JPS6340664U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6340664U JPS6340664U JP13296886U JP13296886U JPS6340664U JP S6340664 U JPS6340664 U JP S6340664U JP 13296886 U JP13296886 U JP 13296886U JP 13296886 U JP13296886 U JP 13296886U JP S6340664 U JPS6340664 U JP S6340664U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bypass
- valve
- main valve
- box
- advancing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
図面は本考案の実施態様を例示し、第１図は真
空装置用バルブの主弁体およびバイパス弁体まわ
りを示す中央縦断面図、第２図は第１図の―
線における断面図である。 １……バルブ、２……吸引管路、３……弁箱、
３ａ……流入側開口部、３ｂ……流出側開口部、
４……主弁座、５……主弁体、６……蓋板、７…
…進退手段、２１……流入側バイパス孔、２２…
…流出側バイパス孔、２３……バイパス通路、２
４……箱体、２５……バイパス弁体、２６……バ
イパス用進退手段。
空装置用バルブの主弁体およびバイパス弁体まわ
りを示す中央縦断面図、第２図は第１図の―
線における断面図である。 １……バルブ、２……吸引管路、３……弁箱、
３ａ……流入側開口部、３ｂ……流出側開口部、
４……主弁座、５……主弁体、６……蓋板、７…
…進退手段、２１……流入側バイパス孔、２２…
…流出側バイパス孔、２３……バイパス通路、２
４……箱体、２５……バイパス弁体、２６……バ
イパス用進退手段。
Claims (1)
- ワークを収容する真空槽と、該真空槽の内部を
負圧状態に保つための真空ポンプとを接続する吸
引管路の中間部に介在せしめるものであつて、弁
箱の流入側開口部から流出側開口部に至る流路の
中間部に主弁座が設けられ、該主弁座を開閉する
主弁体には、前記弁箱の蓋板に固設した進退手段
が連結され、前記主弁座の流入側および流出側に
おける弁箱の側部に、それぞれ流入側バイパス孔
および流出側バイパス孔が穿設され、該両バイパ
ス孔の外側にバイパス通路を形成する箱体が設け
られ、前記各バイパス孔のいずれか一方を開閉す
るバイパス弁体には、前記箱体に固設したバイパ
ス用進退手段が連結されてなることを特徴とする
真空装置用バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13296886U JPH0235102Y2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13296886U JPH0235102Y2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340664U true JPS6340664U (ja) | 1988-03-16 |
| JPH0235102Y2 JPH0235102Y2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=31032848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13296886U Expired JPH0235102Y2 (ja) | 1986-08-30 | 1986-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0235102Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004044969A1 (ja) * | 2001-05-14 | 2004-05-27 | Tokyo Electron Limited | 弁装置および熱処理装置 |
-
1986
- 1986-08-30 JP JP13296886U patent/JPH0235102Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004044969A1 (ja) * | 2001-05-14 | 2004-05-27 | Tokyo Electron Limited | 弁装置および熱処理装置 |
| CN100397577C (zh) * | 2001-05-14 | 2008-06-25 | 东京毅力科创株式会社 | 阀装置和热处理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0235102Y2 (ja) | 1990-09-21 |