JPH0171457U - - Google Patents

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JPH0171457U
JPH0171457U JP1987166297U JP16629787U JPH0171457U JP H0171457 U JPH0171457 U JP H0171457U JP 1987166297 U JP1987166297 U JP 1987166297U JP 16629787 U JP16629787 U JP 16629787U JP H0171457 U JPH0171457 U JP H0171457U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の構成図で、レーザ光放
出方向に直交する方向に切断して示すレーザチヤ
ンバ１の内部構造と、励起回路図を併記した図、
第２図はその主電極対ＥｄのカソードＥｄｃと予
備電離用電極対Ｅｐの関係を示す要部斜視図、第
３図はその等価回路図である。第４図は本考案の
他の実施例の要部構成図である。第５図は放電励
起エキシマレーザの一般的な励起回路を示す等価
回路図、第６図は自動予備電離型レーザの一般的
な励起回路を示す等価回路図、第７図は従来のコ
ンデンサ内蔵型レーザの構成図である。 １……レーザチヤンバ、１１……本体、１２…
…フランジ部、１３……絶縁体、１４，１４……
支柱、１５……支持板、２……フアン、３，３…
…熱交換器、４……ガイド板、Ｃ２……ピーキン
グコンデンサ、Ｅｄ……主電極対、Ｅｄｃ……カ
ソード、Ｅｄａ……アノード、Ｅｐ……予備電離
用電極対、Ｅｐｌ……板状電極、Ｅｐｉ……ヒン
電極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 媒質ガスが充填されたレーザチヤンバ内に、レ
    ーザ放電用の主電極対と、この主電極対の放電に
    先立つて放電する予備電離用電極対と、この予備
    電離用電極対に直列接続されるピーキングコンデ
    ンサと、上記主電極対間にガス流を与えるための
    フアンを内蔵したレーザ装置において、上記主電
    極対のカソード側を上記レーザチヤンバの壁体に
    近接配置するとともに、上記予備電離用電極対お
    よび上記ピーキングコンデンサを上記主電極対の
    カソード側に近接配置し、かつ、上記ピーキング
    コンデンサを上記レーザチヤンバの壁体に支承し
    、上記予備電離用電極対はその一方の電極を上記
    ガス流をガイドし得る板状電極で、他方を複数の
    ピン状電極で構成したことを特徴とする、エキシ
    マレーザ装置。
JP1987166297U 1987-10-30 1987-10-30 エキシマレーザ装置 Expired - Lifetime JPH0726855Y2 (ja)

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JPH0171457U true JPH0171457U (ja) 1989-05-12
JPH0726855Y2 JPH0726855Y2 (ja) 1995-06-14

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63182880A (ja) * 1987-01-26 1988-07-28 Toshiba Corp ガスレ−ザ発振装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS63182880A (ja) * 1987-01-26 1988-07-28 Toshiba Corp ガスレ−ザ発振装置

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JPH0726855Y2 (ja) 1995-06-14

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