JPS6447035U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6447035U JPS6447035U JP14120687U JP14120687U JPS6447035U JP S6447035 U JPS6447035 U JP S6447035U JP 14120687 U JP14120687 U JP 14120687U JP 14120687 U JP14120687 U JP 14120687U JP S6447035 U JPS6447035 U JP S6447035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction table
- dielectric
- suction
- separated
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Description
第１図ａは本考案の第１の実施例を示す平面図
、第１図ｂ，ｃは同断面図、第２図ａは本考案の
第２の実施例を示す平面図、第２図ｂ，ｃは同断
面図、第３図ａ〜ｇは誘電体分離基板の製造方法
を工程順に示す断面図である。 １０１…真空チヤツク吸着テーブル、２０１…
ウエハー吸着部、３０１…オリエンテーシヨンフ
ラツト形状、４０１…ウエハー。
、第１図ｂ，ｃは同断面図、第２図ａは本考案の
第２の実施例を示す平面図、第２図ｂ，ｃは同断
面図、第３図ａ〜ｇは誘電体分離基板の製造方法
を工程順に示す断面図である。 １０１…真空チヤツク吸着テーブル、２０１…
ウエハー吸着部、３０１…オリエンテーシヨンフ
ラツト形状、４０１…ウエハー。
Claims (1)
- 誘電体分離ウエハーを吸着し該ウエハーの基準
面出しを行う研削機用吸着テーブル治具において
、吸着テーブルの吸着面にウエハーと同形状のオ
リエンテーシヨンフラツト形状を有することを特
徴とする誘電体分離基板研削用吸着テーブル治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14120687U JPS6447035U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14120687U JPS6447035U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6447035U true JPS6447035U (ja) | 1989-03-23 |
Family
ID=31406072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14120687U Pending JPS6447035U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6447035U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633835A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-04 | Hitachi Ltd | Holding mechanism for plate shaped substance |
| JPS6013047B2 (ja) * | 1977-07-05 | 1985-04-04 | 株式会社日立製作所 | 溶接継手の熱処理方法 |
-
1987
- 1987-09-16 JP JP14120687U patent/JPS6447035U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6013047B2 (ja) * | 1977-07-05 | 1985-04-04 | 株式会社日立製作所 | 溶接継手の熱処理方法 |
| JPS5633835A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-04 | Hitachi Ltd | Holding mechanism for plate shaped substance |