JPH01134235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01134235U JPH01134235U JP3062888U JP3062888U JPH01134235U JP H01134235 U JPH01134235 U JP H01134235U JP 3062888 U JP3062888 U JP 3062888U JP 3062888 U JP3062888 U JP 3062888U JP H01134235 U JPH01134235 U JP H01134235U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- metal
- pressure sensor
- metal disc
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の圧力センサの第１実施例の縦
断面図、第２図ａ，ｂは本考案の圧力センサの第
２実施例に使用される金属円板を示し、第２図ａ
は斜視図、第２図ｂは縦断面図、第３図ａ，ｂは
本考案の圧力センサの第３実施例に使用される金
属円板を示し、第３図ａは斜視図、第３図ｂは縦
断面図、第４図は従来の圧力センサの縦断面図、
第５図は従来の圧力センサのダイアフラムに接合
した金属円板の説明図、第６図はダイアフラムに
印加する圧力と金属円板の変位量との理想的な関
係を示す図、第７図ａ，ｂ，ｃは従来の圧力セン
サにおけるダイアフラムに印加する圧力と金属円
板の変位量との関係を示す図である。 １……固定枠、２……ダイアフラム、３，４…
…金属円板、５ａ，５ｂ，５ｃ……導線、６……
垂下部、７……溝、８……環状溝。
断面図、第２図ａ，ｂは本考案の圧力センサの第
２実施例に使用される金属円板を示し、第２図ａ
は斜視図、第２図ｂは縦断面図、第３図ａ，ｂは
本考案の圧力センサの第３実施例に使用される金
属円板を示し、第３図ａは斜視図、第３図ｂは縦
断面図、第４図は従来の圧力センサの縦断面図、
第５図は従来の圧力センサのダイアフラムに接合
した金属円板の説明図、第６図はダイアフラムに
印加する圧力と金属円板の変位量との理想的な関
係を示す図、第７図ａ，ｂ，ｃは従来の圧力セン
サにおけるダイアフラムに印加する圧力と金属円
板の変位量との関係を示す図である。 １……固定枠、２……ダイアフラム、３，４…
…金属円板、５ａ，５ｂ，５ｃ……導線、６……
垂下部、７……溝、８……環状溝。
補正 平１．２．１５
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第８頁第９行目の「５ａ，５ｂ，５ｃ…
…導線」を「５ａ，５ｂ……導線」と補正する。
…導線」を「５ａ，５ｂ……導線」と補正する。
Claims (1)
- 環状の固定枠に固定された金属円板と、前記固
定枠に外周縁を支持された金属製のダイアフラム
の平担部に接合された金属円板とを対向させ、固
定された金属円板と、ダイアフラムに導線を接続
し直流電圧を印加するとともに、ダイアフラムに
接合した金属円板に導線を接続し２つの金属円板
間の静電容量を検知する検知回路へ接続させた圧
力センサにおいて、前記ダイアフラムに接合され
る金属円板を変形しにくい構造としたことを特徴
とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062888U JPH01134235U (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062888U JPH01134235U (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01134235U true JPH01134235U (ja) | 1989-09-13 |
Family
ID=31255854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3062888U Pending JPH01134235U (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01134235U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5075475A (ja) * | 1973-11-05 | 1975-06-20 | ||
| JPS5565129A (en) * | 1978-11-09 | 1980-05-16 | Vaisala Oy | Pressure gauge |
-
1988
- 1988-03-08 JP JP3062888U patent/JPH01134235U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5075475A (ja) * | 1973-11-05 | 1975-06-20 | ||
| JPS5565129A (en) * | 1978-11-09 | 1980-05-16 | Vaisala Oy | Pressure gauge |