JPH01130093A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、気体の吐出口を大気圧で運転する一体型の真
空ポンプに係り、特に駆動軸の軸受用の潤滑油の補充期
間に延ばすために有効な真空ポンプに関する。

〔従来の技術〕

この種真空ポンプの従来技術としては、例えば特開昭６
１−２４７８９３号公報に開示されている技術がある。

しかし、従来技術はモータケーシングに設けられたシー
ルガス排出口から配管を延ばして、直接ダクトに接続し
ており、油滴やオイルミストがシールガスと一緒にシー
ルガス排気口から流れ出し、潤滑油の減少が激しいとい
う点について配慮がされていない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前記従来技術では、駆動軸の軸受で使用された潤滑油の
油滴やオイルミストがシールガスと−緒にシールガス排
気口から流れ出し、潤滑油の減少が激しいという問題が
あった。

本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し。

潤滑油の減少を少なくし、潤滑油の補充期間の延長を図
り得る真空ポンプを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

前記目的は、モータケーシングに設けられたシールガス
排気口の下流側に、メツシュケーシングを連結し、この
メツシュケーシングに金網を収容するとともに、前記メ
ツシュケーシングの底部と前記潤滑油タンクとを、潤滑
油戻り配管により接続したことにより、達成される。

〔作用〕

本発明では、モータ室に流入した油滴やオイルミストを
含んだシールガスは、モータケーシングに設けられたシ
ールガス排気口を通り、メツシュケーシング内に導かれ
る。

前記メツシュケーシングの内部には、金網が収容さ九て
いるため、前記シールガスに含まれている油滴やオイル
ミストが前記金網に触れると表面張力により金網にくっ
つき、次第に自重により降下して行く、メツシュケーシ
ングの底部に溜まる。

前記メツシュケーシングの底部には、潤滑油戻り配管が
取り付けられており、この潤滑油戻り配管は潤滑油タン
クに接続されているので、前記メツシュケーシングの底
部に溜まった潤滑油は潤滑油戻り配管を通じて潤滑油タ
ンクへ戻される。

したがって、シールガス排気口から出たシールガスに含
まれている油滴やオイルミストの大部分がメツシュケー
シング内に回収され、潤滑油タンクに戻されるので、潤
滑油の減少を少なくすることができ、潤滑油の補充期間
を延長することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図〜第３図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は全体の縦断正面図、第２図はメツシュケーシング部
分の拡大縦断正面図、第３図は第２図の１１１−ＩＩＩ
線断面図である。

これらの図に示す実施例の真空ポンプは、第１図に示す
ように、気体の吸込口２と吐出口３とを有するハウジン
グ１と、モータ室５を有するモータケーシング４と、潤
滑油タンク６と、上、下部軸受８．９に支持された駆動
軸７と、モータ室５に設置された駆動軸用のモータ１０
と、ハウジング１の内部に設置されたポンプ機構部１３
と、上部軸受８とポンプ機構部１３間に設けられた軸封
部２０と、この軸封部２０へ外部からシールガスを供給
するシールガス供給口２１と、モータケーシング４に設
けられたシールガス排気口２２と、このシールガス排気
口２２の下流側に連結されたメツシュケーシング２３と
、このメツシュケーシング２３の底部と潤滑油タンク６
とを接続している潤滑油戻り配管２６と、前記メツシュ
ケーシング２３の上部に取り付けられたシールガス排気
配管２７とを備えて構成されている。

前記モータ１０は、駆動軸７に取り付けられたロータ１
１と、モータケーシング４の内部に固定されたステータ
１２とで構成され、駆動軸７を回転駆動するようになっ
ている。

前記ポンプ機横部１３は、この実施例では第１図に示す
ように、吸込口２側に配置された遠心圧縮ポンプ段１４
と、その下流側に配置された円周流圧縮ポンプ段］、７
とを有している。前記遠心圧縮ポンプ段１４は、駆動軸
７の上部に取り付けられたロータ１５と、ハウジング１
の内部に固定されたステータ１６とで構成されている。

前記円周流圧縮ポンプ段１７は、ｉａ軸７における遠心
圧縮ポンプ段１４のロータ１５と軸封部２０間に取り付
けられたロータ１８と、ハウジング１の内部に固定され
たステータ１９とで構成されている。

そして、このポンプ機横部１３は、遠心圧縮ポンプ段１
４と円周流圧縮ポンプ段１７の作用により、吐出口３を
大気圧の状態で運ＩＭするようになっＣいる。

前記シールガス供給口２１は、乾燥窒素等のシールガス
を軸封部２０へ供給し、ポンプ機幇１部１３で圧縮され
た気体が上部軸受８がらモータ室５側へ漏れないように
シールするようになっている。

前記シールガス排気口２２は、油滴やオイルミストを含
んだシールガスをモータ室５からメツシュケーシング２
３内へ導くようになっている。

前記メツシュケーシング２３の内部には、第２図に示す
ように、金、ｌｌ２Ｉ２４が収容されている。この金網
２４は、シールガスに含まれている油滴やオイルミスト
を捕集するようになっており、捕集された油滴やオイル
ミストは自重で降下し、メツシュケーシング２３の底部
に溜まるようになっている。前記金網２４は、３０〜５
０メツシユの粗゛　　いものがよい。１００〜２００メ
ツシユのように細かいものを使用すると、圧損が大きく
なり、モータ室１５の圧力が高くなって軸封部２０での
シールガスのバランスを損い、ポンプ機構部１３へ潤滑
油が流入する危険性がある。前記金＃Ｉ２４には、数枚
ごとにリング状のスペーサ２５が介装されていて、金網
２４で捕集した潤滑油をメツシュケーシング２３の底部
に降下しやすいようににしている。また、金網２４は第
３図に示すように、下端部の一部が切欠されており、そ
の切欠部２４′を通じて、前記メツシュケーシング２３
の底部に溜まった潤滑油が潤滑油戻り配管２６の入口側
に流れやすいようにしている。

前記潤滑油戻り配管２６は、第１図から分かるように、
メツシュケーシング２３の底部に溜まった潤滑油を潤滑
油タンク６へ還戻させるようになっている。

前記シールガス排気配管２７は、第１図に示すように、
メツシュケーシング２３の上部から延びており、ダクト
（図示せず）に接続されている。

前記実施例の真空ポンプは、次のように運転され１作用
する。

すなわち、モータ１０により駆動軸７を回転させると、
ポンプ機構部１３の遠心圧縮ポンプ段１４のロータ】５
と円周流圧縮ポンプ段１７のロータ１８とが一緒に回転
し、これら遠心圧縮ポンプ段１４のと円周流圧縮ポンプ
段１７の作用により、吸込口２から吸い込まれた気体が
圧縮され、吐出口３での圧力が大気圧の状態になるよう
に運転され、前記気体が吐出口３から直接大気へ排出さ
れる。

その間、外部からシールガス供給口２１を通じて、ポン
プ機構部１３と上部軸受８間に設けられた軸封部２０に
シールガス供給される。シールガスとしては、吸込口２
から流入する気体と反応しない乾燥窒素等が用いられる
。

前記シールガス供給口２１から供給されたシールガスは
、２方向に分かれて流れ、一部はポンプ機構部１３へ流
入し、吸込口２から流入した気体と一緒に吐出口３から
排気され、残りは上部軸受８を通ってモータ室５に入り
、シールガス排気口２２から流出する。前記２方向に分
かれて流れるシールガスによって、潤滑油ポンプ機構部
１３に流入するのを防ぐとともに、吸込口２から流入し
た気体がモータ室５に流入するのを防止している。

いま、吸込口２から流入する気体中に、固形物や固体化
して付着しやすい物質が含まれている場合、吐出口３の
付近に固形物や固体化して物質が付着堆積して吐出口３
が詰まってしまうことがある。この吐出口３が詰まって
来ると、その部分の上流側の圧力が上昇し、そこを通過
するシールガス量が減少する。その減少する分のシール
ガスがモータ室５に流れるため、シールガス排気口２２
から排気されるシールガス量が増加し、その結果シール
ガスと一緒に多量の油滴やオイルミストがシールガス排
気口２２から流出する。

前記シールガス排気口２２から流出した油滴やオイルミ
ストを含んだシールガスは、メツシュケーシング２３の
内部に流入する。そして、メツシュケーシング２３に流
入したシールガスの油滴やオイルミストは、金網２４に
触れると、表面張力により金網２４にくっつき、次第に
自重により降下して行き、メツシュケーシング２３の底
部に溜まる。

前記メツシュケーシング２３の底部に溜まった潤滑油は
、潤滑油戻り配管２６を通じて潤滑油タンク６に戻され
１回収されて再使用される。

したがって、この実施例では駆動軸７の軸受用の潤滑油
の補充期間を延長することができる。

なお、本発明では各部の具体的な構造は、図面に示す実
施例に限らず、要は所期の機能を有するものであればよ
い。

〔発明の効果〕

以上説明した本発明によれば、モータケーシングに設け
られたシールガス排気口の下流側に、メツシュケーシン
グを連結し、このメツシュケーシングに金網を収容する
とともに、前記メツシュケーシングの底部と前記潤滑油
タンクとを、潤滑油戻り配管により接続しており、モー
タ室に流入した油滴やオイルミストを含んだシールガス
はシールガス排気口から流出し、金網を収容したメツシ
ュケーシングの内部に流入し、シールガスに含まれてい
る油滴やオイルミストが前記金網に触れると表面張力に
より金網にくっつき、次第に自重により降下して行き、
メツシュケーシングの底部に溜まり、ついで潤滑油戻り
配管を通じて潤滑油タンクへ戻されるので、シールガス
排気口から出たシールガスに含まれている油滴やオイル
ミストの大部分がメツシュケーシング内に回収され、潤
滑油タンクへ戻されるので、潤滑油の減少を少なくする
ことができ、潤滑油の補充期間を延長し得る効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は全体の縦断正面図、第２図はメツシュケーシング部
分の拡大縦断正面図、第３図は第２図のｌ１ｌ−ＩＩＩ
線断面図である。 １・・・ハウジング、２・・・吸込口、３・・・吐出口
、４・・・モータケーシング、５・・・モータ室、６・
・・潤滑油タンク、７・・・駆動軸、１０・・・モータ
、１３・・・ポンプ機端部、２０・・・軸封部、２１・
・・シールガス供給口、２２・・・シールガス排気口、
２３・・・メツシュケージ弗）日 茅２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、気体の吸込口と吐出口とを有するハウジングと、モ
   ータ室とシールガス排気口とを有するモータケーシング
   と、潤滑油タンクと、駆動軸と、これを回転駆動するモ
   ータと、駆動軸に取り付けられたロータとハウジング内
   に固定されたステータとで構成されたポンプ機構部と、
   このポンプ機構部と駆動軸の軸受間に設けられた軸封部
   と、この軸封部へ外部からシールガスを供給するシール
   ガス供給口とを備え、前記吸込口から吸い込まれた気体
   を、前記吐出口から直接排気する一体型の真空ポンプに
   おいて、前記モータケーシングに設けられたシールガス
   排気口の下流側に、メッシュケーシングを連結し、この
   メッシュケーシングに金網を収容するとともに、前記メ
   ッシュケーシングの底部と前記潤滑油タンクとを、潤滑
   油戻り配管により接続したことを特徴とする真空ポンプ
   。