JPH01130124A - 画像形成装置 - Google Patents
画像形成装置Info
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- JPH01130124A JPH01130124A JP62288687A JP28868787A JPH01130124A JP H01130124 A JPH01130124 A JP H01130124A JP 62288687 A JP62288687 A JP 62288687A JP 28868787 A JP28868787 A JP 28868787A JP H01130124 A JPH01130124 A JP H01130124A
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Landscapes
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は電子写真式ディジタル複写機あるいは、レー
ザプリンタなどに適用して好適な画像形成装置、特に偏
向特性(振動特性)が安定で、しかも慣性力が小さな一
点支持型の光偏向子を有した画像形成装置に関する。
ザプリンタなどに適用して好適な画像形成装置、特に偏
向特性(振動特性)が安定で、しかも慣性力が小さな一
点支持型の光偏向子を有した画像形成装置に関する。
[発明の背景]
電子写真式ディジタル複写機などでは、原稿に対応した
画像(3号により感光性の保形成体上に静電潜像を形成
する手段として、半導体レーザなどの光信号を使用する
ものがある。
画像(3号により感光性の保形成体上に静電潜像を形成
する手段として、半導体レーザなどの光信号を使用する
ものがある。
第17図はこの種の電子写真式ディジタル複写機に使用
されるレーザ光走査装置3oの一例を示す構成図である
。
されるレーザ光走査装置3oの一例を示す構成図である
。
同図において、11はドラム状をなす像形成体(感光体
ドラム)を示し、その表面にはセレンなどの光導電性感
光体表層が形成され、光学像に対応した静電像(静電潜
像)が形成できるようになされている。
ドラム)を示し、その表面にはセレンなどの光導電性感
光体表層が形成され、光学像に対応した静電像(静電潜
像)が形成できるようになされている。
レーザ光走査装置30は、半導体レーザ31を有し、レ
ーザ31は画像情報を2値化した変調信号に基づいて光
変調される。
ーザ31は画像情報を2値化した変調信号に基づいて光
変調される。
レーザ31から出射されたレーザビームはコリメータレ
ンズ32及びシリンドリカルレンズ33を介して回転多
面鏡(ポリゴン)からなるミラースキャナ、すなわち偏
向器34に入射する。
ンズ32及びシリンドリカルレンズ33を介して回転多
面鏡(ポリゴン)からなるミラースキャナ、すなわち偏
向器34に入射する。
この偏向器34によってレーザビームが偏向され、これ
が結像用のf−eレンズ35及びシリンドリカルレンズ
36を通して像形成体11の表面に照射される。
が結像用のf−eレンズ35及びシリンドリカルレンズ
36を通して像形成体11の表面に照射される。
偏向器34によってレーザビームは像形成体11の表面
を一定速度で所定の方向aに走査きれ、これによって、
像露光がなされることになる。
を一定速度で所定の方向aに走査きれ、これによって、
像露光がなされることになる。
なお、39はフ;4トセンサを示し、ミラー38で反射
されたレーザビームを受けることにより、レーザビーム
の走査閲蛤を示すインデックス(es号が73られ、こ
のインデックス信号を基準にして1ラインの画像データ
の書き込みが行なわれることになる。
されたレーザビームを受けることにより、レーザビーム
の走査閲蛤を示すインデックス(es号が73られ、こ
のインデックス信号を基準にして1ラインの画像データ
の書き込みが行なわれることになる。
偏向器として上述のような構成を採る回転多面鏡を使用
する場合には、モータに多面体の境を取り付け、これを
回転駆動することによってレーザを偏向するようにした
偏向器であるために、次の」:うな問題点を惹起する。
する場合には、モータに多面体の境を取り付け、これを
回転駆動することによってレーザを偏向するようにした
偏向器であるために、次の」:うな問題点を惹起する。
第1に、回転多面鏡自体が大きくなり、光走査装置の小
型化の隘路となる。
型化の隘路となる。
第2に、モータ駆動時に発生する回転音や回転多面鏡の
風切音が大きくなり、騒音、振動を軽減できない。
風切音が大きくなり、騒音、振動を軽減できない。
第3に、より小型化された回転多面鏡用の駆動モータの
軸受は、通常玉軸受であるから、長期の使用により軸受
が摩耗し、回転の安定性が悪くなり、13頼性が劣化す
る。
軸受は、通常玉軸受であるから、長期の使用により軸受
が摩耗し、回転の安定性が悪くなり、13頼性が劣化す
る。
第4に、玉軸受はモータではその駆動速度は周波数に換
算すると、1 k Hz程度であるかへ、高速走査用と
しての使用には耐えられない。
算すると、1 k Hz程度であるかへ、高速走査用と
しての使用には耐えられない。
空気軸受などの耐摩耗性の軸受を使用する場合には、軸
及び軸受の加工精度が非常に厳しく、塵埃などによって
軸の焼付が生じてしまうなど、実際の偏向器としては大
型で、非常に高価なものとなってしまうなどの、数々の
問題点がある。
及び軸受の加工精度が非常に厳しく、塵埃などによって
軸の焼付が生じてしまうなど、実際の偏向器としては大
型で、非常に高価なものとなってしまうなどの、数々の
問題点がある。
ざらに、回転多面鏡は、反射面での光散乱が原因で雑光
を光学系内に生じることがある。反射面の面精度コーテ
ング材°などによっても、光散乱の程度は変わるが、多
かれ少なかれ、雑光を生じ、この雑光が像形成体11に
照射されるから、最終画像に悪影響を及ぼすことになる
。
を光学系内に生じることがある。反射面の面精度コーテ
ング材°などによっても、光散乱の程度は変わるが、多
かれ少なかれ、雑光を生じ、この雑光が像形成体11に
照射されるから、最終画像に悪影響を及ぼすことになる
。
特に、カブリとなっkす、細線の再現性を低下させる原
因となる。高画質で高解像度、例えば12〜24dot
s/mm程度の解像度が必要なレーザ記録装置などにと
っては大きな問題である。
因となる。高画質で高解像度、例えば12〜24dot
s/mm程度の解像度が必要なレーザ記録装置などにと
っては大きな問題である。
このような問題は、回転多面鏡の代りに第18図に示す
ようなガルバノミラ−スキャナーを使用することによっ
て解決することができる。
ようなガルバノミラ−スキャナーを使用することによっ
て解決することができる。
このミラースキャナー50は図示するように、反射ミラ
ー51、駆動コイル52及びリガメント53とで構成さ
れたものである。
ー51、駆動コイル52及びリガメント53とで構成さ
れたものである。
しかし、このような機織式の振動ミラーを偏向器34と
して使用する場合には、上述したような問題点は解決し
得るものの、反射ミラー51と駆動コイル52とを別々
に製造した上で、リガメント53に取り付けるもので弗
るがら、各部品が大ざくなるなどの他に、次のような欠
点がある。
して使用する場合には、上述したような問題点は解決し
得るものの、反射ミラー51と駆動コイル52とを別々
に製造した上で、リガメント53に取り付けるもので弗
るがら、各部品が大ざくなるなどの他に、次のような欠
点がある。
第1に、リガメントが金属であるためミラーを大きく振
ることが出来ず広角に振らすことが困難である。
ることが出来ず広角に振らすことが困難である。
第2に、リガメントも金属製であるため長期の使用にお
いては金属疲労が発生し、安定した振動が得られなくな
る。
いては金属疲労が発生し、安定した振動が得られなくな
る。
また、ざらに、リガメント、ミラー、これを支えるフレ
ームの材質が異なる場合、周囲温度変化や環境条件の大
きな変化によって生ずる材質の(線)膨張係数の違いか
ら、安定したミラー支持及び振動が困難になることがあ
る。レーザビームプリンタやファクシミリのように高速
走査が要求される場合は、ミラー支持及びミラー振動の
不安定さは最終画質に影響を与える。
ームの材質が異なる場合、周囲温度変化や環境条件の大
きな変化によって生ずる材質の(線)膨張係数の違いか
ら、安定したミラー支持及び振動が困難になることがあ
る。レーザビームプリンタやファクシミリのように高速
走査が要求される場合は、ミラー支持及びミラー振動の
不安定さは最終画質に影響を与える。
ビーム走査中にミラーがブしたりすると、像形成体11
に当たるビームスポットの場所が不規則になるからであ
る。そのため、直線が部分的に曲がったり、等間隔な線
が不規則になったりすることがある。
に当たるビームスポットの場所が不規則になるからであ
る。そのため、直線が部分的に曲がったり、等間隔な線
が不規則になったりすることがある。
以上のような問題は、その詳細な説明は後述するが、偏
向2g34として水晶などで構成きれた光偏向子を使用
すれば解消することができる。
向2g34として水晶などで構成きれた光偏向子を使用
すれば解消することができる。
光偏向子としては、特公昭60 57052号、特公昭
60−57053号あるいは、第20回SIC’E学術
講演会昭fロ56年7月予稿集「水晶光偏向子J (
657〜658頁)などに開示された乙のを用いること
ができる。
60−57053号あるいは、第20回SIC’E学術
講演会昭fロ56年7月予稿集「水晶光偏向子J (
657〜658頁)などに開示された乙のを用いること
ができる。
なお、このような公知の文献に記載された光偏向子は本
質的には、電磁オシログラフ用などに開発されたもので
あり、一般に、振れ角−が小きく、また振動数も小ざい
ものである。
質的には、電磁オシログラフ用などに開発されたもので
あり、一般に、振れ角−が小きく、また振動数も小ざい
ものである。
従って、このような偏向器を小型、高速のレーザプリン
タなどの画像形成装置に応用することは、困難であった
が、本発明者等は種々検討の結果、この光偏向子を特定
条件で用い、適正なllI御をすることによって、画像
形成装置への応用が可能にな−】な。
タなどの画像形成装置に応用することは、困難であった
が、本発明者等は種々検討の結果、この光偏向子を特定
条件で用い、適正なllI御をすることによって、画像
形成装置への応用が可能にな−】な。
[発明が解決しようとする問題点]
ところで、画像形成装置の偏向器として、水晶などで構
成された光偏向子を使用する場合、この光偏向子と、そ
の取り付け部とは夫々の(線)膨張係数が相違すること
から、外部環境はもとより画1!f!形成装置本体の発
熱体、例えば定着用の熱源、各種モータよりの発熱等に
よる機内温度上昇に伴う周囲のン晶度変化による膨張係
数の差が光偏向子側に影響を及ぼす。
成された光偏向子を使用する場合、この光偏向子と、そ
の取り付け部とは夫々の(線)膨張係数が相違すること
から、外部環境はもとより画1!f!形成装置本体の発
熱体、例えば定着用の熱源、各種モータよりの発熱等に
よる機内温度上昇に伴う周囲のン晶度変化による膨張係
数の差が光偏向子側に影響を及ぼす。
例えば、光偏向子の方がその取り付け部の膨張係数より
大きいときには、温度の上昇によって光偏向子が多少た
わんでし士う。その結果、光偏向子の振れ角か左右対称
にはならず若干ずれるため、像形成体11上に形成され
る記録領域が温度によって変動してし■う。この変動は
画質の劣化につながる。
大きいときには、温度の上昇によって光偏向子が多少た
わんでし士う。その結果、光偏向子の振れ角か左右対称
にはならず若干ずれるため、像形成体11上に形成され
る記録領域が温度によって変動してし■う。この変動は
画質の劣化につながる。
振れ角を′一定にするには、駆動コイル・\の通電量を
¥IJIHするなどしなければならない。
¥IJIHするなどしなければならない。
そこで、この宅明ではこのような問題点を構成簡単に解
決したものであって、周囲温度の変動による影響をでき
るだけ少なくすると共に、偏向特性(振動特性)が安定
で、しかむ慣性力が小さいことにより安定した共振とざ
らに広角での振れ幅を可能とした光偏向子を有した画像
形成装置を提案するものである。
決したものであって、周囲温度の変動による影響をでき
るだけ少なくすると共に、偏向特性(振動特性)が安定
で、しかむ慣性力が小さいことにより安定した共振とざ
らに広角での振れ幅を可能とした光偏向子を有した画像
形成装置を提案するものである。
E問題点を解決するための技術的な手段]」二連の問題
を解決するため、この発明においては、画像信号により
変調された光信号で記録体を偏向走査することに上り、
画像信号をこの記録体りに書き込むようにした画像形成
装置において、光信号を偏向走査する光偏向子として、
反射ミラー、駆動コイル及びリガメントが一体形成きれ
たしのが使用されると共に、光偏向子の一端が一点支持
によってその取り付け部に固定きれるようになきれなこ
とを特徴とするものである。
を解決するため、この発明においては、画像信号により
変調された光信号で記録体を偏向走査することに上り、
画像信号をこの記録体りに書き込むようにした画像形成
装置において、光信号を偏向走査する光偏向子として、
反射ミラー、駆動コイル及びリガメントが一体形成きれ
たしのが使用されると共に、光偏向子の一端が一点支持
によってその取り付け部に固定きれるようになきれなこ
とを特徴とするものである。
[作 用J 。
光偏向子はその上端若しくは下端の伺れかが取り付け部
に固定されているので、光偏向子とこれを取り付ける取
り付け部の膨張係数の相違に基づく伸縮によって光偏向
子が実質的に影響を受けに(くなる。
に固定されているので、光偏向子とこれを取り付ける取
り付け部の膨張係数の相違に基づく伸縮によって光偏向
子が実質的に影響を受けに(くなる。
そのため、光偏向子と取り付け部の膨張係数の相違に基
づく伸縮によって光偏向子が実質的に影響されなくなる
の“で、周囲温度が変動しても光偏向子の固有振動数や
トルクがあまり変動しなくなる。
づく伸縮によって光偏向子が実質的に影響されなくなる
の“で、周囲温度が変動しても光偏向子の固有振動数や
トルクがあまり変動しなくなる。
また、固有振動数が駆動周波数に一致しなくなったり、
振れ角の変化による走査速度の変動をもたらすことがな
い。
振れ角の変化による走査速度の変動をもたらすことがな
い。
光偏向子は反射ミラー、駆動コイル及びリガメントで構
成きれ、これ以外の部キイは使用しない。
成きれ、これ以外の部キイは使用しない。
その結果、これら部材をフレームに対して一体成形する
場合に比べ、フレームによる影響を効果的に排除できる
。
場合に比べ、フレームによる影響を効果的に排除できる
。
[実 施 例]
続いて、この発明に係る画像形成装置を、光信号として
レーザを使用した簡易型のディジタル画像記録装置に適
用した場合につき、第1図以下を参照して詳細に説明す
る。゛ レーザ記録装置では、次のようなプロセスを経て原稿が
記録紙上に記録される。
レーザを使用した簡易型のディジタル画像記録装置に適
用した場合につき、第1図以下を参照して詳細に説明す
る。゛ レーザ記録装置では、次のようなプロセスを経て原稿が
記録紙上に記録される。
まず、原稿がCCDなどの光電変換素子に入射されて原
稿が光電変換されると共に、これが所定ビット数のディ
ジタル信号に変換される。
稿が光電変換されると共に、これが所定ビット数のディ
ジタル信号に変換される。
変換された信号は半導体レーザビームを用いた、レーザ
光走査装置を介して像形成体11上に書き込まれて静電
像が形成される。その後、現像器により現像されて色ト
ナー像が形成きれることになる。
光走査装置を介して像形成体11上に書き込まれて静電
像が形成される。その後、現像器により現像されて色ト
ナー像が形成きれることになる。
このような静電像形成及び現像プロセスが行なわれるこ
とにより、像形成体ll上にトナー像が形成される。こ
のようなトナー像は、記録紙上に転写、定着される。
とにより、像形成体ll上にトナー像が形成される。こ
のようなトナー像は、記録紙上に転写、定着される。
第1図は、この発明に適用して好適なレーザ記録装置に
おいて使用されるレーザ光走査装置30の一例を示す。
おいて使用されるレーザ光走査装置30の一例を示す。
半導体レーザ31から出射されtこレーザビームはコリ
メータレンズ32でビーム形状が補正されたのり、シリ
ンドリカルレンズ33、反射ミラー41を通過して偏向
器300に入射せしめられる。
メータレンズ32でビーム形状が補正されたのり、シリ
ンドリカルレンズ33、反射ミラー41を通過して偏向
器300に入射せしめられる。
偏向器300でレーザビームか所定方向に所定の速度で
もって偏向される。
もって偏向される。
この発明においては、偏向器300の偏向子310とし
て、第2図に示すような反射ミラー312、駆動コイル
311及び一対のリガメント313.314とが一体形
成されて構成された光偏向子(振動子)が使用される。
て、第2図に示すような反射ミラー312、駆動コイル
311及び一対のリガメント313.314とが一体形
成されて構成された光偏向子(振動子)が使用される。
偏向されたレーザビームは走査用レンズ42及びシリン
ドリカルレンズ36を通過することにより像形成体11
上に結像されて静電像が形成される。
ドリカルレンズ36を通過することにより像形成体11
上に結像されて静電像が形成される。
シリンドリカルレンズ33.36は偏向器300に設け
られた反射ミラー312に、上下方向のあおりがある場
合、そのあおりを補正するために使用されるものである
。一方のシリンドリカルレンズ36は、プラスチック製
のレンズを使用することができる。
られた反射ミラー312に、上下方向のあおりがある場
合、そのあおりを補正するために使用されるものである
。一方のシリンドリカルレンズ36は、プラスチック製
のレンズを使用することができる。
このようなプラスチックレンズを使用する場合には、レ
ンズの面形状を最適形状に合せることが比較的簡単にで
きるため、光学系全体の性能を向上できるなどの利点が
ある。
ンズの面形状を最適形状に合せることが比較的簡単にで
きるため、光学系全体の性能を向上できるなどの利点が
ある。
反射ミラーのあおりが非常に小さい場合は、上述したシ
リンドリカルレンズ33.36は省略することもできる
。
リンドリカルレンズ33.36は省略することもできる
。
走査用レンズ42はレーザビームを像形成体11の表面
に正しく結像させるためと、レーザビームが像形成体1
1上を等速走査できるようにするために使用きれる。
に正しく結像させるためと、レーザビームが像形成体1
1上を等速走査できるようにするために使用きれる。
ここで、光偏向子かもつ固有振動数で振動させた場合、
この光偏向子310に設けられた反射ミラーの偏向角0
は、 θ =八 〇sin ω L ここに A:反射ミラーの最大偏向角 ω:角速度 t:時 間 で表されるような正弦波偏向動作となる。
この光偏向子310に設けられた反射ミラーの偏向角0
は、 θ =八 〇sin ω L ここに A:反射ミラーの最大偏向角 ω:角速度 t:時 間 で表されるような正弦波偏向動作となる。
このため、レーザビームのスポット位置をOの関数×(
0)としたとき、走査用レンズ42として、 X (0) =A−f−arc−sin (O/A)た
だし、rは走査用レンズ42の焦点距雛となる特性を持
たせ;5ことにより、像形成体11上におけるレーザビ
ームのスポットの位置を時間tの関数X (t)として
表わした場合、上式よりX (t)=A−f・ωt となる。
0)としたとき、走査用レンズ42として、 X (0) =A−f−arc−sin (O/A)た
だし、rは走査用レンズ42の焦点距雛となる特性を持
たせ;5ことにより、像形成体11上におけるレーザビ
ームのスポットの位置を時間tの関数X (t)として
表わした場合、上式よりX (t)=A−f・ωt となる。
従って、上述したようにこの走査用レンズ42を使用す
れば、レーザビームを等速迂動に変換することがでとる
。等速運動によって静電像を形成する場合には歪のない
画質を得ることができる。
れば、レーザビームを等速迂動に変換することがでとる
。等速運動によって静電像を形成する場合には歪のない
画質を得ることができる。
なお、このような走査レンズ用42による等速補正手段
を使用する代わりに、電気的補正手段を使用して補正し
てもよい。
を使用する代わりに、電気的補正手段を使用して補正し
てもよい。
電気的補正手段としては、例えば第60回画像電子学会
研究会、昭和61年7月20日講演予稿集「電磁ミラー
走査による半導体レーザプリンタjに記載のものを流用
することができる。
研究会、昭和61年7月20日講演予稿集「電磁ミラー
走査による半導体レーザプリンタjに記載のものを流用
することができる。
第2図は光偏向子310の一例を示す。
光偏向子310は振動子そのものとして構成されており
、図示するように、反射ミラー312、駆動コイル31
1及びこれらを機械的に連結する一対のリガメント31
13.314が一体形成されて構成される。
、図示するように、反射ミラー312、駆動コイル31
1及びこれらを機械的に連結する一対のリガメント31
13.314が一体形成されて構成される。
光偏向子310は同一の基板をエツチング加工すること
によって一体形成されたものが使用される。そのため、
光偏向子310としては、水晶、Si等を使用すること
ができる。
によって一体形成されたものが使用される。そのため、
光偏向子310としては、水晶、Si等を使用すること
ができる。
実施例では、水晶を使用した場合である。
第3図は上述した光偏向子310を使用した偏向器30
0の一例を示す。
0の一例を示す。
同図において、偏向子取り付け部320はほぼコ字状を
なし、上下に設けられたフランジ321゜322のうち
、上部フランジ322には図示のような段差322Aが
形成され、この段差322Aと下部フランジ321との
間に差しわたって光偏向子310が取り付け固定される
。
なし、上下に設けられたフランジ321゜322のうち
、上部フランジ322には図示のような段差322Aが
形成され、この段差322Aと下部フランジ321との
間に差しわたって光偏向子310が取り付け固定される
。
そのため、逆コ字状をなす一対の挟持片323゜324
が設けられ、これら挾持片323,324の間に一対の
リガメント313,314が挟持きれる。一対の挟持片
323,324は上部フランジ322の段差322Aに
よってその高き方向及び横方向の位置決めがなされた状
態で取り付け部320に取り付け固定される。325,
326はそのために使用されるL字状の抑え片である。
が設けられ、これら挾持片323,324の間に一対の
リガメント313,314が挟持きれる。一対の挟持片
323,324は上部フランジ322の段差322Aに
よってその高き方向及び横方向の位置決めがなされた状
態で取り付け部320に取り付け固定される。325,
326はそのために使用されるL字状の抑え片である。
なお、図に示す上部リガメント313は、第2図のリガ
メントのさらに変形例を示すもので、反射ミラー312
の左右両端近傍を1本のリガメント313で連結するよ
うな形状に形成されたものが使用されている。
メントのさらに変形例を示すもので、反射ミラー312
の左右両端近傍を1本のリガメント313で連結するよ
うな形状に形成されたものが使用されている。
光偏向子310が固定された取り付け部320は所定の
直流磁界中に配置される。
直流磁界中に配置される。
そのため、磁界発生手段327としては、所望の磁界の
強ざを得るため希土類などの永久磁石が使用される。、
以下、磁界発生手段327を以下永久磁石として説明す
る。。
強ざを得るため希土類などの永久磁石が使用される。、
以下、磁界発生手段327を以下永久磁石として説明す
る。。
永久磁石32?はほぼ0字状をなす連結本体327Aと
、この連結本体327Aの画先端の各内側に、互いに対
向するごとく、所定の長ざをもって設けられた直方体状
の磁極327Bとで構成きれる。
、この連結本体327Aの画先端の各内側に、互いに対
向するごとく、所定の長ざをもって設けられた直方体状
の磁極327Bとで構成きれる。
連結本体327Aは鉄などの磁性材が使用され、磁極3
27Bは希土類などの永久磁石が使用される。連結本体
327Aと磁極327Bとで永久磁石327を構成する
のではなく、磁石のみで構成することもできる。
27Bは希土類などの永久磁石が使用される。連結本体
327Aと磁極327Bとで永久磁石327を構成する
のではなく、磁石のみで構成することもできる。
一対の磁極327B、327B間に、上述した取り付け
部320が配置されろ。これによって偏向子3101と
りわけ駆動コイル311がこの永久磁石327によって
形成された磁界内に配置されたことになる。
部320が配置されろ。これによって偏向子3101と
りわけ駆動コイル311がこの永久磁石327によって
形成された磁界内に配置されたことになる。
なお、一対の磁極327B、327Bを可能な限り近付
けて、駆動コイル311に作用する磁界を大きくするた
め、図示の例では一対の挟持片323.324の長辺の
中央部近傍が駆動コイル311側に折り曲げられた構成
となっている。
けて、駆動コイル311に作用する磁界を大きくするた
め、図示の例では一対の挟持片323.324の長辺の
中央部近傍が駆動コイル311側に折り曲げられた構成
となっている。
取り付け部320は第4図に示すように、逆T字吠の固
定片328によって連結本体327Aに固定される。
定片328によって連結本体327Aに固定される。
このように構成された偏向器300は、光走査装置30
に設けられた取り付け基板(ベースン290に固定され
る。そのため、この例では図示するようなL字状をなす
一対の取り付け板体291が連結本体327Aの左右両
端部側面に抑え付けられ、その状態で複数個の固定手段
292によって固定される。
に設けられた取り付け基板(ベースン290に固定され
る。そのため、この例では図示するようなL字状をなす
一対の取り付け板体291が連結本体327Aの左右両
端部側面に抑え付けられ、その状態で複数個の固定手段
292によって固定される。
固定手段292としては、非磁性のビスが使用される。
非磁性ビスとしては、非磁性ステンレス製のビスの他に
、樹脂で成形きれたビスや真鍮製のビスを使用すること
ができる□。
、樹脂で成形きれたビスや真鍮製のビスを使用すること
ができる□。
非磁性のビスを使用して偏向器300を取り付け基板2
90に固定するようにした場合には、永久磁石327に
よる磁界の影響を受けることなく、取り付け作業を遂行
することができる。
90に固定するようにした場合には、永久磁石327に
よる磁界の影響を受けることなく、取り付け作業を遂行
することができる。
きて、光偏向子310を一対の挟持片323゜324で
挟持、固定する場合、この光偏向子310はその上下部
れかが取り付け部として機能する一対の挟持片323,
324に一点支持される。
挟持、固定する場合、この光偏向子310はその上下部
れかが取り付け部として機能する一対の挟持片323,
324に一点支持される。
第5図は第2図の光偏向子310を使用した場合であっ
て、下部リガメント314側が挟持片323.324に
よって一点支持されるような構成例である。
て、下部リガメント314側が挟持片323.324に
よって一点支持されるような構成例である。
そのため、下部リガメント314の先端部と対向する挟
持片323,324には第6図に示すような突起部34
0.341が形成されている。実際には、これら一対の
突起部340.341によって先端部が一点支持される
。
持片323,324には第6図に示すような突起部34
0.341が形成されている。実際には、これら一対の
突起部340.341によって先端部が一点支持される
。
一対の突起部340.341の接触面積があまり大きい
と、取り付け部320と光偏向子310との(線)膨張
係数の相違に基づく伸縮によって光偏向子310が影W
%れてしまうので、これらのことを勘案して、このよう
な影響がでない範囲内において、一対の突起部340,
341の大ぎざ等が設定される。
と、取り付け部320と光偏向子310との(線)膨張
係数の相違に基づく伸縮によって光偏向子310が影W
%れてしまうので、これらのことを勘案して、このよう
な影響がでない範囲内において、一対の突起部340,
341の大ぎざ等が設定される。
光偏向子310への影響とは、例えばリガメントの伸び
が吸収できなくなること等をいう。
が吸収できなくなること等をいう。
上部リガメント313側は挟持片323,324に対し
て非接触構造とするか、若しくはリガメント313の熱
膨張を妨げない程度の弾性をもった支持部材317によ
って軸支される。
て非接触構造とするか、若しくはリガメント313の熱
膨張を妨げない程度の弾性をもった支持部材317によ
って軸支される。
支持部材317としては、発泡ウレタンゴム、発泡シリ
コンゴムなどの有機弾性物質を薄片状に成形して使用す
ることができる。
コンゴムなどの有機弾性物質を薄片状に成形して使用す
ることができる。
この構成によって、第1に、光偏向子310は一対の挟
持片323.:324に対して一点支持されたことにな
り、両者の熱膨張係数の相違による影響を受けにくくな
る。
持片323.:324に対して一点支持されたことにな
り、両者の熱膨張係数の相違による影響を受けにくくな
る。
第2に、上部リガメント313は開放若しくは弾性的に
支持されているので、光偏向子310の慣性力が小さく
なる。
支持されているので、光偏向子310の慣性力が小さく
なる。
第3に、上下部のリガメント313,314とも回転的
には挟持片323,324に支持されていることになる
から、安定した振動が得られる。
には挟持片323,324に支持されていることになる
から、安定した振動が得られる。
第5図の実施例においては、次のような変形例が考えら
れる。
れる。
■、−点支持は上部リガメント313側でもよい。
2、突起部340,341は、第7図に示すように、挾
持片323.324と一体的に構成してもよい。
持片323.324と一体的に構成してもよい。
3、スポット溶着によって一点支持するようにしてもよ
い。
い。
第8図は光偏向子310の変形例を示す。同図Δは一点
支持すべき側に膨出部314Aを形成した場合である。
支持すべき側に膨出部314Aを形成した場合である。
実施例は下部リガメント314側に形成されている。
同図Bは上部リガメント313を省略した構造の光偏向
子310である。下部リガメント314側を省略してら
よい。
子310である。下部リガメント314側を省略してら
よい。
1同図Cは反射ミラー312と駆動コイル311とを表
裏一体として構成した場合の一例である。
裏一体として構成した場合の一例である。
振動子310はいずれの場合においても、反射ミラー3
12及び駆動コイル311は上下左右、同形状であるこ
とが広振れ角での安定した慣性バランスを保つ上で好ま
しいことは勿論であるが、特に片側のみのリガメントに
おいては一層好ましい。
12及び駆動コイル311は上下左右、同形状であるこ
とが広振れ角での安定した慣性バランスを保つ上で好ま
しいことは勿論であるが、特に片側のみのリガメントに
おいては一層好ましい。
ざらに、このように反射ミラー312と駆動コイル31
1を表裏一体とした構成は、広振れ角の安定した慣性バ
ランスを保つためにも、また対称形状を保つ上での水晶
振動子のエツチング等の加工上においても有効である。
1を表裏一体とした構成は、広振れ角の安定した慣性バ
ランスを保つためにも、また対称形状を保つ上での水晶
振動子のエツチング等の加工上においても有効である。
第8図への光偏向子310を使用する場合には、第9図
に示すように取り付けらる。光偏向子310の取り付、
けは上下逆転してもLい。
に示すように取り付けらる。光偏向子310の取り付、
けは上下逆転してもLい。
第10図は、第8同Bの光偏向子31・Oを使用した場
合であって、この例では上方より垂下するように取り付
けた場合である。
合であって、この例では上方より垂下するように取り付
けた場合である。
第11図は第8図Cに近似した形状の光偏向子310が
使用されている。同図において、316は表裏一体部で
あって、同図Aは反射ミラー312側を、同図8は駆動
コイル311側を示す。
使用されている。同図において、316は表裏一体部で
あって、同図Aは反射ミラー312側を、同図8は駆動
コイル311側を示す。
光偏向子310として使用される水晶板の厚みは、0.
1mm〜0.5mm程度が望ましい。
1mm〜0.5mm程度が望ましい。
水晶板を加工して光偏向子310を形成する場合、その
加工手段は通常、フォトリゾグラフィーとエツチング加
工が応用され、これによって微細加工が可能になる。エ
ツチング加工された光偏向子310の表面は、電気的な
抵抗を下げるために、通常銀メツキが施される。
加工手段は通常、フォトリゾグラフィーとエツチング加
工が応用され、これによって微細加工が可能になる。エ
ツチング加工された光偏向子310の表面は、電気的な
抵抗を下げるために、通常銀メツキが施される。
また、反射ミラー312は特に光源として半導体レーザ
を使用する場合、その反射率を上げるため、金、銅、又
はアルミ等のメツキ処理が施される。ざらに、反射ミラ
ー312の表面の傷や、酸化を防ぐため、メツキ処理後
の表面にSiO又はS i 02等の保護膜をコーティ
ングすることもできる。
を使用する場合、その反射率を上げるため、金、銅、又
はアルミ等のメツキ処理が施される。ざらに、反射ミラ
ー312の表面の傷や、酸化を防ぐため、メツキ処理後
の表面にSiO又はS i 02等の保護膜をコーティ
ングすることもできる。
反射ミラー312は次のような形状に選定されたものが
使用される。
使用される。
すなわち、コリメータレンズ32を通過したレーザビー
ムの形状は、第12図へに、示すような形状となされて
いるのに対し、これがシリンドリカルレンズ33を通過
することにより、同図Bに示すような横長の楕円形状に
変形される。従って、反射ミラー312の形状としては
、主走査方向に向って長くなる長方形状のものを使用す
ればよい。
ムの形状は、第12図へに、示すような形状となされて
いるのに対し、これがシリンドリカルレンズ33を通過
することにより、同図Bに示すような横長の楕円形状に
変形される。従って、反射ミラー312の形状としては
、主走査方向に向って長くなる長方形状のものを使用す
ればよい。
反射ミラー312の横方向の長さは走査用レンズ42の
焦点距離、保形成体11上に結偉されるビームスボッ1
の径、あるいは像形成体11上における走査幅等によっ
て相違するが、実験によれば、4〜10mm程度が望ま
しい値である。
焦点距離、保形成体11上に結偉されるビームスボッ1
の径、あるいは像形成体11上における走査幅等によっ
て相違するが、実験によれば、4〜10mm程度が望ま
しい値である。
偏向子310は外部信号によって駆動される。
光偏向子310を使用した他励式の駆動回路の一例を第
13図に示す。
13図に示す。
第13図において、330は正弦波発振器を示し、これ
はRC回路や水晶光偏向子を使用した発振器・を使用す
ることができる。
はRC回路や水晶光偏向子を使用した発振器・を使用す
ることができる。
水晶振動子を使用する場合には、その固有発振周波数を
所定の値に分周したのちローパスフィルターによって正
弦波状に波形成形したものを使用すればよい。
所定の値に分周したのちローパスフィルターによって正
弦波状に波形成形したものを使用すればよい。
ここで、その発振周波数つまり、駆動コイル311に対
する駆動周波数について説明する。
する駆動周波数について説明する。
光偏向子310は上述したように、固有振動数f’oを
もら、この固有振動数「0に対する振れ角θの共振特性
は第14図に示すようになる。
もら、この固有振動数「0に対する振れ角θの共振特性
は第14図に示すようになる。
第14図の共すj(特性からも明らかなように、固有振
動数foから外れた周波数において駆動しようとすると
、入力電流に対する振れ角への効率が低下し、固有振#
1数foで振動させた場合と同等の振れ角Oを得るため
には、非常に大きな入力電流を必要とする。
動数foから外れた周波数において駆動しようとすると
、入力電流に対する振れ角への効率が低下し、固有振#
1数foで振動させた場合と同等の振れ角Oを得るため
には、非常に大きな入力電流を必要とする。
しかし、あまり大き・な入力電流を駆動コイル311に
流すと、このコイルが焼損する恐れがあり、故障の原因
となる。そのため、あまり大きな電流を駆動電流として
使用することができない。
流すと、このコイルが焼損する恐れがあり、故障の原因
となる。そのため、あまり大きな電流を駆動電流として
使用することができない。
また、光偏向子310の固有振動数foにバラツキが生
じることも考えられ、そのような場合には駆動周波数r
の統一を図るために固有振動数f()以外の周波数で駆
動コイル311を駆動きせる場合においても、その駆動
周波数fと固有振動数foとの関係は、 If−fol ≦fo/Q の範囲とすることが望ましい。ここで、Qは共振特性の
共振の鋭ざを示す。
じることも考えられ、そのような場合には駆動周波数r
の統一を図るために固有振動数f()以外の周波数で駆
動コイル311を駆動きせる場合においても、その駆動
周波数fと固有振動数foとの関係は、 If−fol ≦fo/Q の範囲とすることが望ましい。ここで、Qは共振特性の
共振の鋭ざを示す。
すなわち、製造上のバラツキを考慮すると固有振動数f
oを、駆動周波r11fに等しくなるように加工するこ
とが困難であることから、その固有振動数foとしては
、駆動周波数fより±fo/Q程度の範囲内にあるとき
に限り、その光偏向子310を使用しようとするもので
ある。
oを、駆動周波r11fに等しくなるように加工するこ
とが困難であることから、その固有振動数foとしては
、駆動周波数fより±fo/Q程度の範囲内にあるとき
に限り、その光偏向子310を使用しようとするもので
ある。
±fo/Q程度のずれの範囲内では、必要な振れ角Oを
得るための駆動電流は、差程大きくならないからである
。ただし、駆動周波数fとしては、常に一定である。
得るための駆動電流は、差程大きくならないからである
。ただし、駆動周波数fとしては、常に一定である。
Qとしては、10〜800程度の共振鋭度をもった光偏
向子310が使用される。
向子310が使用される。
このようなことから、正弦波発振器330の周波数とし
ては上式にかなうような範囲の周波数に設定されるもの
である。
ては上式にかなうような範囲の周波数に設定されるもの
である。
正弦波発振器330の出力、つまり駆動信号は次段のオ
フセット調整器331に供給されて、そのDCオフセッ
トが調整される。
フセット調整器331に供給されて、そのDCオフセッ
トが調整される。
偏向w3ooを光学走査系に設置する場合において、そ
の取り付け位置が設計値通りでない場合には、第1 +
5図に示すように、駆動信号のDCレベル(1点pA線
図示)を調整することにより、左右の振れ位置を調整す
ることが可能になる。
の取り付け位置が設計値通りでない場合には、第1 +
5図に示すように、駆動信号のDCレベル(1点pA線
図示)を調整することにより、左右の振れ位置を調整す
ることが可能になる。
このようなことから、オフセット調整13331におい
ては、そのDCレベルを調整することにより、像形成体
11における走査位置を規定通りの走査位置となるよう
にしている。
ては、そのDCレベルを調整することにより、像形成体
11における走査位置を規定通りの走査位置となるよう
にしている。
オフセット調整された駆動信号は振幅調整器332にお
いてその走査幅が調整される。
いてその走査幅が調整される。
この調整法の一例としては、本出願人が既に開示した特
願昭61−81296号に述べた方法を用いることがで
きる。
願昭61−81296号に述べた方法を用いることがで
きる。
この方法は光偏向子310の振れ角を調整するためのも
のである。この場合、像形成体11上における走査幅を
検出し、その検出出力で振幅調整器332の振幅を調整
すれば、走査幅を常に一定の値に制御することが可能に
なる。
のである。この場合、像形成体11上における走査幅を
検出し、その検出出力で振幅調整器332の振幅を調整
すれば、走査幅を常に一定の値に制御することが可能に
なる。
DCオフセット及び振幅がそれぞれ調整された駆動信号
は出力アンプ333を介して上述した駆動コイル311
に供給される。
は出力アンプ333を介して上述した駆動コイル311
に供給される。
第16図は上述したレーザ記録装置における緒特性のデ
ータを示すものであって、この表において、タイプIと
は記録紙の最大用紙サイズがA4判までのものであり、
タイプ2とはA3判までのものである。
ータを示すものであって、この表において、タイプIと
は記録紙の最大用紙サイズがA4判までのものであり、
タイプ2とはA3判までのものである。
このように記録紙サイズが相違することによって記録ス
ピード、さらに解像度が相違することになるから、この
ような条件の相違にともなって駆動周波数も適宜選定さ
れる。
ピード、さらに解像度が相違することになるから、この
ような条件の相違にともなって駆動周波数も適宜選定さ
れる。
ざらに、このように記録紙サイズが異なる場合には、当
然に反射ミラーの振れ角も異なることから、これによっ
て記録用ビーム振れ角も相違することになる。
然に反射ミラーの振れ角も異なることから、これによっ
て記録用ビーム振れ角も相違することになる。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明によれば、光偏向子とその
取り付け部の膨張係数の相違に基づく伸縮によって光偏
向子が実質的に影響を受けないようにしであるので、た
とえ両者の膨張係数が相違しても光偏向子がたわんだり
することがない。その結果、光偏向子の振れ角がずれて
像形成体上の記録領域が温度により変動する欠点を確実
に一掃することができる。
取り付け部の膨張係数の相違に基づく伸縮によって光偏
向子が実質的に影響を受けないようにしであるので、た
とえ両者の膨張係数が相違しても光偏向子がたわんだり
することがない。その結果、光偏向子の振れ角がずれて
像形成体上の記録領域が温度により変動する欠点を確実
に一掃することができる。
また、リガメントの両端を機械的に連結するためのフレ
ームを有する光偏向子を使用する場合には、振動子とこ
のフレームとの熱膨張差によって振動子が影響を受ける
。
ームを有する光偏向子を使用する場合には、振動子とこ
のフレームとの熱膨張差によって振動子が影響を受ける
。
しかし、上述した構造の光偏向子を使用する場合には、
フレームがないので、フレームからの影響がなくなり、
安定した振動を実現できる。
フレームがないので、フレームからの影響がなくなり、
安定した振動を実現できる。
フレームがなければ、エツチング精度が向上して、振動
特性も改善される。また、フレームの占有分だけ原板を
有効に使用できるから、製造個数の増加に伴うコストダ
ウンが図れる。
特性も改善される。また、フレームの占有分だけ原板を
有効に使用できるから、製造個数の増加に伴うコストダ
ウンが図れる。
ざらに、次のような特徴を有する。
第1に、温度によるトルクへの影響を軽減できるため、
光偏向子の固有振動数の安定化を達成することがでとる
。その結果、駆動コイルへの通電量を制御したりしない
でも、感度の安定化を1jllることができる。
光偏向子の固有振動数の安定化を達成することがでとる
。その結果、駆動コイルへの通電量を制御したりしない
でも、感度の安定化を1jllることができる。
第2に、−点支持のため、外部からの機械的な振動ある
いは突発的な衝撃による影響を未然に防止できる。
いは突発的な衝撃による影響を未然に防止できる。
第3に、装置内の発熱源(モータ、ヒータなど)からの
発熱による影響を軽減できる。
発熱による影響を軽減できる。
このようなことから、この発明に係る画像形成装置は、
従来よりもみかに48頼性が高く、高画質の画像形成装
置を実現することができる。
従来よりもみかに48頼性が高く、高画質の画像形成装
置を実現することができる。
そのため、」二連したように箭易形のディジタル複写機
、あるいはレーザプリンタなどのレーザ記録装置に適用
して極めて好適である。
、あるいはレーザプリンタなどのレーザ記録装置に適用
して極めて好適である。
第1図はこの発明に係る画像形成装置をディジタル画像
記録用の記録装置に適用した場合に使用されるレーザ光
走査装置の一例を示す要部の構成図、第2図は光偏向子
の一例を示す図、第3図は光偏向子を有する偏向器とそ
の取り付け状態を示す要部の斜視図、第4図はその背面
図、第5図はこの発明の要部の一例を示す正面図、第6
図その一部の縦断面図、第7図は第5図の他の例を示す
第6図と同様な縦断面図、第8図はこの発明の更に他の
例を示す正面図、第9図〜第11e4はそのときの取り
付け状態を示す図、第12図はレーザビームのドツト形
状の説明図、第13図は反射ミラーの駆動回路の一例を
示す系統図、第14図は光偏向子の共振特性を示す図、
第15図はDCオフセットの説明図、第16図はレーザ
記録装置の現性条件などの特性表を示す図、第17図は
回転多面鏡を使用した光学系の一例を示す構成図、第1
8図は機械式振動ミラーを使用した光学系の一例を示す
構成図である。 11・・・像形成体たるドラム 30・・・レーザ光走査装置 31・・・半導体レーザ 300・・・偏向器 310・・・光偏向子 311・・・駆動コイル 312・・・反射ミラー 313・・・リガメント 320・・・光偏向子取り付け部 323.324・・・挟持片 325.326・・・抑え片 327・・・磁界発生手段 327A・・・連結本体 327B・・・磁極 340.341・・・突起部 特許出願人 コ ニ カ 株式会社 第 1 図 39 第8図 A [3C 第9図 第11図 第12図 A[3 第13図 第14図 e 第16図 第17図 旦Q:レーイ尤走去捉を 第18図 50:力ルlでノミラー
記録用の記録装置に適用した場合に使用されるレーザ光
走査装置の一例を示す要部の構成図、第2図は光偏向子
の一例を示す図、第3図は光偏向子を有する偏向器とそ
の取り付け状態を示す要部の斜視図、第4図はその背面
図、第5図はこの発明の要部の一例を示す正面図、第6
図その一部の縦断面図、第7図は第5図の他の例を示す
第6図と同様な縦断面図、第8図はこの発明の更に他の
例を示す正面図、第9図〜第11e4はそのときの取り
付け状態を示す図、第12図はレーザビームのドツト形
状の説明図、第13図は反射ミラーの駆動回路の一例を
示す系統図、第14図は光偏向子の共振特性を示す図、
第15図はDCオフセットの説明図、第16図はレーザ
記録装置の現性条件などの特性表を示す図、第17図は
回転多面鏡を使用した光学系の一例を示す構成図、第1
8図は機械式振動ミラーを使用した光学系の一例を示す
構成図である。 11・・・像形成体たるドラム 30・・・レーザ光走査装置 31・・・半導体レーザ 300・・・偏向器 310・・・光偏向子 311・・・駆動コイル 312・・・反射ミラー 313・・・リガメント 320・・・光偏向子取り付け部 323.324・・・挟持片 325.326・・・抑え片 327・・・磁界発生手段 327A・・・連結本体 327B・・・磁極 340.341・・・突起部 特許出願人 コ ニ カ 株式会社 第 1 図 39 第8図 A [3C 第9図 第11図 第12図 A[3 第13図 第14図 e 第16図 第17図 旦Q:レーイ尤走去捉を 第18図 50:力ルlでノミラー
Claims (5)
- (1)画像信号により変調された光信号で記録体を偏向
走査することにより、上記画像信号をこの記録体上に書
き込むようにした画像形成装置において、 上記光信号を偏向走査する光偏向子として、反射ミラー
、駆動コイル及びリガメントが一体形成されたものが使
用されると共に、 上記光偏向子の一端が一点支持によってその取り付け部
に固定されるようになされたことを特徴とする画像形成
装置。 - (2)上記リガメントは上下の何れにも形成されてなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の画像形成
装置。 - (3)上記リガメントは上下の何れかに形成されてなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の画像形成
装置。 - (4)上記反射ミラーと駆動コイルとが表裏一体となる
ように形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲
第1項〜第3項記載の画像形成装置。 - (5)上記光偏向子が水晶基板からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項〜第4項記載の画像形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288687A JP2584799B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288687A JP2584799B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 画像形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130124A true JPH01130124A (ja) | 1989-05-23 |
| JP2584799B2 JP2584799B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=17733389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62288687A Expired - Lifetime JP2584799B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2584799B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158962A (en) * | 1974-11-19 | 1976-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Kogakusosasochi |
| JPS5456848A (en) * | 1977-10-14 | 1979-05-08 | Canon Inc | Light scanner |
| JPS5587123A (en) * | 1978-12-23 | 1980-07-01 | Canon Inc | Light scanner |
| JPS56148741A (en) * | 1980-04-17 | 1981-11-18 | Nippon Columbia Co Ltd | Galvanomirror device |
| JPS5979823U (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-30 | 横河電機株式会社 | 機械振動子 |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP62288687A patent/JP2584799B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158962A (en) * | 1974-11-19 | 1976-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Kogakusosasochi |
| JPS5456848A (en) * | 1977-10-14 | 1979-05-08 | Canon Inc | Light scanner |
| JPS5587123A (en) * | 1978-12-23 | 1980-07-01 | Canon Inc | Light scanner |
| JPS56148741A (en) * | 1980-04-17 | 1981-11-18 | Nippon Columbia Co Ltd | Galvanomirror device |
| JPS5979823U (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-30 | 横河電機株式会社 | 機械振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2584799B2 (ja) | 1997-02-26 |
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