JPH01143352U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01143352U JPH01143352U JP3838888U JP3838888U JPH01143352U JP H01143352 U JPH01143352 U JP H01143352U JP 3838888 U JP3838888 U JP 3838888U JP 3838888 U JP3838888 U JP 3838888U JP H01143352 U JPH01143352 U JP H01143352U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- hole
- suction plate
- plate body
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案による一実施例の吸着板装置を
設けた真空ピンセツトの平面図、第２図は上記吸
着板装置の吸着板本体を裏面から見た平面図、第
３図は第２図の―線断面図、第４図は上記吸
着板本体にはり付けられる裏蓋の平面図、第５図
は上記吸着板本体に裏蓋を取り付ける様子を説明
するための斜視図、第６図は上記吸着板本体の裏
面凹部に裏蓋を嵌め込んだ状態を示す斜視図、第
７図は吸着面側から見た上記吸着板装置の斜視図
、第８図は他の実施例の吸着板装置の斜視図、第
９図は第８図の―線断面図、第１０図は従来
の吸着板を設けた真空ピンセツトの平面図、第１
１図は第１０図の―線断面図、第１２図
はウエハーバスケツトに収容された半導体ウエハ
ーを示す斜視図である。 〔符号の説明〕、１……真空ピンセツト本体、
２……チユーブ、３……弁本体、３ａ……押ボタ
ン、４……連通管、５，１８……吸着板、６，１
９……吸着面、７……吸引口、８，２１……吸着
板本体、９……裏面、１０……凹部、１１……貫
通孔、１２……吸引空気溝、１３……突出部、１
４……雌ねじ部、１５……吸引空気孔、１６，２
２……裏蓋、１７……吸引空気路、２３……テー
パー。
設けた真空ピンセツトの平面図、第２図は上記吸
着板装置の吸着板本体を裏面から見た平面図、第
３図は第２図の―線断面図、第４図は上記吸
着板本体にはり付けられる裏蓋の平面図、第５図
は上記吸着板本体に裏蓋を取り付ける様子を説明
するための斜視図、第６図は上記吸着板本体の裏
面凹部に裏蓋を嵌め込んだ状態を示す斜視図、第
７図は吸着面側から見た上記吸着板装置の斜視図
、第８図は他の実施例の吸着板装置の斜視図、第
９図は第８図の―線断面図、第１０図は従来
の吸着板を設けた真空ピンセツトの平面図、第１
１図は第１０図の―線断面図、第１２図
はウエハーバスケツトに収容された半導体ウエハ
ーを示す斜視図である。 〔符号の説明〕、１……真空ピンセツト本体、
２……チユーブ、３……弁本体、３ａ……押ボタ
ン、４……連通管、５，１８……吸着板、６，１
９……吸着面、７……吸引口、８，２１……吸着
板本体、９……裏面、１０……凹部、１１……貫
通孔、１２……吸引空気溝、１３……突出部、１
４……雌ねじ部、１５……吸引空気孔、１６，２
２……裏蓋、１７……吸引空気路、２３……テー
パー。
Claims (1)
- 真空ピンセツト本体に連通路を介して連結され
る吸着板本体に表裏面を貫通する貫通孔を穿設し
、この吸着板本体の裏面に上記貫通孔と連通する
吸引空気溝を凹設し、この吸引空気溝と上記連通
路とを連通する吸引空気孔を上記吸着板本体に穿
設し、上記吸着板本体の裏面には裏蓋をはり付け
て前記吸引空気溝の開口部と前記貫通孔の一方開
口部を閉塞して空気流路を形成せしめ、当該空気
流路を介して前記貫通孔の他方開口部によつて形
成された吸引口と前記連通孔とを連通させたこと
を特徴とする真空ピンセツトの吸着板装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3838888U JPH01143352U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3838888U JPH01143352U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143352U true JPH01143352U (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=31264941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3838888U Pending JPH01143352U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143352U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152069A (ja) * | 1982-10-25 | 1984-08-30 | セイコーエプソン株式会社 | 真空ピンセツトの構造 |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP3838888U patent/JPH01143352U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152069A (ja) * | 1982-10-25 | 1984-08-30 | セイコーエプソン株式会社 | 真空ピンセツトの構造 |