JPH01130575U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの考案の第１実施例（
全対向型）に係り、第１図はエキシマレーザ装置
の縦断正面図、第２図は主放電部周辺の平面図で
ある。第３図ないし第５図は第２実施例（千鳥型
）に係り、第３図はエキシマレーザ装置の縦断正
面図、第４図は主放電部周辺の平面図、第５図Ａ
，Ｂはそれぞれ第４図におけるＡ―Ａ線、Ｂ―Ｂ
線での断面図である。第６図は千鳥型の別の実施
例に係り、第５図Ａ，Ｂに相当する断面図である
。第７図および第８図は従来例に係り、第７図は
ガスレーザ装置の縦断正面図、第８図は主放電部
周辺の平面図である。 ２……主放電部、２ａ……アノード、２ｂ……
カソード、３ａ，３ｂ……ピーキングキヤパシタ
、４ａ，４ｂ……ピン電極。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. アノードとカソードとが対向してなる主放電部
   と、紫外線発生により前記主放電部に予備電離を
   生じさせるピン電極と、このピン電極に接続され
   たピーキングキヤパシタとを備えたガスレーザ装
   置において、前記予備電離用のピン電極に接続さ
   れるピーキングキヤパシタをアノード側とカソー
   ド側とに同数個またはほぼ同数個配置してあるこ
   とを特徴とするガスレーザ装置。