６により撮影し、該テレビカメラ６からのビ
デオ信号を外部の画像処理回路に入力してそこで演算処
理を行い、測定対象物の変位等の測定がなされる。つま
りスイッチ７がオンした状態では光源部ｌが駆動される
ため通常の測定がおこなわれる。
の構成要件である光源部への電源を供給する経路に配設
されたスイッチ（第１図における７）がオンしている場
合を第１図に基づき説明する。光源部１から照射される
ビームはビーム拡大レンズ２により拡大され、ビームス
プリッタ３に入射し、当該ビームスプリッタ３で参照粗
面４と測定対象物５のそれぞれの方向に向かうように二
分されて、一方は参照粗面４をもう一方は測定対象物５
をそれぞれ照射する。そして参照粗面４と測定対象物５
からの拡散反射光により生ずるスペックルパターンをテ
レビカメラ６により撮影し、該テレビカメラ６からのビ
デオ信号を外部の画像処理回路に入力してそこで演算処
理を行い、測定対象物の変位等の測定がなされる。つま
りスイッチ７がオンした状態では光源部ｌが駆動される
ため通常の測定がおこなわれる。
次にスイッチ７がオフされた状態について同じく第１図
に基づき説明する。スイッチ７がオフされると光源部１
は、電源部から電源をスイッチ７を介して供給されてい
るため、電源の供給を受けることができな（なり駆動さ
れずビームを照射することができない。ところがテレビ
カメラ６はスイッチ７を介さず直接電源に接続されてい
るため、スイッチ７がオフされていても電源部８から電
源の供給を受けることができ通常どうり駆動される。
に基づき説明する。スイッチ７がオフされると光源部１
は、電源部から電源をスイッチ７を介して供給されてい
るため、電源の供給を受けることができな（なり駆動さ
れずビームを照射することができない。ところがテレビ
カメラ６はスイッチ７を介さず直接電源に接続されてい
るため、スイッチ７がオフされていても電源部８から電
源の供給を受けることができ通常どうり駆動される。
この状態においては光源部１からビームが全く照射され
ていないので、スペックルパターンは生じない。つまり
この状態ではテレビカメラ６のみが駆動されているので
スペックルパターンに妨ケラれることなくテレビカメラ
と測定対象物とのピント合わせが容易にできる。
ていないので、スペックルパターンは生じない。つまり
この状態ではテレビカメラ６のみが駆動されているので
スペックルパターンに妨ケラれることなくテレビカメラ
と測定対象物とのピント合わせが容易にできる。
以上の説明から明らかなように、この発明にかかるスペ
ックツバターン干渉計は、光源部への電源を供給する経
路にのみ断続可能なスイッチを配設するようにしたので
、テレビカメラと測定対象物とのピント合わせを光源部
を切った状態で行うことができ、そのためスペックルパ
ターンの影響を全く受けずに容易にピント合わせがなし
えるものである。
ックツバターン干渉計は、光源部への電源を供給する経
路にのみ断続可能なスイッチを配設するようにしたので
、テレビカメラと測定対象物とのピント合わせを光源部
を切った状態で行うことができ、そのためスペックルパ
ターンの影響を全く受けずに容易にピント合わせがなし
えるものである。
第１図はこの発明にかかるスペックルパターン干渉計の
一実施例であり、 第２図は従来例におけるスペックルパターンの構成図で
ある。 １・・・光源部、２・・・ビーム拡大レンズ、３ビーム
スプリフタ、４・・・参照粗面、５・・・測定対象物、
６・・・テレビカメラ、７・・・スイッチ、８・・・電
源部。 特許出願人 株式会社キーエンス 第１図 第２図
一実施例であり、 第２図は従来例におけるスペックルパターンの構成図で
ある。 １・・・光源部、２・・・ビーム拡大レンズ、３ビーム
スプリフタ、４・・・参照粗面、５・・・測定対象物、
６・・・テレビカメラ、７・・・スイッチ、８・・・電
源部。 特許出願人 株式会社キーエンス 第１図 第２図
Claims (1)
- （１）少なくともレーザーより成る光源部と、該光源部
より射出されるビームを二分するビームスプリッタと、 測定対象物からの拡散反射光により生じるスペックルパ
ターンを撮影するテレビカメラとを備えた一体型のスペ
ックルパターン干渉計において、前記光源部への電源を
供給する経路にのみ断続可能なスイッチを配設されたこ
とを特徴とするスペックルパターン干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28814987A JPH01129107A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | スペックルパターン干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28814987A JPH01129107A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | スペックルパターン干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129107A true JPH01129107A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17726439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28814987A Pending JPH01129107A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | スペックルパターン干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01129107A (ja) |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP28814987A patent/JPH01129107A/ja active Pending
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