JPH01137536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01137536U JPH01137536U JP3373688U JP3373688U JPH01137536U JP H01137536 U JPH01137536 U JP H01137536U JP 3373688 U JP3373688 U JP 3373688U JP 3373688 U JP3373688 U JP 3373688U JP H01137536 U JPH01137536 U JP H01137536U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- carrier
- wafer carrier
- hole
- ground pin
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例を示す半導体ウエハキ
ヤリアの接地装置の構成図、第２図は従来のキヤ
リアケース内に半導体ウエハキヤリアが収納され
た状態を示す斜視図、第３図は従来の半導体ウエ
ハのキヤリアから移載状態を示す図である。 １１……半導体ウエハキヤリア、１２……除電
板、１３，１３′……アースピンの接触用穴、１
４……キヤリアケース、１５，１５′……アース
ピン、１６……アースコード。
ヤリアの接地装置の構成図、第２図は従来のキヤ
リアケース内に半導体ウエハキヤリアが収納され
た状態を示す斜視図、第３図は従来の半導体ウエ
ハのキヤリアから移載状態を示す図である。 １１……半導体ウエハキヤリア、１２……除電
板、１３，１３′……アースピンの接触用穴、１
４……キヤリアケース、１５，１５′……アース
ピン、１６……アースコード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) 半導体ウエハに電気的に導通される接地ピ
ン装着用穴が形成される半導体ウエハキヤリアと
、 (b) 前記穴に嵌合する接地ピンが設けられると
共に、接地される前記半導体ウエハキヤリアを収
納するキヤリアケースとを具備する半導体ウエハ
キヤリアの接地装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3373688U JPH01137536U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3373688U JPH01137536U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137536U true JPH01137536U (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=31260427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3373688U Pending JPH01137536U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01137536U (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3373688U patent/JPH01137536U/ja active Pending