JPH011481A - 圧電アクチュエ−タ− - Google Patents
圧電アクチュエ−タ−Info
- Publication number
- JPH011481A JPH011481A JP62-155353A JP15535387A JPH011481A JP H011481 A JPH011481 A JP H011481A JP 15535387 A JP15535387 A JP 15535387A JP H011481 A JPH011481 A JP H011481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vibrator
- piezoelectric element
- claw
- claw portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、電気エネルギーを応力や変位などの機械エ
ネルギーに換える圧電素子を使用したアクチュエーター
に関し、ロボットをはじめとするメカトロニクス関連装
置、カメラなどの光学機器等の回転駆動力源として有効
に利用することができる。
ネルギーに換える圧電素子を使用したアクチュエーター
に関し、ロボットをはじめとするメカトロニクス関連装
置、カメラなどの光学機器等の回転駆動力源として有効
に利用することができる。
r従来の技術」
圧電素子を利用した回転駆動装置は従来から知られてい
る。
る。
この種の装置は圧電素子の伸縮にしたがって振動する振
動子の一他部に爪部を形成し、この爪部をドラム形のロ
ーター表面に当接してローターの接線方向に変位させる
構成のものが多い。
動子の一他部に爪部を形成し、この爪部をドラム形のロ
ーター表面に当接してローターの接線方向に変位させる
構成のものが多い。
この装置は爪部が振動を繰り返すことでローターが回転
し、他の装置に回転駆動力を伝達する。
し、他の装置に回転駆動力を伝達する。
なお、圧電素子は一般に積層形圧電素子が用いられてい
る。
る。
「発明が解決しようとする問題点」
上記したような回転駆動装置は振動子の振動、つまり、
爪部が非常に少ない変位量で振動するため次のような問
題がある。
爪部が非常に少ない変位量で振動するため次のような問
題がある。
(1) 振動子は一方端に爪部があるから、その他端部
を固定した片持ち支持となる。そのため。
を固定した片持ち支持となる。そのため。
支持部に機械的ガタや弛みなど多少なりとも生ずると、
振動子の振動がこの支持部に吸収され爪部に伝達されな
くなる。
振動子の振動がこの支持部に吸収され爪部に伝達されな
くなる。
(2) ローターはその表面状態や真円度を高精度に保
たないかぎり回転効率が低下するため、これには精密加
工が8粟となる。
たないかぎり回転効率が低下するため、これには精密加
工が8粟となる。
(3) 振動子の爪部はローターに対して適度な当接力
で接触させるので、振動子やローターなどの配置に精密
さが要求される。
で接触させるので、振動子やローターなどの配置に精密
さが要求される。
実際には、全くガタなく振動子を取り付けることば回想
であるし、また、上記(2)、(3)などの問題がある
ために、実用上効果的に回転駆動力を伝達できるこの種
の装置は極めて少ない。
であるし、また、上記(2)、(3)などの問題がある
ために、実用上効果的に回転駆動力を伝達できるこの種
の装置は極めて少ない。
「問題点を解決するための手段」
本発明は−L記した問題点に鑑み開発したもので、対向
腕を有するほぼC字形或いはコ字形などの振動子の腕間
に圧電素子を備えると共に、上記振動子の一方腕に第1
の爪部を、他方腕に第2の爪部を各々設け、さらに、互
いに連動させたドラム形の2つのローターを設けると共
に、上記第1の爪部を一方のローターの表面に、上記第
2の爪部を他方のローターの表面に各々対接させるよう
に上記振動子に押圧勢力を加えて構成し回転駆動力を得
ることを特徴とする圧電アクチュエーターを提案する。
腕を有するほぼC字形或いはコ字形などの振動子の腕間
に圧電素子を備えると共に、上記振動子の一方腕に第1
の爪部を、他方腕に第2の爪部を各々設け、さらに、互
いに連動させたドラム形の2つのローターを設けると共
に、上記第1の爪部を一方のローターの表面に、上記第
2の爪部を他方のローターの表面に各々対接させるよう
に上記振動子に押圧勢力を加えて構成し回転駆動力を得
ることを特徴とする圧電アクチュエーターを提案する。
「作 用」
本発明の圧電アクチュエーターは振動子の2つの腕が圧
電素子の伸縮によって振動し、これら各腕の爪部が僅か
な変位量で振動を繰り返す。これより、一方のローター
が第1の爪部により、他方のローターが第2の爪部によ
って共に回動される。
電素子の伸縮によって振動し、これら各腕の爪部が僅か
な変位量で振動を繰り返す。これより、一方のローター
が第1の爪部により、他方のローターが第2の爪部によ
って共に回動される。
また、2つのローターは連動させであるので、これら2
つのローターの互助作用による回転力が一方または両方
のローターより回転駆動力として出力される。
つのローターの互助作用による回転力が一方または両方
のローターより回転駆動力として出力される。
[実施例」
次に、本発明の実施例について図面に沿って説明する。
第1図は本発明の原理を示す圧電アクチュエーターの概
略図であり、11はステンレス資材で形成したC字形の
振動子で、この一方腕11aと他方腕1,1bとの間に
積層形圧電素子12がこれら各腕に接合するようにして
配置しである。この圧電素子12は積層縦効果素子であ
って、その伸縮作用により一方腕11aと他方腕11b
とを図示実線と仮線のように振動させる。
略図であり、11はステンレス資材で形成したC字形の
振動子で、この一方腕11aと他方腕1,1bとの間に
積層形圧電素子12がこれら各腕に接合するようにして
配置しである。この圧電素子12は積層縦効果素子であ
って、その伸縮作用により一方腕11aと他方腕11b
とを図示実線と仮線のように振動させる。
また、この振動T−11の各腕の先端部は図示する如く
圧電素子12の伸長方向に向かって鋭角としたV字形の
第1の爪部11cと第2の爪部Ltdとが形成してあり
、各腕の振動によってこれら第1、第2の爪部lie、
Ltdを図示矢印13a、13bのように変位させる構
成としである。
圧電素子12の伸長方向に向かって鋭角としたV字形の
第1の爪部11cと第2の爪部Ltdとが形成してあり
、各腕の振動によってこれら第1、第2の爪部lie、
Ltdを図示矢印13a、13bのように変位させる構
成としである。
14.15は支軸16.17を支点として回転自在に設
けたドラム形のローターで、これらは燐青銅材で形成し
てあり、また、ローター14には歯車18を、ローター
15には歯車19を一体的に固着し、これら歯車18,
1’0を噛合させるようにして各ローター14.15と
を互いに連動させである。
けたドラム形のローターで、これらは燐青銅材で形成し
てあり、また、ローター14には歯車18を、ローター
15には歯車19を一体的に固着し、これら歯車18,
1’0を噛合させるようにして各ローター14.15と
を互いに連動させである。
上記したローター14にはその周面に第1の爪部11c
を、ローター15にはその周面に第2の爪部lidを各
々適度の押圧力で当接させるように撮動子11には図示
矢印2o方向に押圧勢力を与えである。
を、ローター15にはその周面に第2の爪部lidを各
々適度の押圧力で当接させるように撮動子11には図示
矢印2o方向に押圧勢力を与えである。
上記した圧電アクチュエーターにおいて、圧電素子12
に給電すると、この圧電素子がΔdだけ伸長(歪み)し
、各腕11a、llbがΔd/2だけ開くように押動さ
れる。したがって、第1の爪部11cと第2の爪部li
dが点線矢印13a、13b方向に変位するため、第1
の爪部11cがローター14を押し回しなからa、〜a
2位置に移り]同様に第2の爪部lidがローター15
を押し回しながらb1〜b2位置に移る。
に給電すると、この圧電素子がΔdだけ伸長(歪み)し
、各腕11a、llbがΔd/2だけ開くように押動さ
れる。したがって、第1の爪部11cと第2の爪部li
dが点線矢印13a、13b方向に変位するため、第1
の爪部11cがローター14を押し回しなからa、〜a
2位置に移り]同様に第2の爪部lidがローター15
を押し回しながらb1〜b2位置に移る。
圧電素子12に対する#i電を遮断すると、圧電素子1
2の短縮作用によって各腕11a、llbが実線位置に
戻るので、第1の爪部11c及び第2の爪部lidが実
線矢印13a、13b方向に変位する。
2の短縮作用によって各腕11a、llbが実線位置に
戻るので、第1の爪部11c及び第2の爪部lidが実
線矢印13a、13b方向に変位する。
このとき第1の爪部11cと第2の爪部Lidが各ロー
ター14.15の周面に対して爪を立てない状態(楔か
ら抜ける方向)となる関係で、ローター周面を滑りなが
ら変位し、各ローター14.15が静止したままとなる
。
ター14.15の周面に対して爪を立てない状態(楔か
ら抜ける方向)となる関係で、ローター周面を滑りなが
ら変位し、各ローター14.15が静止したままとなる
。
再び圧電素子12に給電すると、各ローター14゜15
が上記同様に回動される・ このように圧電素子12の給電と遮断とを繰り返すこと
によって、ローター14が反時計方向に、ローター15
が時計方向に間欠的に回転する。
が上記同様に回動される・ このように圧電素子12の給電と遮断とを繰り返すこと
によって、ローター14が反時計方向に、ローター15
が時計方向に間欠的に回転する。
2つのローター14.15は歯車18.19によって連
結されるので、これらローターに互助作用が働き、さら
に、ばね等によって矢印20の方向に押圧されているの
で、振動子の固定構造やローターの偏心等にかかわらず
、圧電素T−[2の微小変化が有効に回転駆動力に変換
される。
結されるので、これらローターに互助作用が働き、さら
に、ばね等によって矢印20の方向に押圧されているの
で、振動子の固定構造やローターの偏心等にかかわらず
、圧電素T−[2の微小変化が有効に回転駆動力に変換
される。
第2図は上記の原理を応用して1相11動方式として実
施した圧電アクチュエーターの一例を示す。
施した圧電アクチュエーターの一例を示す。
この実施例では、基板21に設けた固定ピン22a、2
2bを振動子11の各腕11a、11b外面に余裕をも
って接するように、同様の固定ピン22cを各腕11a
、llbの先端部間に配設して振動子11の横方向(第
2図−ヒ)の動きを案内するようにしてあり、また、振
動子11の背面には基板21に螺合した調整ねじ23に
よって弾発調整できる板ばね24を設けて振動子11を
押圧し、第1の爪部11cと第2の爪部lidとを最良
の状態で各ローター14.15の周面に圧接させる構成
としである。
2bを振動子11の各腕11a、11b外面に余裕をも
って接するように、同様の固定ピン22cを各腕11a
、llbの先端部間に配設して振動子11の横方向(第
2図−ヒ)の動きを案内するようにしてあり、また、振
動子11の背面には基板21に螺合した調整ねじ23に
よって弾発調整できる板ばね24を設けて振動子11を
押圧し、第1の爪部11cと第2の爪部lidとを最良
の状態で各ローター14.15の周面に圧接させる構成
としである。
この実施例ではローター14.15の回動駆動力が歯車
19に噛合させた今一つの歯車25より取り出される。
19に噛合させた今一つの歯車25より取り出される。
なお、その他の構成は第1図と同様である。
本発明を実施するに際しては1相駆動方式にかぎらず、
第1図に示した発明の原理にもとづき複数相駆動方式と
して実施することができる。
第1図に示した発明の原理にもとづき複数相駆動方式と
して実施することができる。
第3図は2相邪動方式として実施した一例を示す。
この実施例では、支軸26に回転自在に軸支させた第3
0−ター27を第2図実施例の@巾25に換えて付加構
成すると共に、このローター27に一体的に備えた歯車
28を上記第20−ター15の歯車19に噛合させであ
る。
0−ター27を第2図実施例の@巾25に換えて付加構
成すると共に、このローター27に一体的に備えた歯車
28を上記第20−ター15の歯車19に噛合させであ
る。
そして、これら第20−ター15と第30−ター27に
は新らたに設けた振動子29の第1の爪部29cと第2
の爪部29dとを当接する構成としである。なお、振動
子29及び圧電素子30の構成は上記した振動子11.
圧電素子12に比べて変りなく、その他、31a〜31
cは振動子29の移動を案内する固定ピン、32は調整
ねじ、33は板ばねを示し、これらは振動子29に対し
て押圧勢力を加えるものである。
は新らたに設けた振動子29の第1の爪部29cと第2
の爪部29dとを当接する構成としである。なお、振動
子29及び圧電素子30の構成は上記した振動子11.
圧電素子12に比べて変りなく、その他、31a〜31
cは振動子29の移動を案内する固定ピン、32は調整
ねじ、33は板ばねを示し、これらは振動子29に対し
て押圧勢力を加えるものである。
上記実施例において、圧電素子12を給電する給電圧V
lと圧電素子30を給電する給電圧v2とに180°の
位相差を与える。
lと圧電素子30を給電する給電圧v2とに180°の
位相差を与える。
例えば+vt=I”: s i n x+V2=E s
i n (x+7 π)とする。
i n (x+7 π)とする。
このようにすると、振動子11の各爪部lie、lid
が開き変位して各ローター14.15を押し回すように
進むとき、他の振動子29の各爪部29c、29dが各
ローター15.27の周面を滑りながら戻る。この逆に
各爪部29C,29dが各ローター15.27を押し回
すように進むとき他の爪部11 c、、lldが戻る。
が開き変位して各ローター14.15を押し回すように
進むとき、他の振動子29の各爪部29c、29dが各
ローター15.27の周面を滑りながら戻る。この逆に
各爪部29C,29dが各ローター15.27を押し回
すように進むとき他の爪部11 c、、lldが戻る。
この動作によって、爪部11c、lidまたは爪部29
c、29dが戻る時に生ずることがある日−ターの微小
な逆回動を抑制すると共に、各ローターを連続して回転
駆動する。このため1回転効率がさらに向上する。
c、29dが戻る時に生ずることがある日−ターの微小
な逆回動を抑制すると共に、各ローターを連続して回転
駆動する。このため1回転効率がさらに向上する。
第4図は3相關動方式として実施した一例を示す。
この実施例は各部材をケーシング34内に組み込んで一
個のモーターとして構成しである。
個のモーターとして構成しである。
モーター軸35に固定して軸支した中心ローター36に
は、三方に配置した第1〜第3振動子37.38.39
の第1の爪部が当接してあり、また。
は、三方に配置した第1〜第3振動子37.38.39
の第1の爪部が当接してあり、また。
中心ローター36に一体的に設けた歯車40には三方に
配置した歯車41,42.43が噛合しである。歯車4
1.42.43の各々は第1〜第3振動子37.38.
39の第2の爪部を当接した第1〜第30−ター44.
45.46の各々に一体的に設けられている。なお、4
7a〜47cは振動T−37〜39の各々に押圧勢力を
与える板ばね、48a〜48cは振動子37〜39各々
の移動を案内する固定ピン、49〜51は振動子37〜
39の各々に備えた圧電素子、52〜54は第1〜第3
0−ター44〜46の支軸である。
配置した歯車41,42.43が噛合しである。歯車4
1.42.43の各々は第1〜第3振動子37.38.
39の第2の爪部を当接した第1〜第30−ター44.
45.46の各々に一体的に設けられている。なお、4
7a〜47cは振動T−37〜39の各々に押圧勢力を
与える板ばね、48a〜48cは振動子37〜39各々
の移動を案内する固定ピン、49〜51は振動子37〜
39の各々に備えた圧電素子、52〜54は第1〜第3
0−ター44〜46の支軸である。
このモーターでは、圧電素子49の給電々圧Vい圧電索
子50の給電々圧v2、圧電素子51の給電々圧vJに
120″の位相差を与える。例えば。
子50の給電々圧v2、圧電素子51の給電々圧vJに
120″の位相差を与える。例えば。
V□=E s i n (x−2/37C) 、 V2
=Es i nx、 V、=E s i n (x+2
/ 3 π)とする。
=Es i nx、 V、=E s i n (x+2
/ 3 π)とする。
このようにして、第[〜第3@動子37〜39の各爪部
を順次進み動作させることによって中心ローター36が
連続回転する。
を順次進み動作させることによって中心ローター36が
連続回転する。
また、中心ローター36は第1〜第3振動子37〜39
の第1の爪部によって駆動されるロガ、第1〜第3振動
子37〜39の第2の爪部によって駆動される第1〜第
30−ター44〜46及びこれらに設けた歯車41〜4
3を介して駆動されるので強力な回転力となり、これが
モーター軸35から出力される。
の第1の爪部によって駆動されるロガ、第1〜第3振動
子37〜39の第2の爪部によって駆動される第1〜第
30−ター44〜46及びこれらに設けた歯車41〜4
3を介して駆動されるので強力な回転力となり、これが
モーター軸35から出力される。
以上、本発明の実施例に付いて説明したが、振動子の形
状や構成資材、ローターの数や構成資材などについては
必要に応じて変更することができる。
状や構成資材、ローターの数や構成資材などについては
必要に応じて変更することができる。
「発明の効果」
上記した通り、本発明に係る圧電アクチュエーターは、
互いに連動された2つのローターの一方に当接させた第
1の爪部と、その他方に当接させた第2の爪部とを有す
る振動子を圧電素子の伸縮作用によって振動させると共
に、各爪部がローターに適当な押圧力で当接するように
振動子に押圧勢力を与える構成としたことから、振動子
の取り付けやその配置などの問題が極めて少なく、振動
子の微小振動が各爪部を介して各ローターに確実に伝達
され、また、2つのローターには互助作用が働くので、
各ローターの真円度の若干の誤差などに関係なく効率よ
く回転駆動力を出力する。
互いに連動された2つのローターの一方に当接させた第
1の爪部と、その他方に当接させた第2の爪部とを有す
る振動子を圧電素子の伸縮作用によって振動させると共
に、各爪部がローターに適当な押圧力で当接するように
振動子に押圧勢力を与える構成としたことから、振動子
の取り付けやその配置などの問題が極めて少なく、振動
子の微小振動が各爪部を介して各ローターに確実に伝達
され、また、2つのローターには互助作用が働くので、
各ローターの真円度の若干の誤差などに関係なく効率よ
く回転駆動力を出力する。
第1図は本発明の原理を示す圧電アクチュエーターの概
略図、第2図は本発明を1相駆動力式として実施した一
例を示す圧電アクチュエーターの正面図、第3図は本発
明を2相邸動方式として実施した一例を示す圧電アクチ
ュエーターの正面図、第4図は本発明を3相駆動力式の
モーターとして実施した一例を示す当該モーターの部分
的な断面図である。 11・・・・振動子 11c・・・・第1の爪部
Ltd・・・・第2の爪部 12°°・・圧電素子14
.15・・・・ローター 18.19・・・・歯車 23・・・・調整ねじ24
・・・・板ばね 27・・・・第30−ター28
・・・・歯車 29・・・・振動子30・・・
・圧電素子 36・・・・中心ローター37〜39
・・・・振動子 40・・・・歯車 44〜46・・・・ローター 49〜51・・・・圧電素子 特許出願人 京セラ株式会社 第2図
略図、第2図は本発明を1相駆動力式として実施した一
例を示す圧電アクチュエーターの正面図、第3図は本発
明を2相邸動方式として実施した一例を示す圧電アクチ
ュエーターの正面図、第4図は本発明を3相駆動力式の
モーターとして実施した一例を示す当該モーターの部分
的な断面図である。 11・・・・振動子 11c・・・・第1の爪部
Ltd・・・・第2の爪部 12°°・・圧電素子14
.15・・・・ローター 18.19・・・・歯車 23・・・・調整ねじ24
・・・・板ばね 27・・・・第30−ター28
・・・・歯車 29・・・・振動子30・・・
・圧電素子 36・・・・中心ローター37〜39
・・・・振動子 40・・・・歯車 44〜46・・・・ローター 49〜51・・・・圧電素子 特許出願人 京セラ株式会社 第2図
Claims (1)
- 対向腕を有するほぼC字形或いはコ字形などの振動子
の腕間に圧電素子を備えると共に、上記振動子の一方腕
に第1の爪部を、他方腕に第2の爪部を各々設け、さら
に、互いに連動させたドラム形の2つのローターを設け
ると共に、上記第1の爪部を一方のローターの表面に、
上記第2の爪部を他方のローターの表面に各々対接させ
るように上記振動子に押圧勢力を加えて構成し回転駆動
力を得ることを特徴とする圧電アクチュエーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62155353A JP2519936B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 圧電アクチュエ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62155353A JP2519936B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 圧電アクチュエ−タ− |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS641481A JPS641481A (en) | 1989-01-05 |
| JPH011481A true JPH011481A (ja) | 1989-01-05 |
| JP2519936B2 JP2519936B2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=15604045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62155353A Expired - Fee Related JP2519936B2 (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 | 圧電アクチュエ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2519936B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19757139A1 (de) | 1997-12-20 | 1999-06-24 | Philips Patentverwaltung | Antriebsvorrichtung für wenigstens zwei Rotationselemente mit wenigstens einem piezoelektrischen Antriebselement |
| JP4613006B2 (ja) † | 2001-06-06 | 2011-01-12 | ミニスイス・ソシエテ・アノニム | 圧電駆動装置 |
| US7224099B2 (en) | 2004-04-20 | 2007-05-29 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Molded piezoelectric apparatus |
-
1987
- 1987-06-24 JP JP62155353A patent/JP2519936B2/ja not_active Expired - Fee Related
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