JPH031052B2 - - Google Patents
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- JPH031052B2 JPH031052B2 JP62308414A JP30841487A JPH031052B2 JP H031052 B2 JPH031052 B2 JP H031052B2 JP 62308414 A JP62308414 A JP 62308414A JP 30841487 A JP30841487 A JP 30841487A JP H031052 B2 JPH031052 B2 JP H031052B2
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- gas
- alcohol
- abatement
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Description
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本発明は、アルシン、ホスフイン、シラン或い
はジボランなどの水素化物系の有害ガスを含有す
る廃ガスの除害方法に関し、これらの有毒ガスを
長期間高い効率で除害できるものを提供する。
はジボランなどの水素化物系の有害ガスを含有す
る廃ガスの除害方法に関し、これらの有毒ガスを
長期間高い効率で除害できるものを提供する。
＜従来技術＞
上記水素化物系廃ガスの代表例としては、半導
体製造過程での廃ガスがあるが、この半導体廃ガ
スを除害する従来技術として、例えば、特開昭60
−125228〜９号の両公報には、アルカリ性物質と
アルコールとの混合溶液に当該半導体廃ガスを接
触させて、廃ガス中に含まれるモノシラン、ジシ
ラン、トリシランなどの自然発火性のあるシラン
系ガスの濃度を低減する方法が開示されている。
体製造過程での廃ガスがあるが、この半導体廃ガ
スを除害する従来技術として、例えば、特開昭60
−125228〜９号の両公報には、アルカリ性物質と
アルコールとの混合溶液に当該半導体廃ガスを接
触させて、廃ガス中に含まれるモノシラン、ジシ
ラン、トリシランなどの自然発火性のあるシラン
系ガスの濃度を低減する方法が開示されている。
＜発明が解決しようとする問題点＞
しかしながら、実際の半導体製造工場から廃棄
される廃ガスは、エツチング炉、CVD炉、拡散
炉、アニール炉或いはエピタキシヤル化炉などか
ら排出されるガスを集めた混合ガスであつて、水
素化物としてはシラン系ガスのほかに、アルシ
ン、ホスフイン、ジボランなどの有毒ガスも含ま
れており、殊に拡散炉からの排出ガスにはこれら
の水素化物系有毒ガスが排出ガス組成の大部分を
占めるている。
される廃ガスは、エツチング炉、CVD炉、拡散
炉、アニール炉或いはエピタキシヤル化炉などか
ら排出されるガスを集めた混合ガスであつて、水
素化物としてはシラン系ガスのほかに、アルシ
ン、ホスフイン、ジボランなどの有毒ガスも含ま
れており、殊に拡散炉からの排出ガスにはこれら
の水素化物系有毒ガスが排出ガス組成の大部分を
占めるている。
この結果、上記従来技術の混合溶液で工場廃ガ
スを処理すると、シラン系ガスは除害できるのに
対し、シラン系ガスを除く他の水素化物系のガス
の除去率は低いので、大気汚染の虞れが大きいと
いう問題がある。
スを処理すると、シラン系ガスは除害できるのに
対し、シラン系ガスを除く他の水素化物系のガス
の除去率は低いので、大気汚染の虞れが大きいと
いう問題がある。
本発明は、シラン系ガスのほかにアルシン、ホ
スフイン、ジボランなどの有毒ガスをも含有する
水素化物系廃ガスを各組成ともに適正に除害する
ことを技術的課題とする。
スフイン、ジボランなどの有毒ガスをも含有する
水素化物系廃ガスを各組成ともに適正に除害する
ことを技術的課題とする。
＜問題点を解決するための手段＞
本発明者は、水素化物系の有毒ガスは基本的に
は小部の酸化剤と大部のアルコールを組成とする
混合溶液で分解除去できることを新たに発見し、
本発明を完成した。
は小部の酸化剤と大部のアルコールを組成とする
混合溶液で分解除去できることを新たに発見し、
本発明を完成した。
即ち、本発明は、水素化物系の有害ガスを含有
する廃ガスを処理液に接触させて、その有害ガス
の濃度を低減する水素化物系廃ガスの除害方法に
おいて、処理液が酸化剤を含むアルコール溶液で
あることを特徴とするものである。
する廃ガスを処理液に接触させて、その有害ガス
の濃度を低減する水素化物系廃ガスの除害方法に
おいて、処理液が酸化剤を含むアルコール溶液で
あることを特徴とするものである。
上記水素化物系の有害ガスは、アルシン、ホス
フイン、シラン、ジボランを初めとして、水素化
ゲルニウム、水素化セレン、硫化水素などの一種
或いは複数種を意味する。
フイン、シラン、ジボランを初めとして、水素化
ゲルニウム、水素化セレン、硫化水素などの一種
或いは複数種を意味する。
上記アルコールは、
(1) メチル、エチル、プロピル、ブチル、アミ
ル、ヘキシル或いはヘプチルアルコールなどの
脂肪族１価の１級、２級及び３級アルコール (2) エチレングリコール、プロピレングリコー
ル、ブタンジオール、グリセリンなどの脂肪族
多価アルコール (3) シクロヘキサノール、シクロペンタノールな
どの脂環式アルコール (4) フエノール、ベンジルアルコール、カテコー
ル、ヒドロキノン、レゾルシン、クレゾール、
サリチル酸などの芳香族アルコール、 などを指すが、ｎ−プロピルアルコール、ｎ−ブ
チルアルコール、エチルアルコール、メチルアル
コールからなる群より選ばれた直鎖状脂肪族（即
ち、１級）アルコールの一種或いは混合種が好ま
しい。
ル、ヘキシル或いはヘプチルアルコールなどの
脂肪族１価の１級、２級及び３級アルコール (2) エチレングリコール、プロピレングリコー
ル、ブタンジオール、グリセリンなどの脂肪族
多価アルコール (3) シクロヘキサノール、シクロペンタノールな
どの脂環式アルコール (4) フエノール、ベンジルアルコール、カテコー
ル、ヒドロキノン、レゾルシン、クレゾール、
サリチル酸などの芳香族アルコール、 などを指すが、ｎ−プロピルアルコール、ｎ−ブ
チルアルコール、エチルアルコール、メチルアル
コールからなる群より選ばれた直鎖状脂肪族（即
ち、１級）アルコールの一種或いは混合種が好ま
しい。
また、上記酸化剤は、
(1) 硝酸銀、硝酸銅、硝酸カリウム或いは硝酸ナ
トリウムなどの硝酸塩 (2) 塩化第二鉄、硫酸銅 (3) 過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウ
ム、クロム酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カ
リウム、過酸化水素、ペルオキソ炭酸ナトリウ
ム、二酸化マンガン、過塩素酸ナトリウム、塩
素酸ナトリウム、次亜塩素酸ナトリウム、臭素
酸カリウム、さらし粉など のうち少なくとも一種を指す。
トリウムなどの硝酸塩 (2) 塩化第二鉄、硫酸銅 (3) 過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウ
ム、クロム酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カ
リウム、過酸化水素、ペルオキソ炭酸ナトリウ
ム、二酸化マンガン、過塩素酸ナトリウム、塩
素酸ナトリウム、次亜塩素酸ナトリウム、臭素
酸カリウム、さらし粉など のうち少なくとも一種を指す。
上記処理液は、前記アルコールの水溶液又は無
水アルコールに上記酸化剤を混合して得られる
が、過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウ
ム、クロム酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カリ
ウムなどの強酸化剤は除害処理前に予めアルコー
ルと混合すると、少なくない部分がアルコールと
反応して自らは還元されてしまい、廃ガスの処理
効率が低下する虞れがあるので、反応槽に廃ガス
の導入を行うと同時に当該酸化剤とアルコールと
を別々の容器からこの反応槽に導入して、分解反
応を行わせる方が良好である。
水アルコールに上記酸化剤を混合して得られる
が、過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウ
ム、クロム酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カリ
ウムなどの強酸化剤は除害処理前に予めアルコー
ルと混合すると、少なくない部分がアルコールと
反応して自らは還元されてしまい、廃ガスの処理
効率が低下する虞れがあるので、反応槽に廃ガス
の導入を行うと同時に当該酸化剤とアルコールと
を別々の容器からこの反応槽に導入して、分解反
応を行わせる方が良好である。
従つて、酸化剤としては予めアルコールと混合
しても影響のでない硝酸銀、硝酸銅、塩化第二鉄
などが好ましく、コスト面から槽酸銅がより好ま
しい。
しても影響のでない硝酸銀、硝酸銅、塩化第二鉄
などが好ましく、コスト面から槽酸銅がより好ま
しい。
尚、処理液には、アルコール及び酸化剤の他
に、例えば、塩化ナトリウムを加えて処理液中に
分散した廃ガスの微細な気泡をこの状態に安定化
させたり、或いは、PH調整剤、例えば、硫酸など
の酸を添加して重クロム酸カリウムやペルオキソ
二炭酸カリウムの酸化効果を増大させたりしても
差し支えない。
に、例えば、塩化ナトリウムを加えて処理液中に
分散した廃ガスの微細な気泡をこの状態に安定化
させたり、或いは、PH調整剤、例えば、硫酸など
の酸を添加して重クロム酸カリウムやペルオキソ
二炭酸カリウムの酸化効果を増大させたりしても
差し支えない。
また、実際の除害処理にあたつては、通常の気
液接触装置を使用すれば充分であるが、例えば、
反応容器内に開口部を下向きにしたカツプを配置
して回転駆動させ、カツプの下端から導入した廃
ガスをカツプ表面に無数に空けた噴出孔より処理
液中に噴出させることにより、ガスと液との比重
差に基づく遠心効果でガス層を液体で引きちぎつ
て、微細気泡を液中に分散させる回転式微細気泡
発生装置などを用いると、気液の接触効率が向上
して除害処理を有効に行なえる。
液接触装置を使用すれば充分であるが、例えば、
反応容器内に開口部を下向きにしたカツプを配置
して回転駆動させ、カツプの下端から導入した廃
ガスをカツプ表面に無数に空けた噴出孔より処理
液中に噴出させることにより、ガスと液との比重
差に基づく遠心効果でガス層を液体で引きちぎつ
て、微細気泡を液中に分散させる回転式微細気泡
発生装置などを用いると、気液の接触効率が向上
して除害処理を有効に行なえる。
＜作用＞
酸化剤とアルコールから成る混合溶液に廃ガス
を接触させる反応系においては、まず、廃ガスに
含まれるアルシン、ホスフイン、シラン、ジボラ
ンなどの水素化物系有害ガスの一部は酸化剤で分
解除去されるものと推定できる。
を接触させる反応系においては、まず、廃ガスに
含まれるアルシン、ホスフイン、シラン、ジボラ
ンなどの水素化物系有害ガスの一部は酸化剤で分
解除去されるものと推定できる。
また、例えば、酸化剤に硝酸銅を用いた場合に
は、銅の析出後でも除害率に余り変化が認められ
ないことから、上記酸化分解に並行して、アルコ
ールが酸化剤によつて過カルボン酸などの活性物
質に変化し、この活性物質が当該有毒水素化物に
作用して（即ち、アルコールと酸化剤が相乗的に
作用して）、分解反応を起こすものと推定できる。
は、銅の析出後でも除害率に余り変化が認められ
ないことから、上記酸化分解に並行して、アルコ
ールが酸化剤によつて過カルボン酸などの活性物
質に変化し、この活性物質が当該有毒水素化物に
作用して（即ち、アルコールと酸化剤が相乗的に
作用して）、分解反応を起こすものと推定できる。
＜実施例＞
以下、第１図に基づいて除害実験装置の概要を
述べるとともに、当該装置を用いた除害実験例を
示す。
述べるとともに、当該装置を用いた除害実験例を
示す。
除害実験装置は、反応槽１と除害対象ガス導入
ライン２と処理済みガス導出ライン３と処理液循
環ライン１７とから構成される。
ライン２と処理済みガス導出ライン３と処理液循
環ライン１７とから構成される。
内容積100の上記反応槽１に所定の処理液を
収容し、除害対象ガス導入ライン２の一端を水封
式真空ポンプ１４を介して当該処理液中に突入さ
せる。
収容し、除害対象ガス導入ライン２の一端を水封
式真空ポンプ１４を介して当該処理液中に突入さ
せる。
除害対象ガス導入ライン２の他端は、アルシ
ン、シランなどの水素化物系ガス供給ライン４と
N2ガス供給ライン５とに分岐され、水素化物系
ガス供給ライン４は開閉弁６及び流量計７を介し
て水素化物供給源８に、また、N2ガス供給ライ
ン５は開閉弁１０及び流量計１１を介してN2ガ
ス供給源１２に各々接続される。
ン、シランなどの水素化物系ガス供給ライン４と
N2ガス供給ライン５とに分岐され、水素化物系
ガス供給ライン４は開閉弁６及び流量計７を介し
て水素化物供給源８に、また、N2ガス供給ライ
ン５は開閉弁１０及び流量計１１を介してN2ガ
ス供給源１２に各々接続される。
上記処理液循環ライン１７の一端は、反応槽１
の下部に接続され、その他端は二股に分岐されて
一方を流量計１８を介して水封ポンプ１４の入口
に、また、その他方を流量計１９を介して前記除
害対象ガス導入ライン２に各々接続される。
の下部に接続され、その他端は二股に分岐されて
一方を流量計１８を介して水封ポンプ１４の入口
に、また、その他方を流量計１９を介して前記除
害対象ガス導入ライン２に各々接続される。
符号２０は循環ポンプであつて、反応槽１内の
処理液の一部を除害対象ガス導入ライン２に循環
させるとともに、処理液の残部を水封ポンプ１４
に導入してポンプ内部で除害対象ガスと処理液と
を撹拌混合させながら導入ライン２に循環させ
て、除害効率を向上させている。
処理液の一部を除害対象ガス導入ライン２に循環
させるとともに、処理液の残部を水封ポンプ１４
に導入してポンプ内部で除害対象ガスと処理液と
を撹拌混合させながら導入ライン２に循環させ
て、除害効率を向上させている。
また、前記処理済みガス導出ライン３にコンデ
ンサー１５を介装して、反応熱による処理液温の
上昇に伴い、気化した処理液中のアルコール分を
凝縮して反応槽１に還流させるようにするととも
に、当該導出ライン３の先端に分析装置１６（具
体的には、ガスクロマトグラフ）を付設して、処
理済みガス中の上記水素化物の残留濃度を測定す
るように構成してある。
ンサー１５を介装して、反応熱による処理液温の
上昇に伴い、気化した処理液中のアルコール分を
凝縮して反応槽１に還流させるようにするととも
に、当該導出ライン３の先端に分析装置１６（具
体的には、ガスクロマトグラフ）を付設して、処
理済みガス中の上記水素化物の残留濃度を測定す
るように構成してある。
因みに、除害実験は、アルコールと酸化剤の組
成及び組み合わせを種々に変化させた処理液を反
応槽に収容し、SiH4、AsH3、PH3或いはB2H6
を含む除害対象ガスを各々上記反応槽に流し続け
て、ガス導出ラインでの水素化物の残留濃度を測
定して、各処理液における水素化物の除去率を算
出した。
成及び組み合わせを種々に変化させた処理液を反
応槽に収容し、SiH4、AsH3、PH3或いはB2H6
を含む除害対象ガスを各々上記反応槽に流し続け
て、ガス導出ラインでの水素化物の残留濃度を測
定して、各処理液における水素化物の除去率を算
出した。
尚、この除去率の算出は、導入ガスラインに含
まれる各水素化物のppm濃度に対する導出ガスラ
インの上記残留ppm濃度比に基づいて行つた。
まれる各水素化物のppm濃度に対する導出ガスラ
インの上記残留ppm濃度比に基づいて行つた。
実験例 １
87.5vol％のｎ−プロピルアルコールに硝酸銅
を6.9wt％の割合で混合した処理液90を反応槽
１に収容し、流量を0.3，1.0及び6.0m3／hrの各値
に設定し、入口ガス濃度を50〜3000ppmに変化さ
せた（即ち、N2ガスで当該濃度に希釈した）
SiH4ガスを反応槽１に流して、導出ライン３で
のSiH4濃度を測定した。
を6.9wt％の割合で混合した処理液90を反応槽
１に収容し、流量を0.3，1.0及び6.0m3／hrの各値
に設定し、入口ガス濃度を50〜3000ppmに変化さ
せた（即ち、N2ガスで当該濃度に希釈した）
SiH4ガスを反応槽１に流して、導出ライン３で
のSiH4濃度を測定した。
第２図はその結果を示す図表であつて、0.3
m3／hrでは入口濃度500ppmまでなら除去率は検
出限界以下を示し、1.0m3／hrで且つ3000ppmの
大流量、高濃度の場合でも99％以上の除去率を確
保できることが判る。
m3／hrでは入口濃度500ppmまでなら除去率は検
出限界以下を示し、1.0m3／hrで且つ3000ppmの
大流量、高濃度の場合でも99％以上の除去率を確
保できることが判る。
また、流量が6.0m3／hrの大きな値を示すとき
には、SiH4の入口濃度が低いほど除去率が小さ
くなることが判るが、50ppmの入口濃度でも略80
％の除去率が得られる。
には、SiH4の入口濃度が低いほど除去率が小さ
くなることが判るが、50ppmの入口濃度でも略80
％の除去率が得られる。
実験例 ２
上記実験例１と同様の処理液を用い、AsH3ガ
スとPH3ガスの入口濃度を50ppmに設定し、その
各流量を0.3〜20.0m3／hrに変化させて、当該両
ガスの場合の出口ガス濃度を測定した。
スとPH3ガスの入口濃度を50ppmに設定し、その
各流量を0.3〜20.0m3／hrに変化させて、当該両
ガスの場合の出口ガス濃度を測定した。
第３図はその結果を示す図表であつて、PH3の
除去率は全ての流量において、検出限界以下を示
すことが判る。
除去率は全ての流量において、検出限界以下を示
すことが判る。
また、AsH3の除去率は、0.3〜6.0m3／hrの流
量ではやはり検出限界以下となり、10m3／hrでは
98.0％、20m3／hrの大流量でも96.0％を示してき
わめて実用的であることが判る。
量ではやはり検出限界以下となり、10m3／hrでは
98.0％、20m3／hrの大流量でも96.0％を示してき
わめて実用的であることが判る。
実験例 ３
75.0vol％のメタノールに硝酸銅を1.0wt％の割
合で混合した処理液90を反応槽１に収容し、ガ
ス流量１m3／hrで入口ガス濃度を7.4ppmに設定
したSiH4及び同ガス流量で入口ガス濃度を
20ppmに設定したAsH3、PH3、B2H6の各水素化
物系ガスを反応槽１に流して、導出ライン３での
出口ガス濃度を夫々測定した。
合で混合した処理液90を反応槽１に収容し、ガ
ス流量１m3／hrで入口ガス濃度を7.4ppmに設定
したSiH4及び同ガス流量で入口ガス濃度を
20ppmに設定したAsH3、PH3、B2H6の各水素化
物系ガスを反応槽１に流して、導出ライン３での
出口ガス濃度を夫々測定した。
実験例 ４
つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
メタノール水溶液 75.0vol％
硝酸銅 6.0wt％
実験例 ５
つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
メタノール水溶液 75.0vol％
硝酸銅 50.0wt％
実験例 ６
つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
メタノール水溶液 75.0vol％
硝酸銅 6.0wt％
塩化ナトリウム 2.0wt％
実験例 ７
つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
メタノール水溶液 75.0vol％
硝酸銀 5.3wt％
実験例 ８
つぎの組成の処理液を使用し、残りの要素を上
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
記実験例３と同条件に設定して出口ガス濃度の測
定を行つた。
エタノール水溶液 82.0vol％
硝酸銀 5.3wt％
但し、冒述の従来技術に対応する75vol％メタ
ノール水溶液に1wt％のNaOHを添加した混合液
を比較例１とし、メタノール75vol％水溶液を比
較例２とし、硝酸銅6.0wt％水溶液を比較例３と
して、上記実験例３〜８と同条件で水素化物系ガ
スに対する残留濃度を測定して、本発明の処理液
との間で比較実験を行つた。
ノール水溶液に1wt％のNaOHを添加した混合液
を比較例１とし、メタノール75vol％水溶液を比
較例２とし、硝酸銅6.0wt％水溶液を比較例３と
して、上記実験例３〜８と同条件で水素化物系ガ
スに対する残留濃度を測定して、本発明の処理液
との間で比較実験を行つた。
第４図は上記実験例３〜８の結果を示す図表で
あつて、処理液をメタノールと硝酸銅との組み合
わせにした場合、硝酸銅を1.0wt％から6.0wt％に
増やすとSiH4、AsH3、PH3、B2H6の除去率は
夫々向上するが、硝酸銅を50wt％に大幅に増加
させると各除去率は逆に減少してしまう（実験例
３〜５を参照）。
あつて、処理液をメタノールと硝酸銅との組み合
わせにした場合、硝酸銅を1.0wt％から6.0wt％に
増やすとSiH4、AsH3、PH3、B2H6の除去率は
夫々向上するが、硝酸銅を50wt％に大幅に増加
させると各除去率は逆に減少してしまう（実験例
３〜５を参照）。
また、上記処理液に塩化ナトリウムを添加する
と、各除去率は向上する（実験例４→実験例６を
参照）。
と、各除去率は向上する（実験例４→実験例６を
参照）。
一方、酸化剤を硝酸銅から硝酸銀に、また、ア
ルコールをメタノールからエタノールに各々代え
ると、やはり除去率は向上する（実験例４→実験
例７及び実験例７→実験例８を参照）。
ルコールをメタノールからエタノールに各々代え
ると、やはり除去率は向上する（実験例４→実験
例７及び実験例７→実験例８を参照）。
これに対して、比較例２のアルコール単独水溶
液では、SiH4の除去率は略33％の低い数値しか
示さない。
液では、SiH4の除去率は略33％の低い数値しか
示さない。
また、比較例３の硝酸銅単独水溶液では、
AsH3の除去率は22.0％でしかない。
AsH3の除去率は22.0％でしかない。
さらに、比較例１の（即ち、冒述の従来技術に
相当する）アルカリとアルコールとの混合溶液で
は、SiH4の除去率こそ95％に達するが、AsH3の
除去率は0.7％、PH3のそれは3.0％でしかなく、
これらの水素化物はほとんど除去できないことが
判る。
相当する）アルカリとアルコールとの混合溶液で
は、SiH4の除去率こそ95％に達するが、AsH3の
除去率は0.7％、PH3のそれは3.0％でしかなく、
これらの水素化物はほとんど除去できないことが
判る。
従つて、本発明の除害方法においては、アルコ
ールと酸化剤とが相乗的に作用してSiH4、AsH3
などの水素化物系ガスを分解することが判る。
ールと酸化剤とが相乗的に作用してSiH4、AsH3
などの水素化物系ガスを分解することが判る。
＜発明の効果＞
シラン系ガスだけでなく、従来技術のアルコー
ルとアルカリ混合溶液では除去の難しかつたアル
シン、ホスフイン、ジボランなどの広い範囲に亘
る水素化物系有害ガスを、効率良く除害できるの
で、半導体製造工場などからの廃ガス処理に対す
る実用性がきわめて高い。
ルとアルカリ混合溶液では除去の難しかつたアル
シン、ホスフイン、ジボランなどの広い範囲に亘
る水素化物系有害ガスを、効率良く除害できるの
で、半導体製造工場などからの廃ガス処理に対す
る実用性がきわめて高い。
そのうえ、本発明では、一段処理で有害水素化
物系ガスを有効に除去できるので、組成の異なる
処理液を充填した処理槽を複数設けてこれらの処
理槽に順番に廃ガスを通す複数段処理を行う必要
はなく、処理装置を簡略にして安価に実施でき
る。
物系ガスを有効に除去できるので、組成の異なる
処理液を充填した処理槽を複数設けてこれらの処
理槽に順番に廃ガスを通す複数段処理を行う必要
はなく、処理装置を簡略にして安価に実施でき
る。
第１図は本発明の除害実験装置の概略系統図、
第２図は除害実験例１の結果を示す図表、第３図
は除害実験例２の結果を示す図表、第４図は除害
実験例３〜８の結果を示す図表である。 １……反応槽、２……除害対象ガス導入ライ
ン、３……処理済みガス導出ライン、４……水素
化物系ガス供給ライン、５……N2ガス供給ライ
ン、１４……水封式真空ポンプ、１５……コンデ
ンサ、１６……分析装置、１７……処理液循環ラ
イン、２０……循環ポンプ。
第２図は除害実験例１の結果を示す図表、第３図
は除害実験例２の結果を示す図表、第４図は除害
実験例３〜８の結果を示す図表である。 １……反応槽、２……除害対象ガス導入ライ
ン、３……処理済みガス導出ライン、４……水素
化物系ガス供給ライン、５……N2ガス供給ライ
ン、１４……水封式真空ポンプ、１５……コンデ
ンサ、１６……分析装置、１７……処理液循環ラ
イン、２０……循環ポンプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 水素化物系の有害ガスを含有する廃ガスを処
理液に接触させて、その有害ガスの濃度を低減す
る水素化物系廃ガスの除害方法において、処理液
が酸化剤を含むアルコール溶液であることを特徴
とする水素化物系廃ガスの除害方法。 ２ アルコールがｎ−プロピルアルコール、ｎ−
ブチルアルコール、エチルアルコール、メチルア
ルコールからなる群より選ばれた直鎖状脂肪族ア
ルコールの少なくとも一種であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の水素化物系廃ガ
スの除害方法。 ３ 酸化剤が、硝酸銀、硝酸銅、硝酸カリウム或
いは硝酸ナトリウムなどの硝酸塩、塩化第二鉄、
過マンガン酸カリウム、ペルオキソ硫酸カリウ
ム、塩素酸ナトリウム、過塩素酸ナトリウム或い
は臭素酸カリウムのうちの少なくとも一種である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１又は第２項
に記載の水素化物系廃ガスの除害方法。 ４ 処理液が硝酸銅を含有するｎ−プロピルアル
コール溶液であることを特徴とする特許請求の範
囲第３項に記載の水素化物系廃ガスの除害方法。 ５ 水素化物系の有毒ガスがアルシン、ホスフイ
ン、シラン或いはジボランのうちの少なくとも一
種であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
〜第４項のいずれか１項に記載の水素化物系廃ガ
スの除害方法。 ６ 処理液に塩化ナトリウムを加えることを特徴
とする特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれか
１項に記載の水素化物系廃ガスの除害方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308414A JPH01148331A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 水素化物系廃ガスの除害方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308414A JPH01148331A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 水素化物系廃ガスの除害方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148331A JPH01148331A (ja) | 1989-06-09 |
| JPH031052B2 true JPH031052B2 (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=17980770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62308414A Granted JPH01148331A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 水素化物系廃ガスの除害方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01148331A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020081940A (ko) * | 2001-04-20 | 2002-10-30 | 조규만 | 과산화수소, 알코올 또는 과산화수소수와 알코올의혼합물을 이용한 질소산화물 저감 및 처리 방법 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP62308414A patent/JPH01148331A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01148331A (ja) | 1989-06-09 |
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