JPH01135518A

JPH01135518A - スルフォランによる吸収除害方法

Info

Publication number: JPH01135518A
Application number: JP62294770A
Authority: JP
Inventors: Tsuneo Kihamoto; 恒夫木波本; Minoru Isoda; 磯田　実; Toshiyuki Akagi; 赤木　敏之
Original assignee: Seitetsu Kagaku Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Seika Chemicals Co Ltd
Priority date: 1987-11-20
Filing date: 1987-11-20
Publication date: 1989-05-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は例えば、半導体製造プロセスにおけるフォトレ
ジストの剥離工程で発生する有機溶剤含有度ガスから有
機溶剤を除去して該廃ガスを無害化する方法に関する。

（従来の技術）半導体や集積回路を製造するプロセスでは基体からフォ
トレジスト膜を剥離除去する工程があるが、この工程で
は剥離剤として一般にフェノール系化合物や塩素系有機
溶剤を昇温しで使用するため、これら有機溶剤をＰＰｍ
オーダーで含む雰囲気ガスが発生する。

従って環境衛生上、また公害防止上の見地から、有機溶
剤のもつ毒性や臭気を除去する必要がおり、そのため現
在、発生した有機溶剤含有度ガスは局所吸引したものを
活性炭によって吸着除害する方法が一般的に採られてい
る。

しかしながら活性炭の除去能力が十分でないため吸着後
の気体が悪臭を発したり、活性炭の再生や、入替作業が
煩雑であったり、廃活性炭の処理を含め脱臭・除害に要
する費用も嵩むので有利な方法とはいえない。

（発明が解決しようとする問題点）従来の活性炭を使用する有機溶剤の除去法では、吸着能
力の問題、再生操作の煩雑さや、廃活性炭の処理を含め
てその取扱いに要する費用が嵩むなどの問題点が多い。

本発明者らは活性炭による吸着除害法に代る新規な有機
溶剤の除去法について鋭意検討の結果、取扱いの簡単な
液体の吸収剤としてスルフオランを用い、これと各種有
機溶剤を含む気体とを気液接触させれば、気体中の有機
溶剤を効率よく吸収除去することができることを見出し
、本発明に到達した。有機溶剤を吸収した吸収液は蒸留
によりスルフオランと有機溶剤を分離して再使用できる
ので効果的かつ作業性にすぐれた除害法を提供すること
ができる。

（問題点を解決するための手段）で表わされるスルフオラン（テトラヒドロチオフェン−
１，１−ジオキサイド）を吸収液として用い、これと有
機溶剤を含む気体とを気液接触させ、気体中の有機溶剤
を吸収除去することを特徴とする除害方法である。

本発明ではスルフオランの有機化合物に対するすぐれた
溶解性を利用して気体中に存在する有機溶剤を効果的に
除去することができる。またスルフオランは高沸点（２
８５℃）で比較的高温でも安定した化合物であるため吸
収した有機溶剤は蒸留することによって容易に分離でき
、回収されたスルフオランは再使用することが可能であ
る。

吸収剤として使用するスルフオランは純品では融点が２
７℃と高いため、水を５〜１０重量％添加して融点を下
げ、水溶液の状態で使用するのが好ましい。

スルフオランは気体中に存在する高い濃度の有機溶剤も
吸収可能であるが、本発明では通常５００ｐｐｍ以下の
比較的低い濃度で含まれる有機溶剤の除去に適用してす
ぐれた効果を発揮する。

本発明で吸収の対象となり得る有機溶剤とは、常温でス
ルフオランと混和する化合物であればよく、特に限定さ
れるものではない。

その具体例を示せば、フェノール、チオフェノール、ベ
ンゼン、トルエン、キシレン、０−ジクロルベンゼン、
四塩化炭素、アセトン、シクロヘキサノン、メタノール
、エタノール、ｎ−ブチルアルコール、グリセリン、エ
チレングリコール。

トリエチレングリコール、アニリン、エチレンジアミン
、ジェタノールアミンなどである。

これら有機溶剤を含む気体とスルフオランとを気液接触
させれば気体中の有機溶剤は制限閾値（以下ＴＬＶと称
す）以下の極微量にまで除去することができる。この発
明は空気雰囲気中に有機溶剤が含まれる場合の他、各種
のプロセスで発生する気体中に比較的少量の有機溶剤が
含まれている気体に適用してすぐれた効果をあげること
ができる。

スルフオランと気体例えば空気中に含まれる有機溶剤を
気液接触させる方法は特に限定されることはなく、スル
フオラン中に気体を直接バブリングざぜる方法の他、充
填塔、棚段塔、スプレー塔などの気液接触装置から適宜
、選択使用して気液向流接触させればよい。

（実施例）以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１〜３１００ｐｐｍのＯ−ジクロルベンゼンを含んだ空気、５
０ｐＩ）ｍのフェノールを含んだ空気、３００ｐｐｍの
ｍ−キシレンを含んだ空気を室温で下記の第１表に示し
た流量で、９５重量％スルフオラン水溶液１５０ｇを入
れたそれぞれ別の吸収瓶に導いて気液接触させた。結果
は下の第１表のとおりであった。

なお、Ｏ−ジクロルベンゼン、フェノール、ｍ−キシレ
ンのＴＬＶ値はそれぞれ５０Ｃ１ｍ、５ＤＤｍ、１１０
０ｐｐである。

実施例４４０　ｐｐｍのフェノールを含む空気を２−７分の流量
で９５重量％スルフオラン水溶液７５Ｋｇを循環させて
いる充填塔式洗浄塔に導いて気液接触させた。

洗浄塔出口ガス中のフェノールを検知管にて測定を続け
た結果、３１０時間を経過するまでは検知せず（検知限
界０．４Ｃ１ｍ）又、臭気もなかった。

３１２時間後に４ｐｐｍを検出し、ＴＬＶ値である５ｐ
ｐｍに達したのはガス導入開始より３６０時間後であっ
た。

（発明の効果）本発明によれば、従来の活性炭を用いる吸着法と比較し
て取扱いが簡便であるため、各種有機溶剤を含む気体か
ら容易かつ安全に有機溶剤を除去することができる。し
かもスルフオランの有機化合物に対するすぐれた溶解性
から非常に高い除去効果を上げることができる。

またスルフオラン自体、人体に対して低毒性で水棲生物
に対する毒性も極めて低いことも本発明のすぐれた点の
一つである。

代表者　増　１）裕　治１　事件の表示昭和６２年特許願第２９４７７０号２、発明の名称スルフオランによる吸収除害方法３、補正をする者事件との関係　　　　　特許出願人〒６７５−０１住所　兵庫県加古郡播磨町富西３４６番地の１４、補正
の対象５、補正の内容（１）明細書第４頁第１４行「水溶液の状態」を「含水
状態」と補正する。

（２）明細書第６頁第１０行「９５重量％スルフオラン
水溶液」を「スルフオラン（５重量％水分含有）」と補
正する。

（３）明細書第８頁第３行「９５％重量スルフオラン水
溶液」を「スルフオラン（５重量％水分含有）」と補正
する。

以上

Claims

【特許請求の範囲】

（１）スルフォランを吸収液として、これと有機溶剤の
蒸気を含む気体とを気液接触させ、気体中に含まれる有
機溶剤を吸収除去することを特徴とする吸収除害方法。
（２）気体が空気である特許請求の範囲（１）記載の方
法。
（３）有機溶剤がフェノールである特許請求の範囲（１
）記載の方法。
（４）有機溶剤がＯ−ジクロルベンゼンである特許請求
の範囲（４）記載の方法。
（５）有機溶剤がｍ−キシレンである特許請求の範囲（
１）記載の方法。