JPH0114185B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0114185B2 JPH0114185B2 JP58129966A JP12996683A JPH0114185B2 JP H0114185 B2 JPH0114185 B2 JP H0114185B2 JP 58129966 A JP58129966 A JP 58129966A JP 12996683 A JP12996683 A JP 12996683A JP H0114185 B2 JPH0114185 B2 JP H0114185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- alumina
- ultraviolet
- thermal expansion
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
本発明は、紫外線透過率の高いアルミナ封着用
ガラス組成物に関し、特にEP―ROM用アルミナ
セラミツクパツケージにおいて、紫外線透過用窓
として用いるガラス組成物に関する。 EP―ROMとは、Erasable Programable―
Read Only Memoryの略語で、紫外線照射によ
りプログラムのメモリーの消去が可能である読み
出し専用記憶半導体のことであり、これの支持体
としてアルミナセラミツクパツケージが用いら
れ、これには紫外線照射用の窓が取りつけられて
いる。 この窓に用いられるガラスは、紫外線透過率が
高いことが必要であると共に、窓ガラスとアルミ
ナパツケージとを直接封着により気密封止する必
要があるために、ガラスとアルミナの封着性が良
好であること、特にガラスの熱膨張係数がアルミ
ナの熱膨張係数とマツチすることが必要である。
すなわち、EP―ROM用アルミナパツケージに用
いられる窓ガラスの具体的な必要特性は、紫外線
透過率が波長253.7nmの紫外線に対してガラス肉
厚１mmで60％以上の透過率を有すること、そし
て、熱膨張係数が30〜380℃の温度範囲で50〜58
×10-7／℃を有することである。この必要とされ
る熱膨張係数について更に説明すれば、アルミナ
と封着する際、ガラスとアルミナの固着する温度
から室温に至るガラスとアルミナの収縮の差が
200〜1000ppmの範囲内で、ガラス側に圧縮応力
がかかれば気密性に優れ、高い強度を有する安全
なコンプレツシヨンシールが可能である。いま、
アルミナの熱膨張係数は65〜70×10-7／℃である
から、上記のようなコンプレツシヨンシールを得
るためには、ガラスの熱膨張係数は50〜58×
10-7／℃であることが必要である。この範囲より
熱膨張係数が大きいとガラスにかかる圧縮応力が
小さくなり、ついには応力が逆転し、ガラスに引
張応力が生じるため、気密性が保たれなくなり、
かつ強度が低下し、熱衝撃等によりガラスにクラ
ツクが発生しやすくなる。熱膨張係数が小さいと
ガラスとアルミナとの収縮差が1000ppmを越える
ため、アルミナ及びガラスのそれぞれに著しく大
きな応力が加わり、熱衝撃等により、ガラスある
いはアルミナにクラツクが発生しやすくなる。 従来、紫外線透過ガラスとして石英ガラスがあ
る。これは肉厚１mmで波長253.7nmの紫外線透過
率は約90％と非常に高いが、熱膨張係数が約５×
10-7／℃と小さいため、アルミナ封着には適さな
い。また米国コーニング社製造のNo.9741ガラスが
ある。このガラスは肉厚１mmで波長253.7nmの紫
外線透過率は88％以上あるが、熱膨張係数が37〜
39×10-7／℃と小さいためにアルミナ封着用とし
ては適さない。 従来よりガラスに不純物として混入する鉄分が
ガラスの紫外線吸収を増大させることが知られて
いる。これはFe3+が紫外に大きな吸収をもつた
めである。したがつて、ガラスの紫外線吸収を減
少させ、透過率を増大させるためには不純物であ
る鉄分を減少させること、および、ガラスを還元
状態にすることによりFe3+を減少させ、Fe2+に
してやることが必要である。ガラスを還元状態に
することは、ガラスバツチ中に還元剤を加えるこ
とにより達成される。還元剤としては、カーボン
粉末、金属アルミニウム、酒石酸、ロツセル塩、
庶糖などを用いることができる。かかる不純物の
鉄分は、Fe2O3重量含有率換算にして50ppm以下
にする必要がある。 ガラスによる紫外線の吸収は、不純物としての
Fe3+の吸収のみで生じるのではなく、ガラス成
分の影響を強く受けることがわかつた。石英ガラ
スが非常に高い紫外線透過率を有するのはFe3+
不純物が少ないことにもよるが、ガラス成分が
SiO2単一であることによる。一般にガラス成分
としてアルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸
化物を加えると紫外域に吸収が生じてくる。い
ま、アルミナ封着用ガラスとして、50〜58×
10-7／℃の熱膨張係数をもつようにガラス組成を
検討していくと、６〜14重量含有率に相当するア
ルカリ金属酸化物、あるいはアルカリ土類金属酸
化物をガラス組成に加える必要がある。しかしな
がら、これだけの量のアルカリ金属酸化物、アル
カリ土類金属酸化物を加えると紫外線吸収が増大
し、たとえ不純物としての鉄分を50ppm以下に抑
え、かつ、還元剤を加えて溶融しても、十分な紫
外線透過率を有するガラスを得ることは難しい。 本発明者等は、アルカリ金属酸化物（R2O）、
アルカリ土類金属酸化物（RO）による紫外線吸
吸を抑えることを検討した結果、Al2O3及びB2O3
がこの紫外線吸収を抑える作用があることを見い
出した。アルカリ金属酸化物を含むガラスにおい
て、Al2O3及びB2O3の含有率を高めていくことに
よつて、紫外線吸収が減少し紫外線透過率が増大
することが判明した。Al2O3は、また化学的耐久
性を高めるが、含有量が多くなりすぎると溶融性
が悪化する。B2O3は融剤となりガラスの溶融を
助けるが、含有量が多くなりすぎると、ガラスの
耐水性が悪くなり、また、ガラス溶融時にガラス
表面からの揮発量が増大し、ガラスの不均質化を
まねく。本発明者等は、このような検討の結果か
ら次のような内容の本発明に到達した。 本発明は、アルミナセラミツクと安全にコンプ
レツシヨンシールが可能であるように30〜380℃
の温度範囲で50〜58×10-7／℃の熱膨張係数を有
し、不純物としてのFe2O3重量含有率が50ppm以
下であり、かつ肉厚１mmで波長253.7nmの紫外線
の透過率が60％以上であることを特徴とし、下記
成分、すなわち重量％でSiO261〜67、Al2O35〜
８、B2O320〜25、R2O7〜10、RO0〜２、F20〜
２からなり、ただしR2OははLi2O＋Na2O＋K2O
であり、ROはMgO，CaO，SrO，BaO，ZnOで
あるアルミナ封着用紫外線透過ガラスである。 次に、本発明のガラスの組成物限定理由につい
て説明する。 SiO2が67％より多いときは、ガラスの溶解性
が悪化し、熱膨張係数が小さくなりすぎ、61％よ
り少ないときは、紫外線透過率が減少し、ガラス
の化学的耐久性が悪化する。Al2O3が８％より多
いときは溶解性が悪化し、５％より少ないときは
紫外線透過率が減少すると共に化学的耐久性が悪
化する。B2O3が25％より多いときは、化学的耐
久性が悪化し、20％より少ないときは紫外線透過
率が低下すると共に溶解性が悪くなる。R2Oのア
ルカリ金属酸化物が1.0％より多いときは、熱膨
張係数が大きくなりすぎると共に、紫外線透過率
が減少し、一方７％より少ないときは熱膨張係数
が小さくなりすぎ、溶解性が悪くなる。ROのア
ルカリ土類金属酸化物は、ガラスの溶解性及び化
学的耐久性を向上させる効果があるが、２％より
多いときは、紫外線透過率が減少する。F2は、
ガラスの溶解性及び泡切れに効果があるが、２％
より多いときはガラスが乳濁化し、有害な弗素の
揮発量が上昇する。 下表に、本発明のガラスの実施例を示す。
ガラス組成物に関し、特にEP―ROM用アルミナ
セラミツクパツケージにおいて、紫外線透過用窓
として用いるガラス組成物に関する。 EP―ROMとは、Erasable Programable―
Read Only Memoryの略語で、紫外線照射によ
りプログラムのメモリーの消去が可能である読み
出し専用記憶半導体のことであり、これの支持体
としてアルミナセラミツクパツケージが用いら
れ、これには紫外線照射用の窓が取りつけられて
いる。 この窓に用いられるガラスは、紫外線透過率が
高いことが必要であると共に、窓ガラスとアルミ
ナパツケージとを直接封着により気密封止する必
要があるために、ガラスとアルミナの封着性が良
好であること、特にガラスの熱膨張係数がアルミ
ナの熱膨張係数とマツチすることが必要である。
すなわち、EP―ROM用アルミナパツケージに用
いられる窓ガラスの具体的な必要特性は、紫外線
透過率が波長253.7nmの紫外線に対してガラス肉
厚１mmで60％以上の透過率を有すること、そし
て、熱膨張係数が30〜380℃の温度範囲で50〜58
×10-7／℃を有することである。この必要とされ
る熱膨張係数について更に説明すれば、アルミナ
と封着する際、ガラスとアルミナの固着する温度
から室温に至るガラスとアルミナの収縮の差が
200〜1000ppmの範囲内で、ガラス側に圧縮応力
がかかれば気密性に優れ、高い強度を有する安全
なコンプレツシヨンシールが可能である。いま、
アルミナの熱膨張係数は65〜70×10-7／℃である
から、上記のようなコンプレツシヨンシールを得
るためには、ガラスの熱膨張係数は50〜58×
10-7／℃であることが必要である。この範囲より
熱膨張係数が大きいとガラスにかかる圧縮応力が
小さくなり、ついには応力が逆転し、ガラスに引
張応力が生じるため、気密性が保たれなくなり、
かつ強度が低下し、熱衝撃等によりガラスにクラ
ツクが発生しやすくなる。熱膨張係数が小さいと
ガラスとアルミナとの収縮差が1000ppmを越える
ため、アルミナ及びガラスのそれぞれに著しく大
きな応力が加わり、熱衝撃等により、ガラスある
いはアルミナにクラツクが発生しやすくなる。 従来、紫外線透過ガラスとして石英ガラスがあ
る。これは肉厚１mmで波長253.7nmの紫外線透過
率は約90％と非常に高いが、熱膨張係数が約５×
10-7／℃と小さいため、アルミナ封着には適さな
い。また米国コーニング社製造のNo.9741ガラスが
ある。このガラスは肉厚１mmで波長253.7nmの紫
外線透過率は88％以上あるが、熱膨張係数が37〜
39×10-7／℃と小さいためにアルミナ封着用とし
ては適さない。 従来よりガラスに不純物として混入する鉄分が
ガラスの紫外線吸収を増大させることが知られて
いる。これはFe3+が紫外に大きな吸収をもつた
めである。したがつて、ガラスの紫外線吸収を減
少させ、透過率を増大させるためには不純物であ
る鉄分を減少させること、および、ガラスを還元
状態にすることによりFe3+を減少させ、Fe2+に
してやることが必要である。ガラスを還元状態に
することは、ガラスバツチ中に還元剤を加えるこ
とにより達成される。還元剤としては、カーボン
粉末、金属アルミニウム、酒石酸、ロツセル塩、
庶糖などを用いることができる。かかる不純物の
鉄分は、Fe2O3重量含有率換算にして50ppm以下
にする必要がある。 ガラスによる紫外線の吸収は、不純物としての
Fe3+の吸収のみで生じるのではなく、ガラス成
分の影響を強く受けることがわかつた。石英ガラ
スが非常に高い紫外線透過率を有するのはFe3+
不純物が少ないことにもよるが、ガラス成分が
SiO2単一であることによる。一般にガラス成分
としてアルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸
化物を加えると紫外域に吸収が生じてくる。い
ま、アルミナ封着用ガラスとして、50〜58×
10-7／℃の熱膨張係数をもつようにガラス組成を
検討していくと、６〜14重量含有率に相当するア
ルカリ金属酸化物、あるいはアルカリ土類金属酸
化物をガラス組成に加える必要がある。しかしな
がら、これだけの量のアルカリ金属酸化物、アル
カリ土類金属酸化物を加えると紫外線吸収が増大
し、たとえ不純物としての鉄分を50ppm以下に抑
え、かつ、還元剤を加えて溶融しても、十分な紫
外線透過率を有するガラスを得ることは難しい。 本発明者等は、アルカリ金属酸化物（R2O）、
アルカリ土類金属酸化物（RO）による紫外線吸
吸を抑えることを検討した結果、Al2O3及びB2O3
がこの紫外線吸収を抑える作用があることを見い
出した。アルカリ金属酸化物を含むガラスにおい
て、Al2O3及びB2O3の含有率を高めていくことに
よつて、紫外線吸収が減少し紫外線透過率が増大
することが判明した。Al2O3は、また化学的耐久
性を高めるが、含有量が多くなりすぎると溶融性
が悪化する。B2O3は融剤となりガラスの溶融を
助けるが、含有量が多くなりすぎると、ガラスの
耐水性が悪くなり、また、ガラス溶融時にガラス
表面からの揮発量が増大し、ガラスの不均質化を
まねく。本発明者等は、このような検討の結果か
ら次のような内容の本発明に到達した。 本発明は、アルミナセラミツクと安全にコンプ
レツシヨンシールが可能であるように30〜380℃
の温度範囲で50〜58×10-7／℃の熱膨張係数を有
し、不純物としてのFe2O3重量含有率が50ppm以
下であり、かつ肉厚１mmで波長253.7nmの紫外線
の透過率が60％以上であることを特徴とし、下記
成分、すなわち重量％でSiO261〜67、Al2O35〜
８、B2O320〜25、R2O7〜10、RO0〜２、F20〜
２からなり、ただしR2OははLi2O＋Na2O＋K2O
であり、ROはMgO，CaO，SrO，BaO，ZnOで
あるアルミナ封着用紫外線透過ガラスである。 次に、本発明のガラスの組成物限定理由につい
て説明する。 SiO2が67％より多いときは、ガラスの溶解性
が悪化し、熱膨張係数が小さくなりすぎ、61％よ
り少ないときは、紫外線透過率が減少し、ガラス
の化学的耐久性が悪化する。Al2O3が８％より多
いときは溶解性が悪化し、５％より少ないときは
紫外線透過率が減少すると共に化学的耐久性が悪
化する。B2O3が25％より多いときは、化学的耐
久性が悪化し、20％より少ないときは紫外線透過
率が低下すると共に溶解性が悪くなる。R2Oのア
ルカリ金属酸化物が1.0％より多いときは、熱膨
張係数が大きくなりすぎると共に、紫外線透過率
が減少し、一方７％より少ないときは熱膨張係数
が小さくなりすぎ、溶解性が悪くなる。ROのア
ルカリ土類金属酸化物は、ガラスの溶解性及び化
学的耐久性を向上させる効果があるが、２％より
多いときは、紫外線透過率が減少する。F2は、
ガラスの溶解性及び泡切れに効果があるが、２％
より多いときはガラスが乳濁化し、有害な弗素の
揮発量が上昇する。 下表に、本発明のガラスの実施例を示す。
【表】
上記実施例のガラス試料は、次のように調製し
た。 実施例のガラス組成になるように、調合したバ
ツチを白金ルツボに入れ、電気炉で４時間溶融し
た。溶融の際、還元剤として金属アルミニウムを
0.1重量％添加した。溶融後カーボン板上に流し
出して板状試料を得た。この板状試料を小片に切
り出し、研磨により肉厚１mmの紫外線透過率測定
用とした。また板状試料を火炎加工により長さ50
mm×径3.5mmの棒状サンプルを作製し、これを熱
膨張係数測定用とした。 以上、説明した本発明のガラスは、紫外線透過
率が高く、また、アルミナセラミツクとの間で接
着性に優れ、気密性及び強度が向上するコンプレ
ツシヨンシールをすることができ、EP―ROM半
導体における紫外線透過用窓として特に適してい
る。
た。 実施例のガラス組成になるように、調合したバ
ツチを白金ルツボに入れ、電気炉で４時間溶融し
た。溶融の際、還元剤として金属アルミニウムを
0.1重量％添加した。溶融後カーボン板上に流し
出して板状試料を得た。この板状試料を小片に切
り出し、研磨により肉厚１mmの紫外線透過率測定
用とした。また板状試料を火炎加工により長さ50
mm×径3.5mmの棒状サンプルを作製し、これを熱
膨張係数測定用とした。 以上、説明した本発明のガラスは、紫外線透過
率が高く、また、アルミナセラミツクとの間で接
着性に優れ、気密性及び強度が向上するコンプレ
ツシヨンシールをすることができ、EP―ROM半
導体における紫外線透過用窓として特に適してい
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミナセラミツクスと安全にコンプレツシ
ヨンシールが可能であるように、30〜380℃の温
度範囲で50〜58×10-7／℃の熱膨張係数を有し、
不純物としてのFe2O3重量含有率が50ppm以下で
あり、かつ肉厚１mmで波長253.7nmの紫外線の透
過率が60％以上であることを特徴とし、下記成分
すなわち重量％でSiO261〜67、Al2O35〜８、
B2O320〜25、R2O7〜10、RO0〜２、F20〜２か
らなり、ただしR2OはLi2O＋Na2O＋K2Oであ
り、ROはMgO，CaO，SrO，BaO，ZnOである
アルミナ封着用紫外線透過ガラス。 ２ 紫外線照射によりメモリ―消去を行うEP―
ROM半導体を支持するアルミナパツケージにお
いて紫外線透過窓に用いる特許請求の範囲第１項
に記載のアルミナ封着用紫外線透過ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12996683A JPS6021830A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12996683A JPS6021830A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021830A JPS6021830A (ja) | 1985-02-04 |
| JPH0114185B2 true JPH0114185B2 (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=15022830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12996683A Granted JPS6021830A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021830A (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200842A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-11 | Hoya Corp | 紫外線透過用ガラス |
| DE3801840A1 (de) * | 1988-01-20 | 1989-08-03 | Schott Glaswerke | Uv-durchlaessiges glas |
| JP2634063B2 (ja) * | 1988-06-22 | 1997-07-23 | 東芝硝子株式会社 | 固体撮像素子用カバーガラス |
| US4925814A (en) * | 1989-02-27 | 1990-05-15 | Corning Incorporated | Ultraviolet transmitting glasses for EPROM windows |
| JP2562803B2 (ja) * | 1992-03-05 | 1996-12-11 | 東芝硝子株式会社 | Ｅｐ−ｒｏｍパッケージ用窓ガラス |
| US5268335A (en) * | 1992-11-27 | 1993-12-07 | Corning Incorporated | Fast strengthening glass lenses |
| DE4335204C1 (de) * | 1993-10-15 | 1995-04-06 | Jenaer Glaswerk Gmbh | Reduzierend erschmolzenes Borosilikatglas mit hoher Transmission im UV-Bereich und guter hydrolytischer Beständigkeit und seine Verwendung |
| DE4338128C1 (de) * | 1993-11-08 | 1995-05-18 | Jenaer Glaswerk Gmbh | Borosilikatglas mit hoher Transmission im UV-Bereich, niedriger Wärmeausdehnung und hoher chemischer Beständigkeit, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
| JP3748614B2 (ja) * | 1995-11-30 | 2006-02-22 | 日本電気硝子株式会社 | 調理器用トッププレート |
| DE102009036063B3 (de) * | 2009-08-04 | 2011-02-10 | Schott Ag | Hoch UV-durchlässige Borosilicatgläser mit reduziertem Bor-Gehalt |
| JP6489411B2 (ja) * | 2014-03-19 | 2019-03-27 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| CN104591539A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-05-06 | 中国建筑材料科学研究总院 | 一种远紫外波段高透过率的硼硅酸盐玻璃及其制备方法 |
| WO2017163963A1 (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス、紫外線照射装置および紫外線殺菌装置 |
| JP7289612B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2023-06-12 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| CN109437560A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-03-08 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种紫外高透硼硅酸盐玻璃及其制备方法 |
| DE202020107534U1 (de) | 2020-12-03 | 2021-07-14 | Schott Ag | Borosilicatglasartikel |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57160938A (en) * | 1981-03-30 | 1982-10-04 | Toshiba Glass Co Ltd | Ultraviolet absorbing hard glass |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP12996683A patent/JPS6021830A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6021830A (ja) | 1985-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR920003223B1 (ko) | Uv 투명유리 | |
| US4705763A (en) | High zirconia fused refractory product | |
| JPS60161351A (ja) | 眼科用ガラス | |
| JPH0867529A (ja) | ホウ酸低含有ホウケイ酸ガラス及びその応用 | |
| JPS621337B2 (ja) | ||
| JPS6021830A (ja) | アルミナ封着用紫外線透過ガラス | |
| JP4025935B2 (ja) | β−アルミナからなる耐火物 | |
| JPS6265954A (ja) | アルミナ封着用硼珪酸ガラス | |
| JPS6369732A (ja) | モリブデンシ−ル用ガラス | |
| JPS6058182B2 (ja) | ガラス組成物 | |
| US4537863A (en) | Low temperature sealing composition | |
| US3331731A (en) | Method of and article formed by sealing alumina ceramic to a metal with a sealant glass | |
| US4621064A (en) | Low temperature sealing composition with synthetic zircon | |
| JPH0422862B2 (ja) | ||
| JPH07126037A (ja) | 接着・封止用ガラス | |
| US3598620A (en) | Alkali-free molybdenum sealing hard glass | |
| JPS6344699B2 (ja) | ||
| JPH05353B2 (ja) | ||
| JPH1036134A (ja) | アルミナ封着用紫外線透過ガラス | |
| JPH07330372A (ja) | 低融点ガラス | |
| RU2039026C1 (ru) | Плавленолитой высокоциркониевый огнеупорный материал | |
| JP3192013B2 (ja) | 紫外線透過ガラス | |
| JP2881573B2 (ja) | 鉛を含まないクリスタルなガラス組成物の製造方法 | |
| JPH0558671A (ja) | 赤外線吸収ガラス | |
| JPH06211539A (ja) | 低放射線ガラス |