JPH0114919Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0114919Y2 JPH0114919Y2 JP1981144361U JP14436181U JPH0114919Y2 JP H0114919 Y2 JPH0114919 Y2 JP H0114919Y2 JP 1981144361 U JP1981144361 U JP 1981144361U JP 14436181 U JP14436181 U JP 14436181U JP H0114919 Y2 JPH0114919 Y2 JP H0114919Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- piezoelectric element
- plate
- propagator
- element plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02845—Humidity, wetness
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は超音波(弾性波)の伝播特性を利用し
た湿度検知素子に関する。
た湿度検知素子に関する。
第4図には従来のこの種の湿度検知素子が示さ
れている。即ち、この湿度検知素子は、水分の吸
着、吸収により超音波減衰能が変化する超音波伝
播体としての吸水性樹脂フイルム1と、このフイ
ルム1の両側下面に固着されている励起用と検出
用の圧電素子板2,2′と、これら圧電素子板2,
2′の下面に直接固定されてこれら圧電素子板2,
2′を基台4上に支持している一対の支持材3,
3′とを備えている。
れている。即ち、この湿度検知素子は、水分の吸
着、吸収により超音波減衰能が変化する超音波伝
播体としての吸水性樹脂フイルム1と、このフイ
ルム1の両側下面に固着されている励起用と検出
用の圧電素子板2,2′と、これら圧電素子板2,
2′の下面に直接固定されてこれら圧電素子板2,
2′を基台4上に支持している一対の支持材3,
3′とを備えている。
かかる従来の湿度検知素子において、上述した
ように圧電素子板2,2′の下面を支持材3,
3′により直接支持した場合には、励起用圧電素
子板2にて励起された超音波が一方の支持材3、
基台4及び他方の支持材3′をも経由して検出用
圧電素子板2′に伝播するため、吸水性樹脂フイ
ルム1から減衰変化して検出用圧電素子板2′に
直接伝播する湿度検出用の超音波がその影響を受
けてしまい、正確な湿度を検知することができな
かつた。
ように圧電素子板2,2′の下面を支持材3,
3′により直接支持した場合には、励起用圧電素
子板2にて励起された超音波が一方の支持材3、
基台4及び他方の支持材3′をも経由して検出用
圧電素子板2′に伝播するため、吸水性樹脂フイ
ルム1から減衰変化して検出用圧電素子板2′に
直接伝播する湿度検出用の超音波がその影響を受
けてしまい、正確な湿度を検知することができな
かつた。
ところで、超音波は殆んどの物質内を伝播し得
るが、異種の物質間においては両者の音響インピ
ーダンスの差が大きい場合超音波の伝播効率が影
響を受ける。そこで、上記従来の湿度検知素子に
おいて、吸水性樹脂フイルム1の両端を支持材に
より支持することも考えられるが、この場合には
励起用圧電素子板2と支持材との距離がフイルム
1厚程度しか増加しないので減衰距離としては不
充分であるだけでなく伝播効率もそれほど小さく
ならず、このため、やはり超音波が支持材側に伝
播してしまう欠点が免がれない。
るが、異種の物質間においては両者の音響インピ
ーダンスの差が大きい場合超音波の伝播効率が影
響を受ける。そこで、上記従来の湿度検知素子に
おいて、吸水性樹脂フイルム1の両端を支持材に
より支持することも考えられるが、この場合には
励起用圧電素子板2と支持材との距離がフイルム
1厚程度しか増加しないので減衰距離としては不
充分であるだけでなく伝播効率もそれほど小さく
ならず、このため、やはり超音波が支持材側に伝
播してしまう欠点が免がれない。
本考案は上記した点に鑑みてなされたもので、
超音波伝播体から検出用圧電素子板に伝播してく
る湿度検出用の超音波が他経由から伝播してくる
超音波の影響を殆んど受けることがない湿度検知
素子を提供することを目的とする。
超音波伝播体から検出用圧電素子板に伝播してく
る湿度検出用の超音波が他経由から伝播してくる
超音波の影響を殆んど受けることがない湿度検知
素子を提供することを目的とする。
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第1図及び第2図には本考案に係る湿度検知素
子が示され、この湿度検知素子は超音波伝播体と
しての吸水性樹脂フイルム5と、このフイルム5
の下面に固着されている励起用と検出用の圧電素
子板2,2′と、フイルム5を基台4上に支持し
ている一対の支持部材6,6′とを備えている。
子が示され、この湿度検知素子は超音波伝播体と
しての吸水性樹脂フイルム5と、このフイルム5
の下面に固着されている励起用と検出用の圧電素
子板2,2′と、フイルム5を基台4上に支持し
ている一対の支持部材6,6′とを備えている。
上記吸水性樹脂フイルム5は従来よりも長手方
向に大きく形成され、即ちその両端が両圧電素子
板2,2′から離れる方向に延長されている。
向に大きく形成され、即ちその両端が両圧電素子
板2,2′から離れる方向に延長されている。
上記一対の支持部材6,6′は、断面L字状に
形成された板状ばね部材から成り、上記吸水性樹
脂フイルム5に張力を付与した状態で該フイルム
5の両端を支持している。
形成された板状ばね部材から成り、上記吸水性樹
脂フイルム5に張力を付与した状態で該フイルム
5の両端を支持している。
次に、本考案の湿度検知素子の動作を説明す
る。即ち、励起用圧電素子板2に電圧を印加して
超音波を発生させると、この励起された超音波は
フイルム5を伝播して直接検出用圧電素子板2′
に達するが、その一部は支持部材6、基台4及び
支持部材6′を経由して検出用圧電素子板2′に達
する。
る。即ち、励起用圧電素子板2に電圧を印加して
超音波を発生させると、この励起された超音波は
フイルム5を伝播して直接検出用圧電素子板2′
に達するが、その一部は支持部材6、基台4及び
支持部材6′を経由して検出用圧電素子板2′に達
する。
ところが、上述したようにフイルム5の端部を
圧電素子板2から離れる方向に延長し、圧電素子
板2と支持部材6との間の距離を大きくした場合
フイルム5の延長部と支持部材6との音響インピ
ーダンスの差が大きくなり、両者の伝播効率が極
めて小さくなる上に両者間において超音波を減衰
するための距離を充分にとることができる。従つ
て支持部材6,6′及び基台4を経由する超音波
は検出用圧電素子板2′に達するまでに極めて微
弱になるので、検出用圧電素子板2′の出力に殆
んど影響を与えることがない。
圧電素子板2から離れる方向に延長し、圧電素子
板2と支持部材6との間の距離を大きくした場合
フイルム5の延長部と支持部材6との音響インピ
ーダンスの差が大きくなり、両者の伝播効率が極
めて小さくなる上に両者間において超音波を減衰
するための距離を充分にとることができる。従つ
て支持部材6,6′及び基台4を経由する超音波
は検出用圧電素子板2′に達するまでに極めて微
弱になるので、検出用圧電素子板2′の出力に殆
んど影響を与えることがない。
ところで、吸水性樹脂薄板若しくはフイルムの
如き超音波伝播体を伝播する超音波は、伝播体に
少々の撓みがあつても殆んど影響を受けないが、
鋭角で極端な撓みがある場合には影響を受ける。
ところが、本考案の湿度検知素子は、上述したよ
うに弾性を有する支持部材6によりフイルム5を
張力を付与した状態で支持したので、フイルム5
に撓みが生じるのを有効に防止でき、又若し極端
な撓みが生じた場合にはそれを吸収することがで
き、従つて、更に正確な湿度に関する情報を得る
ことができる。
如き超音波伝播体を伝播する超音波は、伝播体に
少々の撓みがあつても殆んど影響を受けないが、
鋭角で極端な撓みがある場合には影響を受ける。
ところが、本考案の湿度検知素子は、上述したよ
うに弾性を有する支持部材6によりフイルム5を
張力を付与した状態で支持したので、フイルム5
に撓みが生じるのを有効に防止でき、又若し極端
な撓みが生じた場合にはそれを吸収することがで
き、従つて、更に正確な湿度に関する情報を得る
ことができる。
第3図には本考案の他の実施例が示されてい
る。即ち、この実施例では、吸水性樹脂フイルム
5の励起用圧電素子板2側端部のみを弾性を有す
る支持部材6により支持し、他端を弾性を有しな
い支持部材7により支持した例が示されている。
勿論上記フイルム5は一定の張力を付与された状
態で支持されている。従つて、この実施例でも上
記したと全く同一の作用、効果を得ることがで
き、またフイルム5の他端を弾性を有しない支持
部材により支持したことから、湿度検知素子の組
み立てが容易になるという利点がある。
る。即ち、この実施例では、吸水性樹脂フイルム
5の励起用圧電素子板2側端部のみを弾性を有す
る支持部材6により支持し、他端を弾性を有しな
い支持部材7により支持した例が示されている。
勿論上記フイルム5は一定の張力を付与された状
態で支持されている。従つて、この実施例でも上
記したと全く同一の作用、効果を得ることがで
き、またフイルム5の他端を弾性を有しない支持
部材により支持したことから、湿度検知素子の組
み立てが容易になるという利点がある。
以上説明したように本考案によれば、超音波伝
播体の励起用圧電素子板側の端部を延長し、該伝
播体の両端若しくはその延長端部のみを、伝播体
に張力を付与した状態で弾性を有する板状支持部
材にて支持したので、支持部材側を経由する超音
波の伝播効率を小さくし、かつこの超音波を減衰
することができ、しかも伝播体に撓みが発生する
のを効果的に防止することができ、従つて正確に
湿度を検知することができる。
播体の励起用圧電素子板側の端部を延長し、該伝
播体の両端若しくはその延長端部のみを、伝播体
に張力を付与した状態で弾性を有する板状支持部
材にて支持したので、支持部材側を経由する超音
波の伝播効率を小さくし、かつこの超音波を減衰
することができ、しかも伝播体に撓みが発生する
のを効果的に防止することができ、従つて正確に
湿度を検知することができる。
第1図及び第2図は本考案に係る湿度検知素子
の平面図と正面図、第3図は本考案の他の実施例
の一部省略正面図、第4図は従来の湿度検知素子
の正面図である。 1,5……吸水性樹脂フイルム、2……励起用
圧電素子板、2′……検出用圧電素子板、3,
3′……支持材、4……基台、6,6′……支持部
材、7……支持部材。尚、図中、同一符号は同一
部分を示す。
の平面図と正面図、第3図は本考案の他の実施例
の一部省略正面図、第4図は従来の湿度検知素子
の正面図である。 1,5……吸水性樹脂フイルム、2……励起用
圧電素子板、2′……検出用圧電素子板、3,
3′……支持材、4……基台、6,6′……支持部
材、7……支持部材。尚、図中、同一符号は同一
部分を示す。
Claims (1)
- 超音波を励起する励起用圧電素子板と、水分の
吸着、吸収により超音波減衰能が変化する吸水性
樹脂薄板若しくはフイルムから成り、前記励起用
圧電素子板が取付けられる薄板状の超音波伝播体
と、該超音波伝播体に取付けられ、前記励起用圧
電素子板により励起されて前記超音波伝播体を伝
播してくる超音波を検出する検出用圧電素子板と
を備える湿度検知素子において、前記超音波伝播
体の励起用圧電素子板側の端部を延長し、該超音
波伝播体の両端若しくは前記延長端部を、前記超
音波伝播体に張力を付与した状態で弾性を有する
板状支持部材にて支持したことを特徴とする湿度
検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14436181U JPS5847761U (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 湿度検知素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14436181U JPS5847761U (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 湿度検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5847761U JPS5847761U (ja) | 1983-03-31 |
| JPH0114919Y2 true JPH0114919Y2 (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=29937325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14436181U Granted JPS5847761U (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 湿度検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847761U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52106787A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | Gas and humidity detection element |
-
1981
- 1981-09-29 JP JP14436181U patent/JPS5847761U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5847761U (ja) | 1983-03-31 |
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