JPH01129832U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01129832U JPH01129832U JP2460388U JP2460388U JPH01129832U JP H01129832 U JPH01129832 U JP H01129832U JP 2460388 U JP2460388 U JP 2460388U JP 2460388 U JP2460388 U JP 2460388U JP H01129832 U JPH01129832 U JP H01129832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- fixing
- main body
- holes
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Description
第１ａ図は本考案実施例のチヤツキングステー
ジの平面図、第１ｂ図は第１ａ図のＢ―Ｂ断面図
、第２図は従来のチヤツキングステージの説明図
で、第３図はその使用法の説明図、第４ａ図は半
導体圧力センサウエハ２０の平面図で、第４ｂ図
はそのＢ―Ｂ断面図。 １０：チヤツキングステージ、１２：本体、１
４：溝、１６：吸引チユーブ、２０：ウエハ、２
２：チツプ、２４：ダイヤフラム、２６：切離し
線、２８：切欠き、３０：チヤツキングステージ
、３２：本体、３３：想像線、３４：孔、３６：
吸引チユーブ、３８：切欠き。
ジの平面図、第１ｂ図は第１ａ図のＢ―Ｂ断面図
、第２図は従来のチヤツキングステージの説明図
で、第３図はその使用法の説明図、第４ａ図は半
導体圧力センサウエハ２０の平面図で、第４ｂ図
はそのＢ―Ｂ断面図。 １０：チヤツキングステージ、１２：本体、１
４：溝、１６：吸引チユーブ、２０：ウエハ、２
２：チツプ、２４：ダイヤフラム、２６：切離し
線、２８：切欠き、３０：チヤツキングステージ
、３２：本体、３３：想像線、３４：孔、３６：
吸引チユーブ、３８：切欠き。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 表面が平滑な本体上に、真空吸着によりウエハ
２０を固定するウエハ固定用チヤツキングステー
ジにおいて、 本体３２に多数の真空吸引用の孔３４を設け、
それらの孔３４と、その上に載せるウエハ２０の
チツプ２２とが、それぞれ一つづつ対応するよう
にした、ウエハ固定用チヤツキングステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2460388U JPH01129832U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2460388U JPH01129832U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129832U true JPH01129832U (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=31244589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2460388U Pending JPH01129832U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01129832U (ja) |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP2460388U patent/JPH01129832U/ja active Pending
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