JPH01148331A - 水素化物系廃ガスの除害方法 - Google Patents
水素化物系廃ガスの除害方法Info
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- JPH01148331A JPH01148331A JP62308414A JP30841487A JPH01148331A JP H01148331 A JPH01148331 A JP H01148331A JP 62308414 A JP62308414 A JP 62308414A JP 30841487 A JP30841487 A JP 30841487A JP H01148331 A JPH01148331 A JP H01148331A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、アルシン、ホスフィン、シラン或いはジボラ
ンなどの水素化物系の有害ガスを含有する廃ガスの除害
方法に関し、これらの有毒ガスを長期間高い効率で除害
できるものを提供する。
ンなどの水素化物系の有害ガスを含有する廃ガスの除害
方法に関し、これらの有毒ガスを長期間高い効率で除害
できるものを提供する。
〈従来技術〉
上記水素化物系廃ガスの代表例としては、半導体製造過
程での廃ガスがあるが、この半導体廃ガスを除害する従
来技術として、例えば、特開昭６０−１２５２２８〜９
号の両公報には、アルカリ性物質とアルコールとの混合
溶液に当該半導体廃ガスを接触させて、廃ガス中に含ま
れるモノシラン、ジシラン、トリシランなどの自然発火
性のあるシラン系ガスの濃度を低減する方法が開示され
ている。
程での廃ガスがあるが、この半導体廃ガスを除害する従
来技術として、例えば、特開昭６０−１２５２２８〜９
号の両公報には、アルカリ性物質とアルコールとの混合
溶液に当該半導体廃ガスを接触させて、廃ガス中に含ま
れるモノシラン、ジシラン、トリシランなどの自然発火
性のあるシラン系ガスの濃度を低減する方法が開示され
ている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、実際の半導体製造工場から廃棄される廃
ガスは、エツチング炉、ＣＶＤ炉、拡散炉、アニール炉
或いはエピタキシャル他炉などから排出されるガスを集
めた混合ガスであって、水素化物としてはシラン系ガス
のほかに、アルシン、ホスフィン、ジボランなどの有毒
ガスも含まれており、殊に拡散炉からの排出ガスにはこ
れらの水素化物系有毒ガスが排出ガス組成の大部分を占
めるている。
ガスは、エツチング炉、ＣＶＤ炉、拡散炉、アニール炉
或いはエピタキシャル他炉などから排出されるガスを集
めた混合ガスであって、水素化物としてはシラン系ガス
のほかに、アルシン、ホスフィン、ジボランなどの有毒
ガスも含まれており、殊に拡散炉からの排出ガスにはこ
れらの水素化物系有毒ガスが排出ガス組成の大部分を占
めるている。
この結果、上記従来技術の混合溶液で工場廃ガスを処理
すると、シラン系ガスは除害できるのに対し、シラン系
ガスを除く他の水素化物系のガスの除去率は低いので、
大気汚染の虞れが大きいという問題がある。
すると、シラン系ガスは除害できるのに対し、シラン系
ガスを除く他の水素化物系のガスの除去率は低いので、
大気汚染の虞れが大きいという問題がある。
本発明は、シラン系ガスのほかにアルシン、ホスフィン
、ジボランなどの有毒ガスをも含有する水素化物系廃ガ
スを各組成ともに適正に除害することを技術的課題とす
る。
、ジボランなどの有毒ガスをも含有する水素化物系廃ガ
スを各組成ともに適正に除害することを技術的課題とす
る。
く問題点を解決するための手段〉
本発明者は、水素化物系の有害ガスは基本的には小部の
酸化剤と大部のアルコールを組成とする混合溶液で分解
除去できることを新たに発見し、本発明を完成した。
酸化剤と大部のアルコールを組成とする混合溶液で分解
除去できることを新たに発見し、本発明を完成した。
即ち、本発明は、水素化物系の有害ガスを含有する廃ガ
スを処理液に接触させて、その有害ガスの濃度を低減す
る水素化物系廃ガスの除害方法において、処理液が酸化
剤を含むアルコール溶液であることを特徴とするもので
ある。
スを処理液に接触させて、その有害ガスの濃度を低減す
る水素化物系廃ガスの除害方法において、処理液が酸化
剤を含むアルコール溶液であることを特徴とするもので
ある。
上記水素化物系の有害ガスは、アルシン、ホスフィン、
シラン、ジボランを初めとして、水素化ゲルマニウム、
水素化セレン、硫化水素などの一種或いは複数種を意味
する。
シラン、ジボランを初めとして、水素化ゲルマニウム、
水素化セレン、硫化水素などの一種或いは複数種を意味
する。
上記アルコールは、
（１）メチル、エチル、プロピル、ブチル、アミル、ヘ
キシル或いはヘプチルアルコールなどの脂肪族１価の１
級、２級及び３級アルコール （２）エチレングリコール、プロピレングリコール、ブ
タンジオール、グリセリンなどの脂肪族多価アルコール （３）シクロヘキサノール、シクロペンタノールなどの
脂環式アルコール （４）フェノール、ベンジルアルコール、カテコール、
ヒドロキノン、レゾルシン、クレゾール、サリチル酸な
どの芳香族アルコール などを指すが、ｎ−プロピルアルコール、ｎ−ブチルア
ルコール、エチルアルコール、メチルアルコールからな
る群より選ばれた直鎖状脂肪族（即ち、１級）アルコー
ルの一種或いは混合種が好ましい。
キシル或いはヘプチルアルコールなどの脂肪族１価の１
級、２級及び３級アルコール （２）エチレングリコール、プロピレングリコール、ブ
タンジオール、グリセリンなどの脂肪族多価アルコール （３）シクロヘキサノール、シクロペンタノールなどの
脂環式アルコール （４）フェノール、ベンジルアルコール、カテコール、
ヒドロキノン、レゾルシン、クレゾール、サリチル酸な
どの芳香族アルコール などを指すが、ｎ−プロピルアルコール、ｎ−ブチルア
ルコール、エチルアルコール、メチルアルコールからな
る群より選ばれた直鎖状脂肪族（即ち、１級）アルコー
ルの一種或いは混合種が好ましい。
また、上記酸化剤は、
（１）硝酸銀、硝酸銅、硝酸カリウム或いは硝酸ナトリ
ウムなどの硝酸塩 （２）塩化第二鉄、硫酸銅 （３）過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウム、ク
ロム酸ナトリウム、ペルオキソニ硫酸カリウム、過酸化
水素、ペルオキソ炭酸ナトリウム、二酸化マンガン、過
塩素酸ナトリウム、塩素酸ナトリウム、次亜塩素酸ナト
リウム、臭素酸カリウム、さらし粉など のうちの少なくとも一種を指す。
ウムなどの硝酸塩 （２）塩化第二鉄、硫酸銅 （３）過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウム、ク
ロム酸ナトリウム、ペルオキソニ硫酸カリウム、過酸化
水素、ペルオキソ炭酸ナトリウム、二酸化マンガン、過
塩素酸ナトリウム、塩素酸ナトリウム、次亜塩素酸ナト
リウム、臭素酸カリウム、さらし粉など のうちの少なくとも一種を指す。
上記処理液は、前記アルコールの水溶液又は無水アルコ
ールに上記酸化剤を混合して得られるが、過マンガン酸
カリウム、重クロム酸カリウム、クロム酸ナトリウム、
ペルオキソニ硫酸カリウムなどの強酸化剤は、除害処理
前に予めアルコールと混合すると、少なくない部分がア
ルコールと反応して自らは還元されてしまい、廃ガスの
処理効率が低下する虞れがあるので、反応槽に廃ガスの
導入を行うと同時に当該酸化剤とアルコールとを別々の
容器からこの反応槽に導入して、分解反応を行わせる方
が良好である。
ールに上記酸化剤を混合して得られるが、過マンガン酸
カリウム、重クロム酸カリウム、クロム酸ナトリウム、
ペルオキソニ硫酸カリウムなどの強酸化剤は、除害処理
前に予めアルコールと混合すると、少なくない部分がア
ルコールと反応して自らは還元されてしまい、廃ガスの
処理効率が低下する虞れがあるので、反応槽に廃ガスの
導入を行うと同時に当該酸化剤とアルコールとを別々の
容器からこの反応槽に導入して、分解反応を行わせる方
が良好である。
従って、酸化剤としては予めアルコールと混合しても影
響のでない硝酸銀、硝酸銅、塩化第二鉄などが好ましく
、コスト面から硝酸銅がより好ましい。
響のでない硝酸銀、硝酸銅、塩化第二鉄などが好ましく
、コスト面から硝酸銅がより好ましい。
尚、処理液にはアルコール及び酸化剤の他ニ、例えば、
塩化ナトリウムを加えて処理液中に分散した廃ガスの微
細な気泡をこの状態に安定化させたり、或いは、ｐＨ調
整剤、例えば、硫酸などの酸を添加して重クロム酸カリ
ウムやペルオキソニ炭酸カリウムの酸化効果を増大させ
たりしても差し支えない。
塩化ナトリウムを加えて処理液中に分散した廃ガスの微
細な気泡をこの状態に安定化させたり、或いは、ｐＨ調
整剤、例えば、硫酸などの酸を添加して重クロム酸カリ
ウムやペルオキソニ炭酸カリウムの酸化効果を増大させ
たりしても差し支えない。
また、実際の除害処理にあたっては、通常の気液接触装
置を使用すれば充分であるが、例えば、反応容器内に開
口部を下向きにしたカップを配置して回転駆動させ、カ
ップの下端から導入した廃ガスをカップ表面に無数に空
けた噴出孔より処理液中に噴出させることにより、ガス
と液との比重差に基づく遠心効果でガス層を液体で引き
ちぎって、微細気泡を液中に分散させる回転式微細気泡
発生装置などを用いると、気液の接触効率が向上して除
害処理を有効に行なえる。
置を使用すれば充分であるが、例えば、反応容器内に開
口部を下向きにしたカップを配置して回転駆動させ、カ
ップの下端から導入した廃ガスをカップ表面に無数に空
けた噴出孔より処理液中に噴出させることにより、ガス
と液との比重差に基づく遠心効果でガス層を液体で引き
ちぎって、微細気泡を液中に分散させる回転式微細気泡
発生装置などを用いると、気液の接触効率が向上して除
害処理を有効に行なえる。
く作用〉
酸化剤とアルコールから成る混合溶液に廃ガスを接触さ
せる反応系においては、まず、廃ガスに含まれるアルシ
ン、ホスフィン、シラン、ジボランなどの水素化物系有
害ガスの一部は酸化剤で分解除去されるものと推定でき
る。
せる反応系においては、まず、廃ガスに含まれるアルシ
ン、ホスフィン、シラン、ジボランなどの水素化物系有
害ガスの一部は酸化剤で分解除去されるものと推定でき
る。
また、例えば、酸化剤に硝酸鋼を用いた場合には、銅の
析出後でも除害率に余り変化が認められないことから、
上記酸化分解に並行して、アルコールが酸化剤によって
過カルボン酸などの活性物質に変化し、この活性物質が
当該有毒水素化物に作用して（即ち、アルコールと酸化
剤が相乗的に作用して）、分解反応を起こすものと推定
できる。
析出後でも除害率に余り変化が認められないことから、
上記酸化分解に並行して、アルコールが酸化剤によって
過カルボン酸などの活性物質に変化し、この活性物質が
当該有毒水素化物に作用して（即ち、アルコールと酸化
剤が相乗的に作用して）、分解反応を起こすものと推定
できる。
〈実施例〉
以下、第１図に基づいて除害実験装置の概要を述べると
ともに、当該装置を用いた除害実験例を示す。
ともに、当該装置を用いた除害実験例を示す。
除害実験装置は、反応槽ｌと除害対象ガス導入ライン２
と処理済みガス導出ライン３と処理液循環ライン１７と
から構成される。
と処理済みガス導出ライン３と処理液循環ライン１７と
から構成される。
内容積１００ｇの上記反応槽１に所定の処理液を収容し
、除害対象ガス導入ライン２の一端を水封式真空ポンプ
１４を介して当該処理液中に突入させる。
、除害対象ガス導入ライン２の一端を水封式真空ポンプ
１４を介して当該処理液中に突入させる。
除害対象ガス導入ライン２の他端は、アルシン、シラン
などの水素化物系ガス供給ライン４とＮ。
などの水素化物系ガス供給ライン４とＮ。
ガス供給ライン５とに分岐され、水素化物系ガス供給ラ
イン４は開閉弁６及び流量計７を介して水素化物供給源
８に、また、Ｎ、ガス供給ライン５は開閉弁１０及び流
量計１１を介してＮ、ガス供給源１２に各々接続される
。
イン４は開閉弁６及び流量計７を介して水素化物供給源
８に、また、Ｎ、ガス供給ライン５は開閉弁１０及び流
量計１１を介してＮ、ガス供給源１２に各々接続される
。
上記処理液循環ライン１７の一端は、反応槽１の下部に
接続され、その他端は二股に分岐されて一方を流量計１
８を介して水封ポンプ１４の入口に、また、その他方を
流量計１９を介して前記除害対象ガス導入ライン２に各
々接続される。
接続され、その他端は二股に分岐されて一方を流量計１
８を介して水封ポンプ１４の入口に、また、その他方を
流量計１９を介して前記除害対象ガス導入ライン２に各
々接続される。
符号２０は循環ポンプであって、反応槽１内の処理液の
一部を除害対象ガス導入ライン２に循環させるとともに
、処理液の残部を水封ポンプ１４に導入してポンプ内部
で除害対象ガスと処理液とを撹拌混合させながら導入ラ
イン２に循環させて、除害効率を向上させている。
一部を除害対象ガス導入ライン２に循環させるとともに
、処理液の残部を水封ポンプ１４に導入してポンプ内部
で除害対象ガスと処理液とを撹拌混合させながら導入ラ
イン２に循環させて、除害効率を向上させている。
また、前記処理済みガス導出ライン３にコンデンサー１
５を介装して、反応熱による処理液温の上昇に伴い、気
化した処理液中のアルコール分を凝縮して反応槽１に還
流させるようにするとともに、当該導出ライン３の先端
に分析装置１６（具体的には、ガスクロマトグラフ）を
付設して、処理済みガス中の上記水素化物の残留濃度を
測定するように構成しである。
５を介装して、反応熱による処理液温の上昇に伴い、気
化した処理液中のアルコール分を凝縮して反応槽１に還
流させるようにするとともに、当該導出ライン３の先端
に分析装置１６（具体的には、ガスクロマトグラフ）を
付設して、処理済みガス中の上記水素化物の残留濃度を
測定するように構成しである。
因みに、除害実験は、アルコールと酸化剤の組成及び組
み合わせを種々に変化させた処理液を反応槽に収容し、
Ｓ ｉ Ｈ，、Ａ ｓ Ｈ，、ＰＨ３或いはＢ。
み合わせを種々に変化させた処理液を反応槽に収容し、
Ｓ ｉ Ｈ，、Ａ ｓ Ｈ，、ＰＨ３或いはＢ。
Ｈ，を含む除害対象ガスを各々上記反応槽に流し続けて
、ガス導出ラインでの水素化物の残留濃度を測定して、
各処理液における水素化物の除去率を算出した。
、ガス導出ラインでの水素化物の残留濃度を測定して、
各処理液における水素化物の除去率を算出した。
尚、この除去率の算出は、導入ガスラインに含まれる各
水素化物のｐｐｍ濃度に対する導出ガスラインの上記残
留ｐｐｍ濃度比に基づいて行った。
水素化物のｐｐｍ濃度に対する導出ガスラインの上記残
留ｐｐｍ濃度比に基づいて行った。
（実験例１）
８７．５ｖｏ１％のｎ−プロピルアルコールに硝酸銅を
（３，９ｗｔ％の割合で混合した処理液９０１２を反応
槽１に収容し、流量を０．３．１．０及び６．Ｑｍ３／
ｈｒの各位に設定し、入口ガス濃度を５０〜３０００ｐ
ｐｍに変化させた（即ち、Ｎ、ガスで当該濃度に希釈し
た）ＳｉＨ，ガスを反応槽１に流して、導出ライン３で
のＳｉＨ４濃度を測定した。
（３，９ｗｔ％の割合で混合した処理液９０１２を反応
槽１に収容し、流量を０．３．１．０及び６．Ｑｍ３／
ｈｒの各位に設定し、入口ガス濃度を５０〜３０００ｐ
ｐｍに変化させた（即ち、Ｎ、ガスで当該濃度に希釈し
た）ＳｉＨ，ガスを反応槽１に流して、導出ライン３で
のＳｉＨ４濃度を測定した。
第２図はその結果を示す図表であって、０．３ｍ”／ｈ
ｒでは入口濃度５００ｐｐｍまでなら除去率は検出限界
以下を示し、１．Ｑｍ’／ｈｒで且つ３０００ｐｐｍの
大流量、高濃度の場合でも９９％以上の除去率を確保で
きることが判る。
ｒでは入口濃度５００ｐｐｍまでなら除去率は検出限界
以下を示し、１．Ｑｍ’／ｈｒで且つ３０００ｐｐｍの
大流量、高濃度の場合でも９９％以上の除去率を確保で
きることが判る。
また、流量が６．０ｍ’／ｈｒの大きな値を示すときに
は、ＳｉＨ，の入口濃度が低いほど除去率が小さくなる
ことが判るが、５０ｐｐｍの入口濃度でも略８０％の除
去率が得られる。
は、ＳｉＨ，の入口濃度が低いほど除去率が小さくなる
ことが判るが、５０ｐｐｍの入口濃度でも略８０％の除
去率が得られる。
（実験例２）
上記実験例１と同様の処理液を用い、ＡｓＨ。
ガスとＰＨ，ガスの入口濃度を５０ｐｐｍに設定し、そ
の各流量を０．３〜２０．０ｍ３／ｈ ｒに変化させて
、当該両ガスの場合の出口ガス濃度を測定した。
の各流量を０．３〜２０．０ｍ３／ｈ ｒに変化させて
、当該両ガスの場合の出口ガス濃度を測定した。
第３図はその結果を示す図表であって、ＰＨｓの除去率
は全ての流量において、検出限界以下を示すことが判る
。
は全ての流量において、検出限界以下を示すことが判る
。
また、ＡＳＨ３の除去率は、０．３〜６．０ｍ’／ ｈ
ｒの流量ではやはり検出限界以下となり、ｌＱｍ３／
ｈｒでは９８．０％、２０ｍ’／ｈｒの大流量でも９６
．０％を示してきわめて実用的であることが判る。
ｒの流量ではやはり検出限界以下となり、ｌＱｍ３／
ｈｒでは９８．０％、２０ｍ’／ｈｒの大流量でも９６
．０％を示してきわめて実用的であることが判る。
（実験例３）
７５．０ｖｏ１％のメタノールに硝酸銅を１．０ｗｔ％
の割合で混合した処理液９０１２を反応槽ｌに収容し、
ガス流量１ｍ３／ｈｒで入口ガス濃度を７．４ｐｐｍに
設定したＳｉＨ，及び同ガス流量で入口ガス濃度を２０
ｐｐｍに設定したＡｓＨ３、Ｐ Ｈｓ 、Ｂｔ Ｈｅの
各水素化物系ガスを反応槽１に流して、導出ライン３で
の出口ガス濃度を夫々測定した。
の割合で混合した処理液９０１２を反応槽ｌに収容し、
ガス流量１ｍ３／ｈｒで入口ガス濃度を７．４ｐｐｍに
設定したＳｉＨ，及び同ガス流量で入口ガス濃度を２０
ｐｐｍに設定したＡｓＨ３、Ｐ Ｈｓ 、Ｂｔ Ｈｅの
各水素化物系ガスを反応槽１に流して、導出ライン３で
の出口ガス濃度を夫々測定した。
（実験例４）
つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
メタノール水溶液 ７５．Ｑｖｏ１％硝酸銅
（３，Ｑｗｔ％ （実験例５） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
（３，Ｑｗｔ％ （実験例５） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
メタノール水溶液 ７５．Ｑｖｏ１％硝酸銅
５０．０ｗｔ％ （実験例６） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
５０．０ｗｔ％ （実験例６） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
メタノール水溶液 ７５．０ｖｏ１％硝酸銅
（３，Ｑｗｔ％ 塩化ナトリウム ２．Ｑｗｔ％ （実験例７） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
（３，Ｑｗｔ％ 塩化ナトリウム ２．Ｑｗｔ％ （実験例７） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
メタノール水溶液 ７５．０ｖｏ１％硝酸銀
５．３ｗｔ％ （実験例８） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
５．３ｗｔ％ （実験例８） つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上記実験例
３と同条件に設定して出口ガス濃度の測定を行った。
エタノール水溶液 ８２．０ｖｏ１％硝酸銀
５．３ｗｔ％ 但し、冒述の従来技術に対応する７５ｖｏ１％メタノー
ル水溶液に１ｗｔ％のＮａＯＨを添加した混合液を比較
例１とし、メタノール７５ｖｏ１％水溶液を比較例２と
し、硝酸銅（３，Ｑｗｔ％水溶液を比較例３として、上
記実験例３〜８と同条件で水素化物系ガスに対する残留
濃度を測定して、本発明の処理液との間で比較実験を行
った。
５．３ｗｔ％ 但し、冒述の従来技術に対応する７５ｖｏ１％メタノー
ル水溶液に１ｗｔ％のＮａＯＨを添加した混合液を比較
例１とし、メタノール７５ｖｏ１％水溶液を比較例２と
し、硝酸銅（３，Ｑｗｔ％水溶液を比較例３として、上
記実験例３〜８と同条件で水素化物系ガスに対する残留
濃度を測定して、本発明の処理液との間で比較実験を行
った。
第４図は上記実験例３〜８の結果を示す図表であって、
処理液をメタノールと硝酸銅との組み合わせにした場合
、硝酸銅をｌ、Ｑｗｔ％から６．０ｗｔ％に増やすとＳ
ｉ Ｈ，、Ａ ｓ Ｈ３、ＰＨ，、Ｂｚ）（ｓの除去
率は夫々向上するが、硝酸銅を５０ｗｔ％に大幅に増加
させると各除去率は逆に減少してしまう（実験例３〜５
を参照）。
処理液をメタノールと硝酸銅との組み合わせにした場合
、硝酸銅をｌ、Ｑｗｔ％から６．０ｗｔ％に増やすとＳ
ｉ Ｈ，、Ａ ｓ Ｈ３、ＰＨ，、Ｂｚ）（ｓの除去
率は夫々向上するが、硝酸銅を５０ｗｔ％に大幅に増加
させると各除去率は逆に減少してしまう（実験例３〜５
を参照）。
また、上記処理液に塩化ナトリウムを添加すると、各除
去率は向上する（実験例４→実験例６を参照）。
去率は向上する（実験例４→実験例６を参照）。
一方、酸化剤を硝酸銅から硝酸銀に、また、アルコール
をメタノールからエタノールに各々代よると、やはり除
去率は向上する（実験例４→実験例７及び実験例７→実
験例８を参照）。
をメタノールからエタノールに各々代よると、やはり除
去率は向上する（実験例４→実験例７及び実験例７→実
験例８を参照）。
これに対して、比較例２のアルコール単独水溶液では、
Ｓｉ）１．の除去率は略３３％の低い数値しか示さない
。
Ｓｉ）１．の除去率は略３３％の低い数値しか示さない
。
また、比較例３の硝酸銅単独水溶液では、ＡｓＨ３の除
去率は２２．０％でしかない。
去率は２２．０％でしかない。
さらに、比較例１の（即ち、冒述の従来技術に相当する
）アルカリとアルコールとの混合溶液では、ＳｉＨ，の
除去率こそ９５％に達するが、ＡｓＨｌの除去率は０．
７％、ＰＨ，のそれは３．０％でしかな（、これらの水
素化物はほとんど除去できないことが判る。
）アルカリとアルコールとの混合溶液では、ＳｉＨ，の
除去率こそ９５％に達するが、ＡｓＨｌの除去率は０．
７％、ＰＨ，のそれは３．０％でしかな（、これらの水
素化物はほとんど除去できないことが判る。
従って、本発明の除害方法においては、アルコールと酸
化剤とが相乗的に作用してＳｉＨ，、ＡｓＨｓなどの水
素化物系ガスを分解することが判る。
化剤とが相乗的に作用してＳｉＨ，、ＡｓＨｓなどの水
素化物系ガスを分解することが判る。
〈発明の効果〉
シラン系ガスだけでなく、従来技術のアルコールとアル
カリ混合溶液では除去の難しかったアルシン、ホスフィ
ン、ジボランなどの広い範囲に亘る水素化物系有害ガス
を、効率良（除害できるので、半導体製造工場などから
の廃ガス処理に対する実用性がきわめて高い。
カリ混合溶液では除去の難しかったアルシン、ホスフィ
ン、ジボランなどの広い範囲に亘る水素化物系有害ガス
を、効率良（除害できるので、半導体製造工場などから
の廃ガス処理に対する実用性がきわめて高い。
そのうえ、本発明では、−膜処理で有害水素化物系ガス
を有効に除去できるので、組成の異なる処理液を充填し
た処理槽を複数設けてこれらの処理槽に順番に廃ガスを
通す複数段処理を行う必要はなく、処理装置を簡略にし
て安価に実施できる。
を有効に除去できるので、組成の異なる処理液を充填し
た処理槽を複数設けてこれらの処理槽に順番に廃ガスを
通す複数段処理を行う必要はなく、処理装置を簡略にし
て安価に実施できる。
第１図は本発明の除害実験装置の概略系統図、第２図は
除害実験例１の結果を示す図表、第３図は除害実験例２
の結果を示す図表、第４図は除害実験例３〜８の結果を
示す図表である。 １・・・反応槽、２・・・除害対象ガス導入ライン、３
・・・処理済みガス導出ライン、４・・・水素化物系ガ
ス供給ライン、５・・・Ｎ、ガス供給ライン、１４・・
・水封式真空ポンプ、１５・・・コンデンサ、１６・・
・分析装置、１７・・・処理液循環ライン、２０・・・
循環ポンプ。 特許出願人 岩谷産業株式会社 第２図 第３図 第４図 ０ｎ−
除害実験例１の結果を示す図表、第３図は除害実験例２
の結果を示す図表、第４図は除害実験例３〜８の結果を
示す図表である。 １・・・反応槽、２・・・除害対象ガス導入ライン、３
・・・処理済みガス導出ライン、４・・・水素化物系ガ
ス供給ライン、５・・・Ｎ、ガス供給ライン、１４・・
・水封式真空ポンプ、１５・・・コンデンサ、１６・・
・分析装置、１７・・・処理液循環ライン、２０・・・
循環ポンプ。 特許出願人 岩谷産業株式会社 第２図 第３図 第４図 ０ｎ−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、水素化物系の有害ガスを含有する廃ガスを処理液に
接触させて、その有害ガスの濃度を低減する水素化物系
廃ガスの除害方法において、処理液が酸化剤を含むアル
コール溶液であることを特徴とする水素化物系廃ガスの
除害方法 ２、アルコールがｎ−プロピルアルコール、ｎ−ブチル
アルコール、エチルアルコール、メチルアルコールから
なる群より選ばれた直鎖状脂肪族アルコールの少なくと
も一種であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の水素化物系廃ガスの除害方法 ３、酸化剤が、硝酸銀、硝酸銅、硝酸カリウム或いは硝
酸ナトリウムなどの硝酸塩、塩化第二鉄、過マンガン酸
カリウム、ペルオキソ硫酸カリウム、塩素酸ナトリウム
、過塩素酸ナトリウム或いは臭素酸カリウムのうちの少
なくとも一種であることを特徴とする特許請求の範囲第
１又は第２項に記載の水素化物系廃ガスの除害方法 ４、処理液が硝酸銅を含有するｎ−プロピルアルコール
溶液であることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記
載の水素化物系廃ガスの除害方法 ５、水素化物系の有毒ガスがアルシン、ホスフィン、シ
ラン或いはジボランのうちの少なくとも一種であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれか
１項に記載の水素化物系廃ガスの除害方法 ６、処理液に塩化ナトリウムを加えることを特徴とする
特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれか１項に記載の
水素化物系廃ガスの除害方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308414A JPH01148331A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 水素化物系廃ガスの除害方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308414A JPH01148331A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 水素化物系廃ガスの除害方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148331A true JPH01148331A (ja) | 1989-06-09 |
| JPH031052B2 JPH031052B2 (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=17980770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62308414A Granted JPH01148331A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 水素化物系廃ガスの除害方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01148331A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020081940A (ko) * | 2001-04-20 | 2002-10-30 | 조규만 | 과산화수소, 알코올 또는 과산화수소수와 알코올의혼합물을 이용한 질소산화물 저감 및 처리 방법 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP62308414A patent/JPH01148331A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020081940A (ko) * | 2001-04-20 | 2002-10-30 | 조규만 | 과산화수소, 알코올 또는 과산화수소수와 알코올의혼합물을 이용한 질소산화물 저감 및 처리 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH031052B2 (ja) | 1991-01-09 |
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