JPH01130096U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01130096U JPH01130096U JP2697888U JP2697888U JPH01130096U JP H01130096 U JPH01130096 U JP H01130096U JP 2697888 U JP2697888 U JP 2697888U JP 2697888 U JP2697888 U JP 2697888U JP H01130096 U JPH01130096 U JP H01130096U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- iron core
- core member
- outer periphery
- turbo molecular
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
図面は、本考案の一実施例をターボ分子ポンプ
に適用した状態で示す部分的な側断面図である。 １…ベーキングヒータ、２…ターボ分子ポンプ
、９…外筒、１２…鉄芯部材、１３…電熱線、ｍ
…軸心、ｌ…軸心と交叉（直交）する方向、Ｈ…
磁界。
に適用した状態で示す部分的な側断面図である。 １…ベーキングヒータ、２…ターボ分子ポンプ
、９…外筒、１２…鉄芯部材、１３…電熱線、ｍ
…軸心、ｌ…軸心と交叉（直交）する方向、Ｈ…
磁界。
Claims (1)
- ターボ分子ポンプの外筒外周に当接させて透磁
率の高い鉄芯部材を配設し、この鉄芯部材の外周
に、通電によつて前記ターボ分子ポンプ内に該ポ
ンプの軸心と交叉する方向の磁界を発生させる電
熱線を巻着したことを特徴とするターボ分子ポン
プ用ベーキングヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2697888U JPH01130096U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2697888U JPH01130096U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130096U true JPH01130096U (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=31249083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2697888U Pending JPH01130096U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130096U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0512691U (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-19 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| WO2022264924A1 (ja) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2697888U patent/JPH01130096U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0512691U (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-19 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| WO2022264924A1 (ja) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP2023000891A (ja) * | 2021-06-18 | 2023-01-04 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| EP4357617A4 (en) * | 2021-06-18 | 2025-05-28 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP |
| US12486851B2 (en) | 2021-06-18 | 2025-12-02 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |