JPH01149018A - 音響光学素子 - Google Patents
音響光学素子Info
- Publication number
- JPH01149018A JPH01149018A JP62309126A JP30912687A JPH01149018A JP H01149018 A JPH01149018 A JP H01149018A JP 62309126 A JP62309126 A JP 62309126A JP 30912687 A JP30912687 A JP 30912687A JP H01149018 A JPH01149018 A JP H01149018A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection film
- film
- faces
- acousto
- light
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は音響光学素子に関するものである。
従来の技術
従来、この種の音響光学素子は、第２図に示すような構
成であった。第２図において、２１は音響光学媒体であ
シ、その一端面２１ａには電気信号源（例えば発振器）
２２に接続されたトランスジューサ２３が取付けられる
とともに、他端面２１ｂには吸音材２４が取付けられて
いる。
成であった。第２図において、２１は音響光学媒体であ
シ、その一端面２１ａには電気信号源（例えば発振器）
２２に接続されたトランスジューサ２３が取付けられる
とともに、他端面２１ｂには吸音材２４が取付けられて
いる。
上記構成において、電気信号源２２からトランスジュー
サ２３に［完信号が加えられると、ここで超音波２５が
発生し、音響光学媒体２１の中を吸音材２４に向って進
行する。このとき、音響光学媒体２１の光入射面２１ｃ
から入射された入射光２６は、音響光学素子によシ回折
されて光出射面２１ｄよシ回折光２７として出射される
。なお、２８は非回折光である。
サ２３に［完信号が加えられると、ここで超音波２５が
発生し、音響光学媒体２１の中を吸音材２４に向って進
行する。このとき、音響光学媒体２１の光入射面２１ｃ
から入射された入射光２６は、音響光学素子によシ回折
されて光出射面２１ｄよシ回折光２７として出射される
。なお、２８は非回折光である。
発明が解決しょうとする問題点
このような従来の構成では音響光学素子を用いて回折さ
せた光のパワーをモニターし、音響光学素子にフィード
バックして強度変調し、レーザ光量を一定に保つ場合入
射光をビームスプリッタなどで一部分割して光ｉｔ−モ
ニターしなければならず、光学系も大きくなり、コスト
高になるという問題があった。
せた光のパワーをモニターし、音響光学素子にフィード
バックして強度変調し、レーザ光量を一定に保つ場合入
射光をビームスプリッタなどで一部分割して光ｉｔ−モ
ニターしなければならず、光学系も大きくなり、コスト
高になるという問題があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、音響光学
媒体自体に部分反射膜を設け、光量モニター用ビーム１
導き出すことを目的とするものである。
媒体自体に部分反射膜を設け、光量モニター用ビーム１
導き出すことを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明の音響光学素子は、
音響光学媒体に超音波を発生させるトランスジューサを
設けるとともに、この音響光学媒体の光入射面に対向す
る面を多面となし、この多面のうち一面に部分反射膜を
設けるとともに残シの面に全反射膜を設けたものである
。
音響光学媒体に超音波を発生させるトランスジューサを
設けるとともに、この音響光学媒体の光入射面に対向す
る面を多面となし、この多面のうち一面に部分反射膜を
設けるとともに残シの面に全反射膜を設けたものである
。
作用
上記構成において、回折光の一部は部分反射膜より出射
し、この回折光の光量をモニターすることができる。し
たがって、この情報を音響光学素子にフィードバックし
てレーザ光ｉｔ安定化でき、外部にビームスプリッタな
どの光学部品を使用する必要がなく、光学系も小さくな
シ、低コスト化が図れることとなる。さらに、部分反射
膜、全反射膜の作製は誘電体多層膜や金属膜を用いて膜
厚の制御のみで可能であるので作業性も良く、さらに低
コスト化が行なえることとなる。・実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき、説明する。
し、この回折光の光量をモニターすることができる。し
たがって、この情報を音響光学素子にフィードバックし
てレーザ光ｉｔ安定化でき、外部にビームスプリッタな
どの光学部品を使用する必要がなく、光学系も小さくな
シ、低コスト化が図れることとなる。さらに、部分反射
膜、全反射膜の作製は誘電体多層膜や金属膜を用いて膜
厚の制御のみで可能であるので作業性も良く、さらに低
コスト化が行なえることとなる。・実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき、説明する。
第１図は音響光学素子の概略構成を示すものである。第
１図において、１は音響光学媒体で、その一端面１ａに
は電気信号源（例えば発振ｕ）２に接続されて超音波を
発生させるトランスジューサ３が装着されるとともに他
端面１ｂには吸音材４が設けられている。そして、上記
一端面１ａに垂直な一側面１ｃが光入射面とされるとと
もに、この光入射面に対向する他側部は山形状に突出さ
れて２個の他側面１ｄ 、 ｌｅが形成されている。す
なわち、２個の他側面１ｄ 、 ｌｅは光入射面に対し
て互いに対称に傾斜させられている。そして、このうち
一方の面１ｄには部分反射膜５が設けられるとともに、
他方の面１ｅには全反射膜６が設けられている。
１図において、１は音響光学媒体で、その一端面１ａに
は電気信号源（例えば発振ｕ）２に接続されて超音波を
発生させるトランスジューサ３が装着されるとともに他
端面１ｂには吸音材４が設けられている。そして、上記
一端面１ａに垂直な一側面１ｃが光入射面とされるとと
もに、この光入射面に対向する他側部は山形状に突出さ
れて２個の他側面１ｄ 、 ｌｅが形成されている。す
なわち、２個の他側面１ｄ 、 ｌｅは光入射面に対し
て互いに対称に傾斜させられている。そして、このうち
一方の面１ｄには部分反射膜５が設けられるとともに、
他方の面１ｅには全反射膜６が設けられている。
以上の工うに構成され友音響光学素子について、以下そ
の動作を説明する。
の動作を説明する。
光入射面よシ入射した入射光１１は、音響光学媒体１の
内部でトランスジュー＋ｔ、３から発生する超音波１２
による音響光学効果により回折される。そして、回折光
１３は部分反射膜５でその一部１３ａが透過し、透過し
ない反射回折光１３ｂは全反射［６で再び反射され、光
入射面より出射する。ところで、部分反射膜５を透過し
ｔ透過回折光１３ａは、その光量がモニターされ、この
情報が音響光学素子にフィードバックされて、レーザ光
量が一定に保つように制御される。このため、外部にビ
ームスプリッタなどの部品を使用する仁ともなく、空間
を有効に利用したコンパクトな光学系にでき、低コスト
化が図れることとなる。ま几、部分反射膜５、全反射膜
６は作製する際に、誘電体多層膜や金属膜にて作製し、
その膜厚を制御するだけで、作製可能であるので、作業
が容易で、低コスト化が行える。なお、非回折光１４も
一部１４ａが部分反射膜５で透過し、伐り１４ｂは全反
射膜６で反射される。
内部でトランスジュー＋ｔ、３から発生する超音波１２
による音響光学効果により回折される。そして、回折光
１３は部分反射膜５でその一部１３ａが透過し、透過し
ない反射回折光１３ｂは全反射［６で再び反射され、光
入射面より出射する。ところで、部分反射膜５を透過し
ｔ透過回折光１３ａは、その光量がモニターされ、この
情報が音響光学素子にフィードバックされて、レーザ光
量が一定に保つように制御される。このため、外部にビ
ームスプリッタなどの部品を使用する仁ともなく、空間
を有効に利用したコンパクトな光学系にでき、低コスト
化が図れることとなる。ま几、部分反射膜５、全反射膜
６は作製する際に、誘電体多層膜や金属膜にて作製し、
その膜厚を制御するだけで、作製可能であるので、作業
が容易で、低コスト化が行える。なお、非回折光１４も
一部１４ａが部分反射膜５で透過し、伐り１４ｂは全反
射膜６で反射される。
ところで、上記実施例においては、光入射面に対向する
面を２面としたが、例えば３面まｔはそれ以上に形成し
てもよい。この場合、−面に部分反射膜が設けられ、伐
シの面に全反射膜が設けられる。
面を２面としたが、例えば３面まｔはそれ以上に形成し
てもよい。この場合、−面に部分反射膜が設けられ、伐
シの面に全反射膜が設けられる。
発明の効果
上記本発明の構成によれば、音響光学媒体の光入射面に
対向する面を多面と々し、この多面のうち一面に部分反
射膜を設けるとともに残りの面に全反射膜を設は友ので
、回折光の一部を取り出してその光景をモニターするこ
とができ、したがって外部にビームスプリッタなどの部
品を使用することなくレーザ光量を一定に制御すること
ができるので、作製が容易でコンパクトな光学系が組め
るとともに低コスト化を図ることができる。
対向する面を多面と々し、この多面のうち一面に部分反
射膜を設けるとともに残りの面に全反射膜を設は友ので
、回折光の一部を取り出してその光景をモニターするこ
とができ、したがって外部にビームスプリッタなどの部
品を使用することなくレーザ光量を一定に制御すること
ができるので、作製が容易でコンパクトな光学系が組め
るとともに低コスト化を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例における音響光学素子の概略
構成図、第２図は従来例の音響光学素子の概略構成図で
ある。 １・・・音響光学媒体、ｌｄ 、 ｌｅ・・・他側面、
３・・・トランスジューサ、５・・・部分反射膜、６・
・・全反射膜、１１・・・入射光、１３・・・回折光。 代理人 森 木 義 弘
構成図、第２図は従来例の音響光学素子の概略構成図で
ある。 １・・・音響光学媒体、ｌｄ 、 ｌｅ・・・他側面、
３・・・トランスジューサ、５・・・部分反射膜、６・
・・全反射膜、１１・・・入射光、１３・・・回折光。 代理人 森 木 義 弘
Claims (1)
- １、音響光学媒体に超音波を発生させるトランスジユー
サを設けるとともに、この音響光学媒体の光入射面に対
向する面を多面となし、この多面のうち一面に部分反射
膜を設けるとともに残りの面に全反射膜を設けた音響光
学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309126A JPH01149018A (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 音響光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309126A JPH01149018A (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 音響光学素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01149018A true JPH01149018A (ja) | 1989-06-12 |
Family
ID=17989205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62309126A Pending JPH01149018A (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 音響光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01149018A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1027756A4 (en) * | 1997-10-30 | 2001-01-10 | Zygo Corp | APPARATUS FOR PRODUCING ORTHOGONALLY POLARIZED BEAMS HAVING DIFFERENT FREQUENCIES |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP62309126A patent/JPH01149018A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1027756A4 (en) * | 1997-10-30 | 2001-01-10 | Zygo Corp | APPARATUS FOR PRODUCING ORTHOGONALLY POLARIZED BEAMS HAVING DIFFERENT FREQUENCIES |
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