JPH01130690A - 固体カラー撮像素子用カラーフィルタ - Google Patents
固体カラー撮像素子用カラーフィルタInfo
- Publication number
- JPH01130690A JPH01130690A JP62291327A JP29132787A JPH01130690A JP H01130690 A JPH01130690 A JP H01130690A JP 62291327 A JP62291327 A JP 62291327A JP 29132787 A JP29132787 A JP 29132787A JP H01130690 A JPH01130690 A JP H01130690A
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- JP
- Japan
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- filter
- color filter
- color
- solid
- state
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
−［産業上の利用分野］
この発明は、固体カラー撮像素子に用いられるストライ
プ状カラーフィルタに関するものである。
プ状カラーフィルタに関するものである。
［従来の技術］
第３Ａ図は従来の固体カラー撮像素子用カラーフィルタ
を示す甲面図であり、第３Ｂ図は第３Ａ図のｍＢ−ｍＢ
線に沿う断面図である。第３Ａ図において、基板１上に
は、受光領域としての絵素２が複数個設けられており、
この絵素２の上方にはストライプ状の第１フイルタ３、
第２フイルタ４および第３フイルタ５が設けられている
。第３Ｂ図に示すように、それぞれの絵素２の間には分
離領域７が設けられている。絵素２および分離領域７の
上には、透明ポリマー６が形成されており、該透明ポリ
マー６上には第２フイルタ４が形成され、さらにその上
に保護膜８が形成されている。
を示す甲面図であり、第３Ｂ図は第３Ａ図のｍＢ−ｍＢ
線に沿う断面図である。第３Ａ図において、基板１上に
は、受光領域としての絵素２が複数個設けられており、
この絵素２の上方にはストライプ状の第１フイルタ３、
第２フイルタ４および第３フイルタ５が設けられている
。第３Ｂ図に示すように、それぞれの絵素２の間には分
離領域７が設けられている。絵素２および分離領域７の
上には、透明ポリマー６が形成されており、該透明ポリ
マー６上には第２フイルタ４が形成され、さらにその上
に保護膜８が形成されている。
なお、第３Ａ図においては、絵素２、第１フイルタ３、
第２フイルタ４および第３フイルタ５にはハツチングを
付けて図示している。
第２フイルタ４および第３フイルタ５にはハツチングを
付けて図示している。
このような固体カラー撮像索子は、以下のようにして製
造される。絵素２および分離領域７を設けた基板１上に
、まず透明ポリマー６を塗布し、露光して現像する。次
に、被染色材を塗布し、フォトマスクを用いて露光し現
像する。次に、この被染色材を染色法を用いて染色し、
ストライプ状の第１フイルタ３を形成する。用いるフォ
トマスクとしては、特開昭５５−２５０６７号公報や特
開昭５９−１０４６１０号公報のようにフィルタを連続
して形成できるものを使用する。第１フイルタ３を形成
した後、同様にして防染膜を介して第２フイルタ４およ
び第３フイルタ５を形成する。
造される。絵素２および分離領域７を設けた基板１上に
、まず透明ポリマー６を塗布し、露光して現像する。次
に、被染色材を塗布し、フォトマスクを用いて露光し現
像する。次に、この被染色材を染色法を用いて染色し、
ストライプ状の第１フイルタ３を形成する。用いるフォ
トマスクとしては、特開昭５５−２５０６７号公報や特
開昭５９−１０４６１０号公報のようにフィルタを連続
して形成できるものを使用する。第１フイルタ３を形成
した後、同様にして防染膜を介して第２フイルタ４およ
び第３フイルタ５を形成する。
そして、最後に保護膜８を形成する。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このような従来のストライプ状の固体カ
ラー撮像素子用カラーフィルタでは、膨潤等のストレス
がフィルタに加わると、フィルタが屈曲し蛇行を生じる
という問題点が萬った。
ラー撮像素子用カラーフィルタでは、膨潤等のストレス
がフィルタに加わると、フィルタが屈曲し蛇行を生じる
という問題点が萬った。
それゆえに、この発明の目的は、かかる従来のフィルタ
の欠点を解消し、フィルタに加わるストレスを緩和し、
蛇行等が生じるのを抑制することのできるストライプ状
のカラーフィルタを提供することにある。
の欠点を解消し、フィルタに加わるストレスを緩和し、
蛇行等が生じるのを抑制することのできるストライプ状
のカラーフィルタを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
この発明のカラーフィルタでは、受光領域以外の部分の
少なくとも１カ所で切除部が形成されている。
少なくとも１カ所で切除部が形成されている。
この発明で形成される切除部は、ストライプ状カラーフ
ィルタの幅方向に全体的に形成されたものでもよいし、
幅方向に部分的に切欠かれて形成されたものでもよい。
ィルタの幅方向に全体的に形成されたものでもよいし、
幅方向に部分的に切欠かれて形成されたものでもよい。
［作用］
この発明のカラーフィルタでは、切除部が形成されてい
るため、この切除部でカラーフィルタに加わったストレ
スを緩和し吸収することができる。
るため、この切除部でカラーフィルタに加わったストレ
スを緩和し吸収することができる。
［実施例］
第１Ａ図はこの発明の一実施例であるカラーフィルタを
示す平面図であり、第１Ｂ図は第１Ａ図のＩ Ｂ−Ｉ
Ｂ線に沿う断面図である。第１Ａ図に示すように、半導
体基板１上には受光領域としての絵素２が並べて設けら
れている。各列の絵素２の上方には、第１フイルタ１３
、第２フイルタ１４および第３フイルタ１５がそれぞれ
設けられている。第１フイルタ１３、第２フイルタ１４
および第３フイルタ１５の絵素２以外の部分の所定箇所
には、切除部９が形成されている。
示す平面図であり、第１Ｂ図は第１Ａ図のＩ Ｂ−Ｉ
Ｂ線に沿う断面図である。第１Ａ図に示すように、半導
体基板１上には受光領域としての絵素２が並べて設けら
れている。各列の絵素２の上方には、第１フイルタ１３
、第２フイルタ１４および第３フイルタ１５がそれぞれ
設けられている。第１フイルタ１３、第２フイルタ１４
および第３フイルタ１５の絵素２以外の部分の所定箇所
には、切除部９が形成されている。
第１Ｂ図に示すように、半導体基板１上の絵素２の間に
は、分離領域７が設けられており、絵素２および分離ｅ
ｆｉ域７の上には透明ポリマー６が形成されている。こ
の透明ポリマー６の上に第２フイルタ１４が設けられて
おり、絵素２以外の部分、すなわち分離領域７の上方に
、切除部９が形成されている。このような切除部９の形
成された第２フイルタ１４の上には保護膜８が形成され
ている。
は、分離領域７が設けられており、絵素２および分離ｅ
ｆｉ域７の上には透明ポリマー６が形成されている。こ
の透明ポリマー６の上に第２フイルタ１４が設けられて
おり、絵素２以外の部分、すなわち分離領域７の上方に
、切除部９が形成されている。このような切除部９の形
成された第２フイルタ１４の上には保護膜８が形成され
ている。
このようなカラーフィルタを有した固体カラー撮像素子
は、以下のようにして製造することができる。絵素２お
よび分離領域７を設けた半導体基板１上に、透明ポリマ
ー６を塗布した後露光し現像する。次に、この透明ポリ
マー６上に、ゼラチン等からなる被染色材を塗布し、そ
れをフォトマスクを通して露光し現像する。そして、こ
の被染色材を染色法を用いて染色し、第１フイルタ１３
を形成する。フォトマスクを通しての露光の際、フォト
マスクとしては、切除部９に対応する部分を切込んだフ
ォトマスクを使用する。これによって、第１フイルタ１
３の所定の部分に、切除部９を形成する。次に、防染膜
４を介して同様に第２フイルタ１４および第３フイルタ
１５を形成する。
は、以下のようにして製造することができる。絵素２お
よび分離領域７を設けた半導体基板１上に、透明ポリマ
ー６を塗布した後露光し現像する。次に、この透明ポリ
マー６上に、ゼラチン等からなる被染色材を塗布し、そ
れをフォトマスクを通して露光し現像する。そして、こ
の被染色材を染色法を用いて染色し、第１フイルタ１３
を形成する。フォトマスクを通しての露光の際、フォト
マスクとしては、切除部９に対応する部分を切込んだフ
ォトマスクを使用する。これによって、第１フイルタ１
３の所定の部分に、切除部９を形成する。次に、防染膜
４を介して同様に第２フイルタ１４および第３フイルタ
１５を形成する。
最後に、第１フイルタ１３、第２フイルタ１４および第
３フイルタ１５の上に、保護膜８を形成する。
３フイルタ１５の上に、保護膜８を形成する。
第１Ａ図および第１Ｂ図に示した実施例では、ストライ
プ状カラーフィルタの幅方向に全体的に切除部が形成さ
れているが、この発明では必ずしもこのような切除部に
限定されるものではない。
プ状カラーフィルタの幅方向に全体的に切除部が形成さ
れているが、この発明では必ずしもこのような切除部に
限定されるものではない。
たとえば、第２図に示した切除部１０のように、ストラ
イプ状カラーフィルタの幅方向に部分的に切欠かれて切
除部が形成されていてもよい。
イプ状カラーフィルタの幅方向に部分的に切欠かれて切
除部が形成されていてもよい。
また、以上の実施例では、半導体基板の上方にカラーフ
ィルタを直接形成させているが、ガラス基板上にカラー
フィルタを形成し、貼り合わせてもよい。
ィルタを直接形成させているが、ガラス基板上にカラー
フィルタを形成し、貼り合わせてもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、ストライプ状
カラーフィルタの受光領域以外の部分の少なくとも１カ
所に、切除部が形成されているため、ストライプ状カラ
ーフィルタにストレスが加わっても、この切除部でスト
レスを緩和することができる。したがって、従来のカラ
ーフィルタでは問題となった蛇行等を防市することがで
きる。
カラーフィルタの受光領域以外の部分の少なくとも１カ
所に、切除部が形成されているため、ストライプ状カラ
ーフィルタにストレスが加わっても、この切除部でスト
レスを緩和することができる。したがって、従来のカラ
ーフィルタでは問題となった蛇行等を防市することがで
きる。
第１Ａ図は、この発明の一実施例であるカラーフィルタ
を示す平面図である。第１Ｂ図は、第１Ａ図のＩ Ｂ−
Ｉ Ｂ線に沿う断面図である。第２図は、この発明の他
の実施例であるカラーフィルタを示す断面図である。第
３Ａ図は、従来のカラーフィルタを示す平面図である。 第３Ｂ図は、第３Ａ図のＩＩ［Ｂ−ｍＢ線に沿う断面図
である。 図において、１は半導体基板、２は絵素、６は透明ポリ
マー、７は分離領域、８は保護膜、９゜１０は切除部、
１３は第１フイルタ、１４．２４は第２フイルタ、１５
は第３フイルタを示す。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
を示す平面図である。第１Ｂ図は、第１Ａ図のＩ Ｂ−
Ｉ Ｂ線に沿う断面図である。第２図は、この発明の他
の実施例であるカラーフィルタを示す断面図である。第
３Ａ図は、従来のカラーフィルタを示す平面図である。 第３Ｂ図は、第３Ａ図のＩＩ［Ｂ−ｍＢ線に沿う断面図
である。 図において、１は半導体基板、２は絵素、６は透明ポリ
マー、７は分離領域、８は保護膜、９゜１０は切除部、
１３は第１フイルタ、１４．２４は第２フイルタ、１５
は第３フイルタを示す。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）複数個の受光領域を有する半導体基板の上方に設
けられるストライプ状の固体カラー撮像素子用カラーフ
ィルタであって、 前記受光領域以外の部分の少なとくも１ヵ所で切除部が
形成されている、同体カラー撮像素子用カラーフィルタ
。 - （２）前記切除部がストライプ状カラーフィルタの幅方
向に全体的に形成されており、該切除部によってストラ
イプ状カラーフィルタが分断されている、特許請求の範
囲第１項記載の固体カラー撮像素子用カラーフィルタ。 - （３）前記切除部がストライプ状カラーフィルタの幅方
向に部分的に切欠かれて形成されている、特許請求の範
囲第１項記載の固体カラー撮像素子用カラーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62291327A JPH01130690A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 固体カラー撮像素子用カラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62291327A JPH01130690A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 固体カラー撮像素子用カラーフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130690A true JPH01130690A (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=17767474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62291327A Pending JPH01130690A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 固体カラー撮像素子用カラーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130690A (ja) |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP62291327A patent/JPH01130690A/ja active Pending
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