JPH01143063U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01143063U JPH01143063U JP4019188U JP4019188U JPH01143063U JP H01143063 U JPH01143063 U JP H01143063U JP 4019188 U JP4019188 U JP 4019188U JP 4019188 U JP4019188 U JP 4019188U JP H01143063 U JPH01143063 U JP H01143063U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- voltage
- triangular wave
- axis scanning
- wave voltage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000003079 width control Methods 0.000 claims description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン注
入装置を示す概略図である。第２図は、この考案
の他の実施例に係るイオン注入装置の制御回路を
示す回路図である。第３図は、先行例のイオン注
入装置を示す概略図である。第４図は、Ｘ軸走査
電圧の各種状態を示す図である。 ４…イオンビーム、６…Ｙ軸走査電極、８…Ｘ
軸走査電極、１０…マスク、１４…基板、４６…
Ｙ軸走査電源、４８…Ｘ軸走査電源、５０，５０
ａ…制御回路、５２，５４…周波数判別回路、５
６，５８…走査幅制御回路、６０，６０ａ，６２
，６２ａ…バイアス制御回路。
入装置を示す概略図である。第２図は、この考案
の他の実施例に係るイオン注入装置の制御回路を
示す回路図である。第３図は、先行例のイオン注
入装置を示す概略図である。第４図は、Ｘ軸走査
電圧の各種状態を示す図である。 ４…イオンビーム、６…Ｙ軸走査電極、８…Ｘ
軸走査電極、１０…マスク、１４…基板、４６…
Ｙ軸走査電源、４８…Ｘ軸走査電源、５０，５０
ａ…制御回路、５２，５４…周波数判別回路、５
６，５８…走査幅制御回路、６０，６０ａ，６２
，６２ａ…バイアス制御回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) イオンビームをＸ軸方向およびＹ軸方向に
それぞれ走査するためのＸ軸走査電極およびＹ軸
走査電極と、両走査電極に、直流のバイアス電圧
に三角波電圧を重畳したＸ軸走査電圧およびＹ軸
走査電圧をそれぞれ供給するものであつて各バイ
アス電圧および三角波電圧の大きさが外部からの
信号によつてそれぞれ可変のＸ軸走査電源および
Ｙ軸走査電源と、イオン注入すべき基板の手前側
に設けられていて所定寸法の開口を有するマスク
と、基板に流れるビーム電流が零になるタイミン
グを検出する零検出手段と、当該零検出手段に応
答して、前記ビーム電流が零になるときがないか
あるいは零になる周波数がＸ軸走査電圧の三角波
電圧の周波数と等しいかまたはその２倍かを判別
する第１の周波数判別手段と、前記零検出手段に
応答して、前記ビーム電流が零になるときがない
かあるいは零になる周波数がＹ軸走査電圧の三角
波電圧の周波数と等しいかまたはその２倍かを判
別する第２の周波数判別手段と、前記零検出手段
に応答して、前記ビーム電流が零になるときのＸ
軸走査電圧の三角波電圧がそのバイアス電圧の正
側か負側かを判別する第１の極性判別手段と、前
記零検出手段に応答して、前記ビーム電流が零に
なるときのＹ軸走査電圧の三角波電圧がそのバイ
アス電圧の正側か負側かを判別する第２の極性判
別手段と、前記第１の周波数判別手段に応答して
、前記ビーム電流が零になるときがないときＸ軸
走査電圧の三角波電圧の大きさを大きくし、零に
なる周波数が当該三角波電圧の周波数の２倍のと
き当該三角波電圧のそのときの値を維持するよう
Ｘ軸走査電源を制御する第１の走査幅制御手段と
、前記第２の周波数判別手段に応答して、前記ビ
ーム電流が零になるときがないときＹ軸走査電圧
の三角波電圧の大きさを大きくし、零になる周波
数が当該三角波電圧の周波数の２倍のとき当該三
角波電圧のそのときの値を維持するようＹ軸走査
電源を制御する第２の走査幅制御手段と、前記第
１の周波数判別手段および第１の極性判別手段に
応答して、前記ビーム電流が零になる周波数がＸ
軸走査電圧の三角波電圧の周波数に等しいとき、
当該三角波電圧がバイアス電圧の正側にあればバ
イアス電圧を減じ負側にあれば増加させ、当該周
波数が当該三角波電圧の周波数の２倍のとき当該
バイアス電圧のそのときの値を維持するようＸ軸
走査電源を制御する第１のバイアス制御手段と、
前記第２の周波数判別手段および第２の極性判別
手段に応答して、前記ビーム電流が零になる周波
数がＹ軸走査電圧の三角波電圧の周波数に等しい
とき、当該三角波電圧がバイアス電圧の正側にあ
ればバイアス電圧を減じ負側にあれば増加させ、
当該周波数が当該三角波電圧の周波数の２倍のと
き当該バイアス電圧のそのときの値を維持するよ
うＹ軸走査電源を制御する第２のバイアス制御手
段とを備えることを特徴とするイオン注入装置。 (2) イオンビームをＸ軸方向およびＹ軸方向に
それぞれ走査するためのＸ軸走査電極およびＹ軸
走査電極と、両走査電極に、直流のバイアス電圧
に三角波電圧を重畳したＸ軸走査電圧およびＹ軸
走査電圧をそれぞれ供給するものであつて各バイ
アス電圧および三角波電圧の大きさが外部からの
信号によつてそれぞれ可変のＸ軸走査電源および
Ｙ軸走査電源と、イオン注入すべき基板の手前側
に設けられていて所定寸法の開口を有するマスク
と、基板に流れるビーム電流が零になるタイミン
グを検出する零検出手段と、当該零検出手段に応
答して、前記ビーム電流が零になるときがないか
あるいは零になる周波数がＸ軸走査電圧の三角波
電圧の周波数と等しいかまたはその２倍かを判別
する第１の周波数判別手段と、前記零検出手段に
応答して、前記ビーム電流が零になるときがない
かあるいは零になる周波数がＹ軸走査電圧の三角
波電圧の周波数と等しいかまたはその２倍かを判
別する第２の周波数判別手段と、前記第１の周波
数判別手段に応答して、前記ビーム電流が零にな
るときがないときＸ軸走査電圧の三角波電圧の大
きさを大きくし、零になる周波数が当該三角波電
圧の周波数の２倍のとき当該三角波電圧のそのと
きの値を維持するようＸ軸走査電源を制御する第
１の走査幅制御手段と、前記第２の周波数判別手
段に応答して、前記ビーム電流が零になるときが
ないときＹ軸走査電圧の三角波電圧の大きさを大
きくし、零になる周波数が当該三角波電圧の周波
数の２倍のとき当該三角波電圧のそのときの値を
維持するようＹ軸走査電源を制御する第２の走査
幅制御手段と、前記第１の周波数判別手段に応答
して、前記ビーム電流が零になる周波数がＸ軸走
査電圧の三角波電圧の周波数に等しいときそのバ
イアス電圧を所定方向へ所定幅で小さくし、当該
周波数が当該三角波電圧の周波数の２倍のとき当
該バイアス電圧のそのときの値を維持するようＸ
軸走査電源を制御する第１のバイアス制御手段と
、前記第２の周波数判別手段に応答して、前記ビ
ーム電流が零になる周波数がＹ軸走査電圧の三角
波電圧の周波数に等しいときそのバイアス電圧を
所定方向へ所定幅で小さくし、当該周波数が当該
三角波電圧の周波数の２倍のとき当該バイアス電
圧のそのときの値を維持するようＹ軸走査電源を
制御する第２のバイアス制御手段とを備えること
を特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4019188U JPH01143063U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4019188U JPH01143063U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143063U true JPH01143063U (ja) | 1989-09-29 |
Family
ID=31266666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4019188U Pending JPH01143063U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143063U (ja) |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP4019188U patent/JPH01143063U/ja active Pending
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