JPH1132491A - 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 - Google Patents
超音波モータ及び超音波モータ付電子機器Info
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- JPH1132491A JPH1132491A JP10101570A JP10157098A JPH1132491A JP H1132491 A JPH1132491 A JP H1132491A JP 10101570 A JP10101570 A JP 10101570A JP 10157098 A JP10157098 A JP 10157098A JP H1132491 A JPH1132491 A JP H1132491A
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- H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
- H10N30/2023—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement having polygonal or rectangular shape
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
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- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 積層された圧電振動子の振動方向のバラツ
キ、振動ロスを防止し、積層構造の小型化、簡略化を図
ると共に、合成振動の高出力化を図る。 【解決手段】 電圧の印加により屈曲振動する圧電屈曲
振動部材と、前記圧電屈曲振動部材に一体的に積層さ
れ、電圧の印加により伸縮振動する圧電伸縮振動部材と
を備え、前記圧電屈曲振動部材の屈曲振動と前記圧電伸
縮振動部材の伸縮振動との合成振動により可動体を可動
させる。また、前記圧電屈曲振動部材の積層面と対向す
る面のうち、前記圧電屈曲振動部材の分極処理する部分
に設けられた第一の電極と、前記圧電伸縮振動部材の積
層面と対向する面のうち、前記圧電伸縮振動部材の分極
処理する部分に設けられた第二の電極と、前記圧電屈曲
振動部材と前記圧電伸縮振動部材との積層面に設けら
れ、前記第一の電極と前記第二の電極との基準となる基
準電極と、を備える。
キ、振動ロスを防止し、積層構造の小型化、簡略化を図
ると共に、合成振動の高出力化を図る。 【解決手段】 電圧の印加により屈曲振動する圧電屈曲
振動部材と、前記圧電屈曲振動部材に一体的に積層さ
れ、電圧の印加により伸縮振動する圧電伸縮振動部材と
を備え、前記圧電屈曲振動部材の屈曲振動と前記圧電伸
縮振動部材の伸縮振動との合成振動により可動体を可動
させる。また、前記圧電屈曲振動部材の積層面と対向す
る面のうち、前記圧電屈曲振動部材の分極処理する部分
に設けられた第一の電極と、前記圧電伸縮振動部材の積
層面と対向する面のうち、前記圧電伸縮振動部材の分極
処理する部分に設けられた第二の電極と、前記圧電屈曲
振動部材と前記圧電伸縮振動部材との積層面に設けら
れ、前記第一の電極と前記第二の電極との基準となる基
準電極と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動部材を積
層させた超音波モータに係わり、特に、圧電振動部材の
積層に保持手段を用いないタイプの超音波モータの改良
に関する。
層させた超音波モータに係わり、特に、圧電振動部材の
積層に保持手段を用いないタイプの超音波モータの改良
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、マイクロモータの分野では、電圧
の印加により振動する圧電振動子を利用して移動体を移
動させる超音波モータが注目されている。特に、矩形状
の圧電振動子の伸縮振動と屈曲振動（２重モード振動
子）を用いた超音波モータは、この合成振動により移動
体を直線運動、回転運動等させることから、各種用途に
用いられており、また、高出力を必要とする用途には、
圧電振動子を積層したタイプも用いられている（特開平
７−１８４３８２号公報参照）。
の印加により振動する圧電振動子を利用して移動体を移
動させる超音波モータが注目されている。特に、矩形状
の圧電振動子の伸縮振動と屈曲振動（２重モード振動
子）を用いた超音波モータは、この合成振動により移動
体を直線運動、回転運動等させることから、各種用途に
用いられており、また、高出力を必要とする用途には、
圧電振動子を積層したタイプも用いられている（特開平
７−１８４３８２号公報参照）。
【０００３】図１０は、矩形状の圧電振動子を積層させ
たタイプの超音波モータを示すものである。即ち、本超
音波モータの基本振動子は、２重モード振動するため所
定の分極処理した圧電振動子６１、６２と、圧電振動子
６１、６２の先端に設けられた出力取り出し部材７１、
７２と、圧電振動子６１、６２の両面に設けられた電極
からなり、圧電振動子６１、６２を縦方向に３段、横方
向に２列並べ、これら６個の圧電振動子を結合手段６７
ａ、６７ｂ、で保持したものである。
たタイプの超音波モータを示すものである。即ち、本超
音波モータの基本振動子は、２重モード振動するため所
定の分極処理した圧電振動子６１、６２と、圧電振動子
６１、６２の先端に設けられた出力取り出し部材７１、
７２と、圧電振動子６１、６２の両面に設けられた電極
からなり、圧電振動子６１、６２を縦方向に３段、横方
向に２列並べ、これら６個の圧電振動子を結合手段６７
ａ、６７ｂ、で保持したものである。
【０００４】図１１は、上記超音波モータの基本構造に
係わるブロック図を示す。これによれば、圧電振動子６
１、６２は、夫々の電極８１、８２から電圧を印加され
て２重モード振動し、この合成振動を各出力取り出し部
材７１、７２に伝達し、出力取り出し部材７１、７２に
当接されている移動体２１を移動させる。
係わるブロック図を示す。これによれば、圧電振動子６
１、６２は、夫々の電極８１、８２から電圧を印加され
て２重モード振動し、この合成振動を各出力取り出し部
材７１、７２に伝達し、出力取り出し部材７１、７２に
当接されている移動体２１を移動させる。
【０００５】そして、複数の出力取り出し部材７１、７
２により出力を取り出すので、高出力が得られる。
２により出力を取り出すので、高出力が得られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記超
音波モータによれば、各圧電振動子６１、６２の一部を
上記結合手段６７で固定しているにすぎないため、各圧
電振動子６１、６２間に振動方向のバラツキが生じ、ま
た、各圧電振動子６１、６２の固定部分では振動運動は
抑制されるため、振動運動のロスとなり、有効に出力を
取り出せないという技術的課題が存在する。
音波モータによれば、各圧電振動子６１、６２の一部を
上記結合手段６７で固定しているにすぎないため、各圧
電振動子６１、６２間に振動方向のバラツキが生じ、ま
た、各圧電振動子６１、６２の固定部分では振動運動は
抑制されるため、振動運動のロスとなり、有効に出力を
取り出せないという技術的課題が存在する。
【０００７】また、各圧電振動子６１、６２の固定に別
部材としての上記結合手段６７を用いると、モータ全体
構成の大型化、複雑化につながり好ましくなく、また、
製造工程は、結合手段６７を取付ける工程を加えるた
め、複雑になる。一方、２重モード振動する各圧電振動
子６１、６２は、屈曲振動によってモータの移動方向を
切り換えるために、所定の分極処理された部位に電圧を
印加するため、強制的に励振される屈曲振動に比較し
て、付勢的に励振される伸縮振動を大きくすることがで
きないという技術的課題を有する。
部材としての上記結合手段６７を用いると、モータ全体
構成の大型化、複雑化につながり好ましくなく、また、
製造工程は、結合手段６７を取付ける工程を加えるた
め、複雑になる。一方、２重モード振動する各圧電振動
子６１、６２は、屈曲振動によってモータの移動方向を
切り換えるために、所定の分極処理された部位に電圧を
印加するため、強制的に励振される屈曲振動に比較し
て、付勢的に励振される伸縮振動を大きくすることがで
きないという技術的課題を有する。
【０００８】そこで、本発明は以上の技術的課題を解決
するためなされたものであって、積層された圧電振動子
の振動方向のバラツキ、振動ロスを防止し、積層構造の
小型化、簡略化を図ると共に、合成振動の高出力化を図
る超音波モータ及び超音波モータ付電子機器の提供を目
的とする。
するためなされたものであって、積層された圧電振動子
の振動方向のバラツキ、振動ロスを防止し、積層構造の
小型化、簡略化を図ると共に、合成振動の高出力化を図
る超音波モータ及び超音波モータ付電子機器の提供を目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】即ち、請求項１記載の発
明は、電圧の印加により屈曲振動する圧電屈曲振動部材
と、前記圧電屈曲振動部材に一体的に積層され、電圧の
印加により伸縮振動する圧電伸縮振動部材とを備え、前
記圧電屈曲振動部材の屈曲振動と前記圧電伸縮振動部材
の伸縮振動との合成振動により可動体を可動させること
を特徴とする。
明は、電圧の印加により屈曲振動する圧電屈曲振動部材
と、前記圧電屈曲振動部材に一体的に積層され、電圧の
印加により伸縮振動する圧電伸縮振動部材とを備え、前
記圧電屈曲振動部材の屈曲振動と前記圧電伸縮振動部材
の伸縮振動との合成振動により可動体を可動させること
を特徴とする。
【００１０】以上の発明の作用としては、圧電屈曲振動
部材及び圧電伸縮振動部材を固定手段を用いることなく
保持することにより、振動運動を制限されることもな
く、また、振動方向は一定に保たれるようにしたので、
各圧電振動部材の振動運動のロス、及び振動方向のバラ
ツキを防止する。また、圧電伸縮振動部材を設けること
によって、強制的に伸縮運動を励振できるようにしたの
で、伸縮振動を大きくすることができ、この伸縮振動と
屈曲振動との合成振動は、２重モード振動する各圧電振
動部材を積層させたものと比較して、高出力を得られ
る。
部材及び圧電伸縮振動部材を固定手段を用いることなく
保持することにより、振動運動を制限されることもな
く、また、振動方向は一定に保たれるようにしたので、
各圧電振動部材の振動運動のロス、及び振動方向のバラ
ツキを防止する。また、圧電伸縮振動部材を設けること
によって、強制的に伸縮運動を励振できるようにしたの
で、伸縮振動を大きくすることができ、この伸縮振動と
屈曲振動との合成振動は、２重モード振動する各圧電振
動部材を積層させたものと比較して、高出力を得られ
る。
【００１１】また、請求項２記載の発明は、基準を共用
とし、電極数を減らし、装置構成を簡略化する観点か
ら、請求項１記載の超音波モータにおいて、前記圧電屈
曲振動部材の積層面と対向する面のうち、前記圧電屈曲
振動部材の分極処理する部分に設けられた第一の電極
と、前記圧電伸縮振動部材の積層面と対向する面のう
ち、前記圧電伸縮振動部材の分極処理する部分に設けら
れた第二の電極と、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸
縮振動部材との積層面に設けられ、前記第一の電極と前
記第二の電極との基準となる基準電極とを備えたことを
特徴とする。
とし、電極数を減らし、装置構成を簡略化する観点か
ら、請求項１記載の超音波モータにおいて、前記圧電屈
曲振動部材の積層面と対向する面のうち、前記圧電屈曲
振動部材の分極処理する部分に設けられた第一の電極
と、前記圧電伸縮振動部材の積層面と対向する面のう
ち、前記圧電伸縮振動部材の分極処理する部分に設けら
れた第二の電極と、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸
縮振動部材との積層面に設けられ、前記第一の電極と前
記第二の電極との基準となる基準電極とを備えたことを
特徴とする。
【００１２】この発明の作用としては、第一の電極と基
準電極との間に印加する電圧により圧電屈曲振動部材を
屈曲振動させ、また、第二の電極と基準電極との間に印
加する電圧により圧電伸縮振動部材を伸縮振動させ、こ
の合成振動により可動体を可動させる。また、請求項３
記載の発明は、各電極の通電手段を簡素化し、装置構成
を簡略化する観点から、請求項１記載の超音波モータに
おいて、前記各電極に通電する電極面を有し、前記圧電
屈曲振動部材又は前記圧電伸縮振動部材にさらに一体的
に積層される電極配線部材を備えたことを特徴とする。
準電極との間に印加する電圧により圧電屈曲振動部材を
屈曲振動させ、また、第二の電極と基準電極との間に印
加する電圧により圧電伸縮振動部材を伸縮振動させ、こ
の合成振動により可動体を可動させる。また、請求項３
記載の発明は、各電極の通電手段を簡素化し、装置構成
を簡略化する観点から、請求項１記載の超音波モータに
おいて、前記各電極に通電する電極面を有し、前記圧電
屈曲振動部材又は前記圧電伸縮振動部材にさらに一体的
に積層される電極配線部材を備えたことを特徴とする。
【００１３】この発明の作用として、電極配線部材の電
極面のみに通電することで各電極に通電するようにした
ので、各電極に対して個別に配線する必要がなく、ま
た、圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を一度に分
極処理可能となる。請求項４記載の発明は、屈曲振動の
出力を向上させる観点から、請求項１記載の超音波モー
タにおいて、前記圧電屈曲振動部材にさらに一体的に積
層される前記圧電屈曲振動部材と、を備えたことを特徴
とする。
極面のみに通電することで各電極に通電するようにした
ので、各電極に対して個別に配線する必要がなく、ま
た、圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を一度に分
極処理可能となる。請求項４記載の発明は、屈曲振動の
出力を向上させる観点から、請求項１記載の超音波モー
タにおいて、前記圧電屈曲振動部材にさらに一体的に積
層される前記圧電屈曲振動部材と、を備えたことを特徴
とする。
【００１４】この発明の作用として、２つの圧電屈曲振
動部材による屈曲振動により、大きな合成振動で可動体
を可動させる。請求項５記載の発明は、伸縮振動の出力
を向上させる観点から、請求項１記載の超音波モータに
おいて、前記圧電伸縮振動部材にさらに一体的に積層さ
れる前記圧電伸縮振動部材と、を備えたことを特徴とす
る。
動部材による屈曲振動により、大きな合成振動で可動体
を可動させる。請求項５記載の発明は、伸縮振動の出力
を向上させる観点から、請求項１記載の超音波モータに
おいて、前記圧電伸縮振動部材にさらに一体的に積層さ
れる前記圧電伸縮振動部材と、を備えたことを特徴とす
る。
【００１５】この発明の作用として、２つの圧電伸縮振
動部材による伸縮振動により、大きな合成振動で可動体
を可動させる。請求項６記載の発明は、請求項４又は請
求項５記載の超音波モータにおいて、積層された前記圧
電屈曲振動部材若しくは前記圧電伸縮振動部材に、さら
に一体的に積層される一対の圧電屈曲振動部材若しくは
一対の圧電伸縮振動部材を備えたことを特徴とする。
動部材による伸縮振動により、大きな合成振動で可動体
を可動させる。請求項６記載の発明は、請求項４又は請
求項５記載の超音波モータにおいて、積層された前記圧
電屈曲振動部材若しくは前記圧電伸縮振動部材に、さら
に一体的に積層される一対の圧電屈曲振動部材若しくは
一対の圧電伸縮振動部材を備えたことを特徴とする。
【００１６】この発明の作用として、複数の圧電屈曲振
動部材による屈曲振動と、複数の圧電伸縮振動部材によ
る伸縮振動を合成させて、より大きな合成振動とし、高
出力で可動体を可動させる。請求項７記載の発明は、高
出力を得る観点から、請求項１記載の超音波モータにお
いて、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材と
の合成振動を伝達する振動伝達部材を備えたことを特徴
とする。
動部材による屈曲振動と、複数の圧電伸縮振動部材によ
る伸縮振動を合成させて、より大きな合成振動とし、高
出力で可動体を可動させる。請求項７記載の発明は、高
出力を得る観点から、請求項１記載の超音波モータにお
いて、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材と
の合成振動を伝達する振動伝達部材を備えたことを特徴
とする。
【００１７】この発明の作用として、振動伝達部材によ
り圧電屈曲振動部材と圧電伸縮振動部材との合成振動の
変位を拡大する。また、請求項８記載の発明は、可動体
の可動態様の１つとして、請求項１記載の超音波モータ
において、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部
材との合成振動により直線方向に移動自在な可動体を直
線運動させることを特徴とする。
り圧電屈曲振動部材と圧電伸縮振動部材との合成振動の
変位を拡大する。また、請求項８記載の発明は、可動体
の可動態様の１つとして、請求項１記載の超音波モータ
において、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部
材との合成振動により直線方向に移動自在な可動体を直
線運動させることを特徴とする。
【００１８】この発明の作用として、圧電屈曲振動部材
及び圧電伸縮振動部材の合成振動により、所定のタイミ
ングで可動体に圧接して摩擦力を付与し、可動体を直線
運動させる。また、請求項９記載の発明は、可動体の可
動態様の１つとして、請求項１記載の超音波モータにお
いて、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材と
の合成振動により回動自在な可動体を回転運動させるこ
とを特徴とする。
及び圧電伸縮振動部材の合成振動により、所定のタイミ
ングで可動体に圧接して摩擦力を付与し、可動体を直線
運動させる。また、請求項９記載の発明は、可動体の可
動態様の１つとして、請求項１記載の超音波モータにお
いて、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材と
の合成振動により回動自在な可動体を回転運動させるこ
とを特徴とする。
【００１９】この発明の作用として、圧電屈曲振動部材
及び圧電伸縮振動部材の合成振動により、所定のタイミ
ングで可動体に圧接して摩擦力を付与し、可動体を回転
運動させる。また、請求項１０記載の発明は、合成振動
の利用態様として、請求項１記載の超音波モータにおい
て、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との
合成振動により固定面上で可動することを特徴とする。
及び圧電伸縮振動部材の合成振動により、所定のタイミ
ングで可動体に圧接して摩擦力を付与し、可動体を回転
運動させる。また、請求項１０記載の発明は、合成振動
の利用態様として、請求項１記載の超音波モータにおい
て、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との
合成振動により固定面上で可動することを特徴とする。
【００２０】この発明の作用として、圧電屈曲振動部材
及び圧電伸縮振動部材の合成振動により、所定のタイミ
ングで固定面に圧接して、固定面から摩擦力を付与さ
れ、超音波モータ自身が可動する。また、請求項１１記
載の発明は、超音波モータの実用手段として、請求項１
又は請求項１０記載の超音波モータを備えた超音波モー
タ付電子機器であることを特徴とする。
及び圧電伸縮振動部材の合成振動により、所定のタイミ
ングで固定面に圧接して、固定面から摩擦力を付与さ
れ、超音波モータ自身が可動する。また、請求項１１記
載の発明は、超音波モータの実用手段として、請求項１
又は請求項１０記載の超音波モータを備えた超音波モー
タ付電子機器であることを特徴とする。
【００２１】この発明の作用として、超音波モータの合
成振動としての出力により、電子機器を駆動させる。
成振動としての出力により、電子機器を駆動させる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図１１を参照して本
発明を適用した実施の形態を詳細に説明する。 ｛実施の形態１｝図１は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態１を示すものである。
発明を適用した実施の形態を詳細に説明する。 ｛実施の形態１｝図１は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態１を示すものである。
【００２３】本実施の形態は、図１に示すように、振動
体１０と、振動体１０の縁部に設けられた本発明の振動
伝達部材としての出力取り出し部１７と、出力取り出し
部１７に当接される本発明の可動体としての移動体２０
と、移動体２０と出力取り出し部１７とを加圧する加圧
機構１８から構成されている。移動体２０は、回転軸受
け２１ａを有する回転部材２１と、回転部材２１に対向
して設けられた固定部材２３と、固定部材２３に設置さ
れ、回転部材２１の回転軸受け２１ａを貫通する回転軸
２２から構成されている。
体１０と、振動体１０の縁部に設けられた本発明の振動
伝達部材としての出力取り出し部１７と、出力取り出し
部１７に当接される本発明の可動体としての移動体２０
と、移動体２０と出力取り出し部１７とを加圧する加圧
機構１８から構成されている。移動体２０は、回転軸受
け２１ａを有する回転部材２１と、回転部材２１に対向
して設けられた固定部材２３と、固定部材２３に設置さ
れ、回転部材２１の回転軸受け２１ａを貫通する回転軸
２２から構成されている。
【００２４】出力取り出し部１７は、直方体形状であ
り、剛性を有する材料からなる。加圧機構１８は、振動
体１０に対向して設けられた固定部材１８ａと、振動体
１０を移動体２０に加圧する加圧部材１８ｂとからな
る。図２は、振動体部の各積層層の平面及び振動体部の
側面を示すものである。振動体部１０は、図２（ａ）〜
（ｄ）に示すように、電圧の印加により屈曲振動する本
発明の圧電屈曲振動部材としての圧電材１１と、圧電材
１１に一体的に積層され、伸縮振動する本発明の圧電伸
縮振動部材としての圧電材１２と、さらに圧電材１２に
一体的に積層される圧電材１３と、圧電材１３と圧電材
１２との間に設けられた電極パターン１６と、圧電材１
２と圧電材１１との間に設けられた電極パターン１５
と、圧電材１１の圧電材１２との積層面に対抗する面に
設けられた電極パターン１４と、圧電材１１の電極パタ
ーン１４面に一体的に積層される本発明の電極配線部材
としての電極配線部材３１から構成されている。
り、剛性を有する材料からなる。加圧機構１８は、振動
体１０に対向して設けられた固定部材１８ａと、振動体
１０を移動体２０に加圧する加圧部材１８ｂとからな
る。図２は、振動体部の各積層層の平面及び振動体部の
側面を示すものである。振動体部１０は、図２（ａ）〜
（ｄ）に示すように、電圧の印加により屈曲振動する本
発明の圧電屈曲振動部材としての圧電材１１と、圧電材
１１に一体的に積層され、伸縮振動する本発明の圧電伸
縮振動部材としての圧電材１２と、さらに圧電材１２に
一体的に積層される圧電材１３と、圧電材１３と圧電材
１２との間に設けられた電極パターン１６と、圧電材１
２と圧電材１１との間に設けられた電極パターン１５
と、圧電材１１の圧電材１２との積層面に対抗する面に
設けられた電極パターン１４と、圧電材１１の電極パタ
ーン１４面に一体的に積層される本発明の電極配線部材
としての電極配線部材３１から構成されている。
【００２５】ここで、圧電材１１、１２は、図２（ｂ）
（ｃ）に示すように、平面矩形状であり、所定の共振周
波数を設定する寸法に加工され、強誘電体材料、例え
ば、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛が用いら
れる。圧電材１１は、矩形体をさらに十字方向に小さな
矩形体に４等分し、対角線方向の一対の矩形体を同極性
に、辺方向の一対の矩形体も同極性となるように分極処
理する。
（ｃ）に示すように、平面矩形状であり、所定の共振周
波数を設定する寸法に加工され、強誘電体材料、例え
ば、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛が用いら
れる。圧電材１１は、矩形体をさらに十字方向に小さな
矩形体に４等分し、対角線方向の一対の矩形体を同極性
に、辺方向の一対の矩形体も同極性となるように分極処
理する。
【００２６】一方、圧電材１２は、矩形体のほぼ全体を
同一極性に分極処理されている。また、電極パターン１
４ａ、１４ｂは、図２（ｂ）に示すように、圧電材１１
の分極処理された部分に対応して４分割して固定されて
おり、対角線方向の一対の電極１４ａ、１４ｂは、同時
に電圧を印加される。また、各電極パターン１４ａ、１
４ｂには、圧電材１１の矩形面の近接する長縁部に達す
るよう突出部を設ける。
同一極性に分極処理されている。また、電極パターン１
４ａ、１４ｂは、図２（ｂ）に示すように、圧電材１１
の分極処理された部分に対応して４分割して固定されて
おり、対角線方向の一対の電極１４ａ、１４ｂは、同時
に電圧を印加される。また、各電極パターン１４ａ、１
４ｂには、圧電材１１の矩形面の近接する長縁部に達す
るよう突出部を設ける。
【００２７】電極パターン１５は、図２（ｃ）に示すよ
うに、圧電材１２の矩形面のほぼ全面に設け、圧電材１
２の矩形面の一対の長辺のうち一方の長縁部の中央に達
するよう突出部を設ける。電極パターン１６は、図２
（ｄ）に示すように、圧電材１３のほぼ全面に固定さ
れ、圧電材１２の矩形面の一対の長辺のうち電極パター
ン１５とは逆方向の長縁部の中央に達するよう突出部を
設ける。
うに、圧電材１２の矩形面のほぼ全面に設け、圧電材１
２の矩形面の一対の長辺のうち一方の長縁部の中央に達
するよう突出部を設ける。電極パターン１６は、図２
（ｄ）に示すように、圧電材１３のほぼ全面に固定さ
れ、圧電材１２の矩形面の一対の長辺のうち電極パター
ン１５とは逆方向の長縁部の中央に達するよう突出部を
設ける。
【００２８】電極配線部材３１は、図２（ａ）（ｅ）に
示すように、圧電材３１ａと、各電極パターン１４、１
５、１６の突出部と対応する部位に設けられた電圧印加
用電極パターン３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅからな
る。各電圧印加用電極パターン３１ｂは、矩形面の近接
する長縁部に達し、さらに、図２（ｅ）に示すように、
振動体１０の側面まで延長され、各電極パターン１４と
接続されている。
示すように、圧電材３１ａと、各電極パターン１４、１
５、１６の突出部と対応する部位に設けられた電圧印加
用電極パターン３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅからな
る。各電圧印加用電極パターン３１ｂは、矩形面の近接
する長縁部に達し、さらに、図２（ｅ）に示すように、
振動体１０の側面まで延長され、各電極パターン１４と
接続されている。
【００２９】次に、図１〜４に基づいて、本実施の形態
の使用方法について説明する。図３は、本実施の形態に
係わる超音波モータのブロック図を示すものであり、図
４は、本実施の形態に係わる圧電材の振動態様を示すも
のである。先ず、移動体２０の回転部材２１を時計回り
に回転させたいときは、図３に示すように、電圧印加用
電極パターン３１ｂ、ｄ、ｅに電圧を印加すればよい。
の使用方法について説明する。図３は、本実施の形態に
係わる超音波モータのブロック図を示すものであり、図
４は、本実施の形態に係わる圧電材の振動態様を示すも
のである。先ず、移動体２０の回転部材２１を時計回り
に回転させたいときは、図３に示すように、電圧印加用
電極パターン３１ｂ、ｄ、ｅに電圧を印加すればよい。
【００３０】このとき、電極パターン１４ａ、１５、１
６は通電される。ここで、電極パターン１４ａ、１５間
の圧電材１１は、図４のＡに示すような、横方向に屈曲
振動を起こす一方、電極パターン１５、１６間の圧電材
１２は、図４のＢに示すように、縦横方向に伸縮振動を
起こす。ここで、各圧電材１１の振動方向は一定に保た
れ、振動運動は制限されない。また、圧電材１２は、ほ
ぼ全面に電圧を印加されるので、大きな伸縮振動を起こ
す。
６は通電される。ここで、電極パターン１４ａ、１５間
の圧電材１１は、図４のＡに示すような、横方向に屈曲
振動を起こす一方、電極パターン１５、１６間の圧電材
１２は、図４のＢに示すように、縦横方向に伸縮振動を
起こす。ここで、各圧電材１１の振動方向は一定に保た
れ、振動運動は制限されない。また、圧電材１２は、ほ
ぼ全面に電圧を印加されるので、大きな伸縮振動を起こ
す。
【００３１】各圧電材１１、１２は一体となっているの
で、各圧電材１１、１２の屈曲振動及び伸縮振動は合成
され、矩形面の短縁部は、反時計回りに楕円運動を行
う。矩形面の短縁部に固定された出力取り出し部１７
は、前記楕円運動を拡大させて移動体２０の回転部材２
１に所定のタイミングで圧接する。よって、所定のタイ
ミングで圧接される移動体２０の回転部材２１は、当接
される毎に摩擦力を受け、時計方向に回転する。
で、各圧電材１１、１２の屈曲振動及び伸縮振動は合成
され、矩形面の短縁部は、反時計回りに楕円運動を行
う。矩形面の短縁部に固定された出力取り出し部１７
は、前記楕円運動を拡大させて移動体２０の回転部材２
１に所定のタイミングで圧接する。よって、所定のタイ
ミングで圧接される移動体２０の回転部材２１は、当接
される毎に摩擦力を受け、時計方向に回転する。
【００３２】また、移動体の回転部材２１を反時計方向
に回転させたいときは、図３に示すように、電圧印加用
電極パターン３１ｃ、ｄ、ｅに電圧を印加すればよい。
このとき、電極パターン１４ｂ、１５、１６は通電され
る。ここで、電極パターン１４ｂ、１５間の圧電材１１
は、図４のＡとは逆位相の屈曲振動を起こす一方、電極
パターン１５、１６間の圧電材１２は、図４のＢに示す
ような、伸縮振動を起こす。
に回転させたいときは、図３に示すように、電圧印加用
電極パターン３１ｃ、ｄ、ｅに電圧を印加すればよい。
このとき、電極パターン１４ｂ、１５、１６は通電され
る。ここで、電極パターン１４ｂ、１５間の圧電材１１
は、図４のＡとは逆位相の屈曲振動を起こす一方、電極
パターン１５、１６間の圧電材１２は、図４のＢに示す
ような、伸縮振動を起こす。
【００３３】各圧電材１１、１２は一体となっているの
で、各圧電材１１、１２の屈曲振動及び伸縮振動は合成
され、矩形面の短縁部では、時計回りに楕円運動を行
う。よって、所定のタイミングで当接される移動体２０
の回転部材２１は、出力取り出し部１７を圧接される毎
に摩擦力を受け、反時計方向を回転する。以上より、本
実施の形態によれば、圧電材１１を固定手段を用いるこ
となく保持することにより、振動運動を制限されること
もなく、また、振動方向は一定に保たれるようにしたの
で、各圧電材１１の振動運動のロス、及び振動方向のバ
ラツキが防止される。
で、各圧電材１１、１２の屈曲振動及び伸縮振動は合成
され、矩形面の短縁部では、時計回りに楕円運動を行
う。よって、所定のタイミングで当接される移動体２０
の回転部材２１は、出力取り出し部１７を圧接される毎
に摩擦力を受け、反時計方向を回転する。以上より、本
実施の形態によれば、圧電材１１を固定手段を用いるこ
となく保持することにより、振動運動を制限されること
もなく、また、振動方向は一定に保たれるようにしたの
で、各圧電材１１の振動運動のロス、及び振動方向のバ
ラツキが防止される。
【００３４】また、圧電材１２によって強制的に伸縮運
動を励振するようにしたので、伸縮振動を大きくするこ
とができ、この伸縮振動と屈曲振動との合成振動は、２
重モード振動する各圧電材を積層させたものと比較し
て、高出力が得られる。また、電極パターン１４、１５
との間、及び電極パターン１５、１６間に電圧を印加す
るようにしたので、電極パターン１５を基準として共用
し、装置構成の簡略化を図る。
動を励振するようにしたので、伸縮振動を大きくするこ
とができ、この伸縮振動と屈曲振動との合成振動は、２
重モード振動する各圧電材を積層させたものと比較し
て、高出力が得られる。また、電極パターン１４、１５
との間、及び電極パターン１５、１６間に電圧を印加す
るようにしたので、電極パターン１５を基準として共用
し、装置構成の簡略化を図る。
【００３５】また、電極配線部材３１の電極面３１ｂの
みに通電することで各電極パターン１４に通電するよう
にしたので、各電極パターン１４に対して個別に配線す
る必要がなく、また、圧電材１１、１２を一度に分極処
理することが可能である。また、出力取り出し部１７に
より圧電材１１、１２の合成振動の変位を拡大するよう
にしたので、出力取り出し部１７の先端で圧接される回
転部材２１はより大きな摩擦力を受け回転される。
みに通電することで各電極パターン１４に通電するよう
にしたので、各電極パターン１４に対して個別に配線す
る必要がなく、また、圧電材１１、１２を一度に分極処
理することが可能である。また、出力取り出し部１７に
より圧電材１１、１２の合成振動の変位を拡大するよう
にしたので、出力取り出し部１７の先端で圧接される回
転部材２１はより大きな摩擦力を受け回転される。
【００３６】また、圧電材１１、１２の合成振動により
出力取り出し部１７を所定のタイミングで回転部材２１
に圧接して摩擦力を付与するようにしたので、回転部材
２１を回転運動させる。 ｛実施の形態２｝図５は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態２を示すものである。本実施の形態の要
部は、図５に示すように、振動体部１０と、振動体部１
０の縁部に設けられた本発明の振動伝達部材としての出
力取り出し部１７と、出力取り出し部１７に当接される
本発明の可動体としての移動体２０と、移動体２０と出
力取り出し部１７とを加圧する加圧機構（図示外）から
構成されている。
出力取り出し部１７を所定のタイミングで回転部材２１
に圧接して摩擦力を付与するようにしたので、回転部材
２１を回転運動させる。 ｛実施の形態２｝図５は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態２を示すものである。本実施の形態の要
部は、図５に示すように、振動体部１０と、振動体部１
０の縁部に設けられた本発明の振動伝達部材としての出
力取り出し部１７と、出力取り出し部１７に当接される
本発明の可動体としての移動体２０と、移動体２０と出
力取り出し部１７とを加圧する加圧機構（図示外）から
構成されている。
【００３７】移動体２０は、案内溝（図示外）を有し、
所定の方向に直線運動する直線運動部材２１と、案内溝
と対になって直線運動部材２１の運動方向を規制する規
制部材（図示外）から構成されている。出力取り出し部
１７は、実施の形態１と同様の構成であり、振動体部１
０の下面に中央部から左右均等な距離に一対設けられて
いる。
所定の方向に直線運動する直線運動部材２１と、案内溝
と対になって直線運動部材２１の運動方向を規制する規
制部材（図示外）から構成されている。出力取り出し部
１７は、実施の形態１と同様の構成であり、振動体部１
０の下面に中央部から左右均等な距離に一対設けられて
いる。
【００３８】加圧機構は、振動体部１０の上面の振動節
部を下方に向けて加圧する構造からなる。図６は、振動
体部の各積層層の平面及び振動体部の側面を示すもので
ある。振動体部１０は、図６（ａ）〜（ｇ）に示すよう
に、電圧の印加により屈曲振動する本発明の圧電屈曲振
動部材としての圧電材１１と、圧電材１１に一体的に積
層され、伸縮振動する本発明の圧電伸縮振動部材として
の圧電材１２と、さらに圧電材１２に一体的に積層され
る本発明の圧電伸縮振動部材としての圧電材１３と、圧
電材１３に一体的に積層される本発明の圧電屈曲振動部
材としての圧電材４４と、圧電材４４に一体的に積層さ
れる本発明の圧電屈曲振動部材としての圧電材４５と、
圧電材４５に積層される圧電材４６を備え、各圧電材１
１間には、本発明の第一の電極としての電極パターン１
４、４８と、本発明の第二の電極としての電極パターン
１６と、本発明の基準電極としての電極パターン１５、
４７、４９と、圧電材１１の電極パターン１４側に積層
される本発明の電極配線部材としての電極配線部材３１
から構成されている。
部を下方に向けて加圧する構造からなる。図６は、振動
体部の各積層層の平面及び振動体部の側面を示すもので
ある。振動体部１０は、図６（ａ）〜（ｇ）に示すよう
に、電圧の印加により屈曲振動する本発明の圧電屈曲振
動部材としての圧電材１１と、圧電材１１に一体的に積
層され、伸縮振動する本発明の圧電伸縮振動部材として
の圧電材１２と、さらに圧電材１２に一体的に積層され
る本発明の圧電伸縮振動部材としての圧電材１３と、圧
電材１３に一体的に積層される本発明の圧電屈曲振動部
材としての圧電材４４と、圧電材４４に一体的に積層さ
れる本発明の圧電屈曲振動部材としての圧電材４５と、
圧電材４５に積層される圧電材４６を備え、各圧電材１
１間には、本発明の第一の電極としての電極パターン１
４、４８と、本発明の第二の電極としての電極パターン
１６と、本発明の基準電極としての電極パターン１５、
４７、４９と、圧電材１１の電極パターン１４側に積層
される本発明の電極配線部材としての電極配線部材３１
から構成されている。
【００３９】ここで、圧電材１１は、図６（ｂ）に示す
ように、実施の形態１とほぼ同様の構成であるが、圧電
材１１は、矩形体をさらに横方向に小さな矩形体に４等
分して、交互に逆極性となるよう分極処理し、一方の矩
形面に、分極処理する部位に対応して電極パターン１４
ａ、ｂを設けている点に特徴を有する。また、各電極パ
ターン１４ａ、ｂは、全て、一方の長縁部に達する突出
部を有する。
ように、実施の形態１とほぼ同様の構成であるが、圧電
材１１は、矩形体をさらに横方向に小さな矩形体に４等
分して、交互に逆極性となるよう分極処理し、一方の矩
形面に、分極処理する部位に対応して電極パターン１４
ａ、ｂを設けている点に特徴を有する。また、各電極パ
ターン１４ａ、ｂは、全て、一方の長縁部に達する突出
部を有する。
【００４０】一方、圧電材１３は、図６（ｄ）に示すよ
うに、圧電材１２とは上下逆方向に同様な分極処理され
る。また、図６（ｅ）（ｆ）に示すように、圧電材４
４、４５は、圧電材１１の分極処理を施されている部位
に対応する部位を逆極性に分極処理される。圧電材４
４、４５間に設けられる電極パターン４８は、電極パタ
ーン１４とほぼ同様の構成であるが、電極パターン１４
ａの突出部とは反対側に圧電材４５の突出部を設ける。
うに、圧電材１２とは上下逆方向に同様な分極処理され
る。また、図６（ｅ）（ｆ）に示すように、圧電材４
４、４５は、圧電材１１の分極処理を施されている部位
に対応する部位を逆極性に分極処理される。圧電材４
４、４５間に設けられる電極パターン４８は、電極パタ
ーン１４とほぼ同様の構成であるが、電極パターン１４
ａの突出部とは反対側に圧電材４５の突出部を設ける。
【００４１】電極配線部材３１は、図６（ａ）に示すよ
うに、本体部として圧電材３１ａと、電極パターン１４
ａ、１４ｂの突出部に対応する部位に設けられた電極印
加用パターン３１ｂと、電極パターン４８ａ、４８ｂの
突出部に対応する部位に設けられた電極印加用パターン
３１ｃと、電極パターン１５、４７、４９の突出部に対
応する部位に設けられた電極パターン３１ｄと、電極パ
ターン１６の突出部に対応する部位に設けられた電極パ
ターン３１ｅから構成されている。
うに、本体部として圧電材３１ａと、電極パターン１４
ａ、１４ｂの突出部に対応する部位に設けられた電極印
加用パターン３１ｂと、電極パターン４８ａ、４８ｂの
突出部に対応する部位に設けられた電極印加用パターン
３１ｃと、電極パターン１５、４７、４９の突出部に対
応する部位に設けられた電極パターン３１ｄと、電極パ
ターン１６の突出部に対応する部位に設けられた電極パ
ターン３１ｅから構成されている。
【００４２】各電極パターン３１ｂは、圧電材３１ａの
矩形面の近接する長縁部に達し、さらに、図６（ｈ）に
示すように、振動体部１０の側面まで延長され、各電極
パターン１４と接続されている。次に、図５〜８に基づ
いて、本実施の形態の使用方法について説明する。図７
は、本実施の形態の移動体２０を左方向に動かすときの
主要部のブロック図を示し、図８は、本実施の形態に係
わる振動体部の動作を示すものである。
矩形面の近接する長縁部に達し、さらに、図６（ｈ）に
示すように、振動体部１０の側面まで延長され、各電極
パターン１４と接続されている。次に、図５〜８に基づ
いて、本実施の形態の使用方法について説明する。図７
は、本実施の形態の移動体２０を左方向に動かすときの
主要部のブロック図を示し、図８は、本実施の形態に係
わる振動体部の動作を示すものである。
【００４３】先ず、移動体２０の直線運動部材２１を右
方向に直線運動させたいときは、図６（ａ）に示すよう
に、電極印加用パターン３１ｃ、３１ｄ、３１ｅに電圧
を印加すればよい。このとき、電極パターン１５、１
６、４７、４８、４９に通電され、電極パターン４７、
４８、４９の間の圧電材４４、４５は、図４のＡに示す
ように、上下方向に屈曲振動を起こす一方、電極パター
ン１５、１６、４７間の圧電材１２、１３は、図８のＢ
に示すような、縦横方向の伸縮振動を起こす。
方向に直線運動させたいときは、図６（ａ）に示すよう
に、電極印加用パターン３１ｃ、３１ｄ、３１ｅに電圧
を印加すればよい。このとき、電極パターン１５、１
６、４７、４８、４９に通電され、電極パターン４７、
４８、４９の間の圧電材４４、４５は、図４のＡに示す
ように、上下方向に屈曲振動を起こす一方、電極パター
ン１５、１６、４７間の圧電材１２、１３は、図８のＢ
に示すような、縦横方向の伸縮振動を起こす。
【００４４】そして、各圧電材４４、４５、１２、１３
は一体となっているので、各圧電材４４の屈曲振動及び
伸縮振動は合成され、振動体部１０の下面の各部位は反
時計回りに楕円運動を行う。振動体部１０の下面に固定
された一対の出力取り出し部１７ａ、１７ｂは、前記楕
円運動を拡大させて移動体２０の直線運動部材２１に所
定のタイミングで圧接する。
は一体となっているので、各圧電材４４の屈曲振動及び
伸縮振動は合成され、振動体部１０の下面の各部位は反
時計回りに楕円運動を行う。振動体部１０の下面に固定
された一対の出力取り出し部１７ａ、１７ｂは、前記楕
円運動を拡大させて移動体２０の直線運動部材２１に所
定のタイミングで圧接する。
【００４５】よって、所定のタイミングで圧接される移
動体２０の直線運動部材２１は、当接される毎に摩擦力
を受け、右方向に直線運動する。移動体２０の直線運動
部材２１を左方向に運動させたいときは、図６（ａ）に
示すように、電極印加用パターン３１ｂ、３１ｄ、３１
ｅに電圧を印加すればよい。
動体２０の直線運動部材２１は、当接される毎に摩擦力
を受け、右方向に直線運動する。移動体２０の直線運動
部材２１を左方向に運動させたいときは、図６（ａ）に
示すように、電極印加用パターン３１ｂ、３１ｄ、３１
ｅに電圧を印加すればよい。
【００４６】このとき、図７に示すように、電極パター
ン１４、１５、１６、４７は通電され、電極パターン１
４間の圧電材１１、１２、１３は電圧を印加される。こ
こで、圧電材１１は、図８のＡとは１８０°位相の異な
る屈曲振動を起こす一方、電極パターン１５、１６間の
圧電材１２、１３は、図８のＢに示すような、縦横方向
の伸縮振動を起こす。
ン１４、１５、１６、４７は通電され、電極パターン１
４間の圧電材１１、１２、１３は電圧を印加される。こ
こで、圧電材１１は、図８のＡとは１８０°位相の異な
る屈曲振動を起こす一方、電極パターン１５、１６間の
圧電材１２、１３は、図８のＢに示すような、縦横方向
の伸縮振動を起こす。
【００４７】そして、各圧電材１１、１２、１３は一体
となっているので、各圧電材１１、１２の屈曲振動及び
伸縮振動は合成され、振動体部１０の下面の各部位は時
計回りに楕円運動を行う。よって、所定のタイミングで
圧接される移動体２０の直線運動部材２１は、当接され
る毎に摩擦力を受け、左方向に直線運動する。
となっているので、各圧電材１１、１２の屈曲振動及び
伸縮振動は合成され、振動体部１０の下面の各部位は時
計回りに楕円運動を行う。よって、所定のタイミングで
圧接される移動体２０の直線運動部材２１は、当接され
る毎に摩擦力を受け、左方向に直線運動する。
【００４８】以上より、特に、本実施の形態によれば、
さらに圧電材１３、４５を積層しているので、大きな合
成振動を得られ、直線運動部材２１をより高出力で直線
運動させる。また、合成振動により出力取り出し部１７
を所定のタイミングで直線運動部材２１に圧接して摩擦
力を付与するようにしたので、直線運動部材２１を直線
運動させる。
さらに圧電材１３、４５を積層しているので、大きな合
成振動を得られ、直線運動部材２１をより高出力で直線
運動させる。また、合成振動により出力取り出し部１７
を所定のタイミングで直線運動部材２１に圧接して摩擦
力を付与するようにしたので、直線運動部材２１を直線
運動させる。
【００４９】なお、振動体部１０を加圧して固定面上に
設置し、超音波モータ自身が直線運動するようにしても
よい。このとき、振動体部１０は、合成振動により、出
力取り出し部１７ａ、１７ｂを楕円運動させ、出力取り
出し部１７ａ、１７ｂは、固定面に圧接する毎に摩擦力
を受け、超音波モータ自身は、固定面上を直線運動す
る。 ｛実施の形態３｝図９は、本発明を超音波モータを駆動
源とする電子機器に適用したブロック図を示すものであ
る。
設置し、超音波モータ自身が直線運動するようにしても
よい。このとき、振動体部１０は、合成振動により、出
力取り出し部１７ａ、１７ｂを楕円運動させ、出力取り
出し部１７ａ、１７ｂは、固定面に圧接する毎に摩擦力
を受け、超音波モータ自身は、固定面上を直線運動す
る。 ｛実施の形態３｝図９は、本発明を超音波モータを駆動
源とする電子機器に適用したブロック図を示すものであ
る。
【００５０】本実施の形態は、積層型の圧電素子５１
と、積層型圧電素子５１に一体的に振動される振動体５
２と、振動体５２に周期的に圧接される移動体５３と、
移動体５３と一体に動作する伝達機構５４と、伝達機構
５４の動作に基づいて可動される出力機構５５と、振動
体５２と移動体５３を加圧する加圧機構５６から構成さ
れている。
と、積層型圧電素子５１に一体的に振動される振動体５
２と、振動体５２に周期的に圧接される移動体５３と、
移動体５３と一体に動作する伝達機構５４と、伝達機構
５４の動作に基づいて可動される出力機構５５と、振動
体５２と移動体５３を加圧する加圧機構５６から構成さ
れている。
【００５１】ここで、伝達機構５４としては、例えば、
歯車列、摩擦車等の伝達車を用いる。出力機構５５とし
ては、カメラにおいてはシャッタ駆動機構、レンズ駆動
機構等を、電子時計又は計測器においては指針等を、ロ
ボットにおいてはアームを、工作機械においては、刃具
送り機構や加工部材送り機構等を用いる。
歯車列、摩擦車等の伝達車を用いる。出力機構５５とし
ては、カメラにおいてはシャッタ駆動機構、レンズ駆動
機構等を、電子時計又は計測器においては指針等を、ロ
ボットにおいてはアームを、工作機械においては、刃具
送り機構や加工部材送り機構等を用いる。
【００５２】なお、本実施の形態における電子機器とし
ては、好ましくは、電子時計、計測器、カメラ、プリン
タ、印刷機、工作機械、ロボット、移動装置等を実現で
きる。さらに、移動体５３に出力軸を取付け、出力軸か
らのトルクを伝達するための動力伝達機構を有する構成
とすれば、超音波モータ駆動装置を実現できる。
ては、好ましくは、電子時計、計測器、カメラ、プリン
タ、印刷機、工作機械、ロボット、移動装置等を実現で
きる。さらに、移動体５３に出力軸を取付け、出力軸か
らのトルクを伝達するための動力伝達機構を有する構成
とすれば、超音波モータ駆動装置を実現できる。
【００５３】
【発明の効果】以上より、請求項１記載の発明によれ
ば、圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を固定手段
を用いることなく保持することにより、振動運動を制限
されることもなく、また、振動方向は一定に保たれるよ
うにしたので、各圧電振動部材の振動運動のロス、及び
振動方向のバラツキが防止される。
ば、圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を固定手段
を用いることなく保持することにより、振動運動を制限
されることもなく、また、振動方向は一定に保たれるよ
うにしたので、各圧電振動部材の振動運動のロス、及び
振動方向のバラツキが防止される。
【００５４】また、圧電伸縮振動部材を設けることで、
強制的に伸縮振動を励振するようにしたので、伸縮振動
を大きくすることができ、この伸縮振動と屈曲振動との
合成振動は、２重モード振動する各圧電振動部材を積層
させたものと比較して、高出力が得られる。請求項２記
載の発明によれば、基準電極と第一の電極との間、及び
基準電極と第二の電極との間に電圧を印加するようにし
たので、基準電極を基準として共用し、装置構成の簡略
化を図る。
強制的に伸縮振動を励振するようにしたので、伸縮振動
を大きくすることができ、この伸縮振動と屈曲振動との
合成振動は、２重モード振動する各圧電振動部材を積層
させたものと比較して、高出力が得られる。請求項２記
載の発明によれば、基準電極と第一の電極との間、及び
基準電極と第二の電極との間に電圧を印加するようにし
たので、基準電極を基準として共用し、装置構成の簡略
化を図る。
【００５５】請求項３記載の発明によれば、電極配線部
材の電極面のみに通電することで各電極に通電するよう
にしたので、各電極に対して配線する必要がなく、ま
た、圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を一度に分
極処理する。請求項４記載の発明によれば、屈曲振動を
大きくし、より大きな合成振動を得るようにしたので、
高出力で可動体を可動させる。
材の電極面のみに通電することで各電極に通電するよう
にしたので、各電極に対して配線する必要がなく、ま
た、圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を一度に分
極処理する。請求項４記載の発明によれば、屈曲振動を
大きくし、より大きな合成振動を得るようにしたので、
高出力で可動体を可動させる。
【００５６】請求項５記載の発明によれば、伸縮振動を
大きくし、より大きな合成振動を得るようにしたので、
高出力で可動体を可動させる。請求項６記載の発明によ
れば、複数の圧電屈曲振動部材及び複数の圧電屈曲振動
部材により、さらに大きな合成振動を得るようにしたの
で、さらに高出力で可動体を可動させる。
大きくし、より大きな合成振動を得るようにしたので、
高出力で可動体を可動させる。請求項６記載の発明によ
れば、複数の圧電屈曲振動部材及び複数の圧電屈曲振動
部材により、さらに大きな合成振動を得るようにしたの
で、さらに高出力で可動体を可動させる。
【００５７】請求項７記載の発明によれば、振動伝達部
材により圧電屈曲振動部材と圧電伸縮振動部材との合成
振動の変位を拡大するようにしたので、振動伝達部材の
先端で圧接される可動体はより大きな摩擦力を受け可動
される。請求項８記載の発明によれば、合成振動により
圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を所定のタイミ
ングで可動体に圧接して摩擦力を付与するようにしたの
で、可動体を直線運動させる。
材により圧電屈曲振動部材と圧電伸縮振動部材との合成
振動の変位を拡大するようにしたので、振動伝達部材の
先端で圧接される可動体はより大きな摩擦力を受け可動
される。請求項８記載の発明によれば、合成振動により
圧電屈曲振動部材及び圧電伸縮振動部材を所定のタイミ
ングで可動体に圧接して摩擦力を付与するようにしたの
で、可動体を直線運動させる。
【００５８】請求項９記載の発明によれば、合成振動に
より、所定のタイミングで可動体に圧接して摩擦力を付
与するようにしたので、可動体を回転運動させる。請求
項１０記載の発明によれば、合成振動により、所定のタ
イミングで固定面に圧接して、固定面から摩擦力を付与
されるようにしたので、超音波モータ自身は、固定面上
を可動する。
より、所定のタイミングで可動体に圧接して摩擦力を付
与するようにしたので、可動体を回転運動させる。請求
項１０記載の発明によれば、合成振動により、所定のタ
イミングで固定面に圧接して、固定面から摩擦力を付与
されるようにしたので、超音波モータ自身は、固定面上
を可動する。
【００５９】請求項１１記載の発明によれば、超音波モ
ータの合成振動としての出力により、電子機器は駆動さ
れる。
ータの合成振動としての出力により、電子機器は駆動さ
れる。
【図１】（ａ）は、本発明を超音波モータに適用した実
施の形態１の平面構造を示す説明図であり、（ｂ）は、
断面構造を示す説明図である。
施の形態１の平面構造を示す説明図であり、（ｂ）は、
断面構造を示す説明図である。
【図２】図１に係わる各積層層の平面構造及び振動体部
の側面を示す説明図である。
の側面を示す説明図である。
【図３】図１に係わるブロック図を示すものである。
【図４】図１に係わる振動の態様を示す説明図である。
【図５】（ａ）は、本発明を超音波モータに適用した実
施の形態２の平面構造を示す説明図であり、（ｂ）は、
断面構造を示す説明図である。
施の形態２の平面構造を示す説明図であり、（ｂ）は、
断面構造を示す説明図である。
【図６】図５に係わる各積層層の平面構造及び振動体部
の側面を示す説明図である。
の側面を示す説明図である。
【図７】図５に係わる移動体を左方向に動かすときの主
要部のブロック図を示す説明図である。
要部のブロック図を示す説明図である。
【図８】図５に係わる振動の態様を示す説明図である。
【図９】本発明を電子機器に適用した実施の形態３を示
す説明図である。
す説明図である。
【図１０】従来技術に係わる積層構造の超音波モータの
斜視方向の構造を示す説明図である。
斜視方向の構造を示す説明図である。
【図１１】図１０に係わる基本構造のブロック図を示す
ものである。
ものである。
１０ 振動体部 １１ 圧電材（圧電屈曲振動部材） １２ 圧電材（圧電伸縮振動部材） １４ 電極パターン（第一の電極） １５ 電極パターン（基準電極） １６ 電極パターン（第二の電極） １７ 出力取り出し部（振動伝達部材） ２０ 移動体（可動体） ３１ 電極配線部材（電極配線部材）
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 賢二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内
Claims (11)
- 【請求項１】 電圧の印加により屈曲振動する圧電屈曲
振動部材と、 前記圧電屈曲振動部材に一体的に積層され、電圧の印加
により伸縮振動する圧電伸縮振動部材とを備え、 前記圧電屈曲振動部材の屈曲振動と前記圧電伸縮振動部
材の伸縮振動との合成振動により可動体を可動させるこ
とを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の超音波モータにおいて、 前記圧電屈曲振動部材の積層面と対向する面のうち、前
記圧電屈曲振動部材の分極処理する部分に設けられた第
一の電極と、 前記圧電伸縮振動部材の積層面と対向する面のうち、前
記圧電伸縮振動部材の分極処理する部分に設けられた第
二の電極と、 前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との積層
面に設けられ、前記第一の電極と前記第二の電極との基
準となる基準電極と、を備えたことを特徴とする超音波
モータ。 - 【請求項３】 請求項２記載の超音波モータにおいて、 前記各電極に通電する電極面を有し、前記圧電屈曲振動
部材又は前記圧電伸縮振動部材にさらに一体的に積層さ
れる電極配線部材を備えたことを特徴とする超音波モー
タ。 - 【請求項４】 請求項１記載の超音波モータにおいて、 前記圧電屈曲振動部材にさらに一体的に積層される前記
圧電屈曲振動部材と、を備えたことを特徴とする超音波
モータ。 - 【請求項５】 請求項１記載の超音波モータにおいて、 前記圧電伸縮振動部材にさらに一体的に積層される前記
圧電伸縮振動部材と、を備えたことを特徴とする超音波
モータ。 - 【請求項６】 請求項４又は請求項５記載の超音波モー
タにおいて、積層された前記圧電屈曲振動部材若しくは
前記圧電伸縮振動部材に、さらに一体的に積層される一
対の圧電屈曲振動部材若しくは一対の圧電伸縮振動部材
を備えたことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項７】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との合成
振動を伝達する振動伝達部材を備えたことを特徴とする
超音波モータ。 - 【請求項８】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との合成
振動により直線方向に移動自在な可動体を直線運動させ
ることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項９】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との合成
振動により回動自在な可動体を回転運動させることを特
徴とする超音波モータ。 - 【請求項１０】 請求項１記載の超音波モータにおい
て、前記圧電屈曲振動部材と前記圧電伸縮振動部材との
合成振動により固定面上で可動することを特徴とする超
音波モータ。 - 【請求項１１】 請求項１又は請求項１０記載の超音波
モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付電子機
器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10101570A JPH1132491A (ja) | 1997-05-16 | 1998-04-13 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
| US09/078,471 US6081063A (en) | 1997-05-16 | 1998-05-14 | Ultrasonic motor and electronic apparatus having ultrasonic motor |
| EP98303870A EP0878853A1 (en) | 1997-05-16 | 1998-05-15 | Ultrasonic motor and ultrasonic motor-equipped electronic appliance |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12759697 | 1997-05-16 | ||
| JP9-127596 | 1997-05-16 | ||
| JP10101570A JPH1132491A (ja) | 1997-05-16 | 1998-04-13 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008025354A Division JP4376943B2 (ja) | 1997-05-16 | 2008-02-05 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1132491A true JPH1132491A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=26442441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10101570A Pending JPH1132491A (ja) | 1997-05-16 | 1998-04-13 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6081063A (ja) |
| EP (1) | EP0878853A1 (ja) |
| JP (1) | JPH1132491A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003501988A (ja) * | 1999-05-31 | 2003-01-14 | ナノモーション リミテッド | 多層圧電性モータ |
| JP2005006495A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Seiko Instruments Inc | 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 |
| JP2005295656A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Seiko Instruments Inc | 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器 |
| JP2011015605A (ja) * | 2010-08-26 | 2011-01-20 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電振動体を用いた超音波モータおよびそれを用いた電子機器 |
| JP2011061220A (ja) * | 2003-05-22 | 2011-03-24 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電素子、超音波モータ、電子機器、ステージ、及び積層圧電素子の製造方法 |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4510179B2 (ja) * | 1998-08-07 | 2010-07-21 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器 |
| CN100346566C (zh) * | 1998-12-21 | 2007-10-31 | 精工爱普生株式会社 | 压电驱动装置 |
| US6242850B1 (en) * | 1999-07-28 | 2001-06-05 | Technology Commercialization Corp. | Piezoelectric motor and a disk drive using same |
| DE19938954A1 (de) * | 1999-08-17 | 2001-03-08 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec | Piezoelektrischer Antrieb, insbesondere zur Erzeugung von Rotations- oder Translationsbewegungen, die stetig oder schrittweise erfolgen können |
| US6936951B1 (en) | 2000-11-27 | 2005-08-30 | Grq Instruments, Inc. | Smart sonic bearings and method for frictional force reduction and switching |
| US20080214967A1 (en) * | 2004-02-17 | 2008-09-04 | Ernest Aranyi | Ultrasonic surgical instrument |
| AU2002244082B2 (en) | 2001-02-08 | 2006-06-22 | Covidien Lp | Ultrasonic Surgical Instrument |
| DE10154526B4 (de) * | 2001-06-12 | 2007-02-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co | Piezoelektrisches Stellelement |
| US7061158B2 (en) * | 2002-07-25 | 2006-06-13 | Nanomotion Ltd. | High resolution piezoelectric motor |
| CN1578934A (zh) * | 2002-08-30 | 2005-02-09 | 精工爱普生株式会社 | 模拟电子表 |
| US7141911B2 (en) * | 2002-11-15 | 2006-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Driving method of piezoelectric actuator, piezoelectric actuator, and disk recording and reproducing apparatus using the same |
| US7208861B2 (en) * | 2005-02-04 | 2007-04-24 | Piezomotor Uppsala Ab | Electromechanical drive element |
| JP5074674B2 (ja) * | 2005-07-04 | 2012-11-14 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子および振動波モータ |
| DE102005039358B4 (de) * | 2005-08-19 | 2016-12-08 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Piezoelektrischer Aktor für einen Ultraschallmotor |
| JP4564582B2 (ja) | 2007-12-06 | 2010-10-20 | パナソニック株式会社 | 超音波アクチュエータ |
| DE102008012992A1 (de) * | 2008-03-07 | 2009-09-10 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Ultraschallmotor |
| US7932661B2 (en) * | 2008-09-23 | 2011-04-26 | Nikko Company | Piezoelectric vibrator for ultrasonic motor |
| US8461969B2 (en) * | 2009-06-02 | 2013-06-11 | Lg Innotek Co., Ltd. | Dual mode vibrator |
| JP2011097702A (ja) * | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Olympus Corp | 超音波モータ |
| JP5235856B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2013-07-10 | パナソニック株式会社 | 振動型アクチュエータ |
| JP5429140B2 (ja) * | 2010-01-19 | 2014-02-26 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| JP5412309B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2014-02-12 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
| JP5412308B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2014-02-12 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
| JP5665522B2 (ja) | 2010-12-20 | 2015-02-04 | キヤノン株式会社 | 振動体及び振動型駆動装置 |
| JP6543951B2 (ja) | 2015-02-18 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 |
| EP3276817A1 (en) | 2016-07-29 | 2018-01-31 | Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. Kg | Actuator |
| DE102018104928B3 (de) | 2018-03-05 | 2019-05-29 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Ultraschallmotor |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0732613B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1995-04-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 |
| JP2722211B2 (ja) * | 1988-07-30 | 1998-03-04 | 本多電子株式会社 | 超音波駆動装置 |
| DE3833342A1 (de) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Siemens Ag | Piezomotor |
| JPH05316756A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-11-26 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 |
| US5345137A (en) * | 1991-04-08 | 1994-09-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Two-dimensionally driving ultrasonic motor |
| US5616980A (en) * | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
| IL106296A0 (en) * | 1993-07-09 | 1993-12-28 | Nanomotion Ltd | Ceramic motor |
| US5682076A (en) * | 1993-08-03 | 1997-10-28 | Nanomotion Ltd. | Ceramic disc-drive actuator |
| JPH08111991A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-04-30 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 超音波モータ用圧電振動子および圧電振動子の取付け方法 |
| JPH09135586A (ja) * | 1995-11-08 | 1997-05-20 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
-
1998
- 1998-04-13 JP JP10101570A patent/JPH1132491A/ja active Pending
- 1998-05-14 US US09/078,471 patent/US6081063A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-05-15 EP EP98303870A patent/EP0878853A1/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003501988A (ja) * | 1999-05-31 | 2003-01-14 | ナノモーション リミテッド | 多層圧電性モータ |
| JP4813708B2 (ja) * | 1999-05-31 | 2011-11-09 | ナノモーション リミテッド | 多層圧電性モータ |
| JP2005006495A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Seiko Instruments Inc | 超音波モータ及び積層圧電素子及び電子機器 |
| JP2011061220A (ja) * | 2003-05-22 | 2011-03-24 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電素子、超音波モータ、電子機器、ステージ、及び積層圧電素子の製造方法 |
| JP2011071525A (ja) * | 2003-05-22 | 2011-04-07 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電素子を用いた超音波モータ並びにそれを用いた電子機器、ステージ、及び積層圧電素子の製造方法 |
| JP2005295656A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Seiko Instruments Inc | 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器 |
| JP2011015605A (ja) * | 2010-08-26 | 2011-01-20 | Seiko Instruments Inc | 積層圧電振動体を用いた超音波モータおよびそれを用いた電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| EP0878853A1 (en) | 1998-11-18 |
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