JPH01149459A - カラー固体撮像素子 - Google Patents
カラー固体撮像素子Info
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- JPH01149459A JPH01149459A JP62308138A JP30813887A JPH01149459A JP H01149459 A JPH01149459 A JP H01149459A JP 62308138 A JP62308138 A JP 62308138A JP 30813887 A JP30813887 A JP 30813887A JP H01149459 A JPH01149459 A JP H01149459A
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- JP
- Japan
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- layer
- color
- yellow dye
- light
- flattened
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- AJDUTMFFZHIJEM-UHFFFAOYSA-N n-(9,10-dioxoanthracen-1-yl)-4-[4-[[4-[4-[(9,10-dioxoanthracen-1-yl)carbamoyl]phenyl]phenyl]diazenyl]phenyl]benzamide Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2NC(=O)C(C=C1)=CC=C1C(C=C1)=CC=C1N=NC(C=C1)=CC=C1C(C=C1)=CC=C1C(=O)NC1=CC=CC2=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C2=O AJDUTMFFZHIJEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic radiation-sensitive element covered by group H10K30/00
- H10K39/30—Devices controlled by radiation
- H10K39/32—Organic image sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
- H10K85/652—Cyanine dyes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はカラー固体撮像素子に関し、特に色ムラを低減
し、色再現性を向上させたカラー固体撮像素子に関する
。
し、色再現性を向上させたカラー固体撮像素子に関する
。
一般に、カラー固体撮像素子は、カメラの光学系を介し
て入射された光を赤、青、緑あるいはこれらの補色等に
色分離し、カラー信号を電気信号として取り出すもので
ある。
て入射された光を赤、青、緑あるいはこれらの補色等に
色分離し、カラー信号を電気信号として取り出すもので
ある。
従来、この種のカラー固体撮像素子として、第２図の平
面図および第３図のＡ−Ａ／断面図に示すような構造の
ものがある。との固体撮像素子は、第３図に示すように
、半導体基板１の表面に入射元金光電変換する受光部２
を有し、この受光部２上に層間膜３を介して光の入射光
量に対する開孔を規定するアルミニウム遮光膜４を備え
ている。
面図および第３図のＡ−Ａ／断面図に示すような構造の
ものがある。との固体撮像素子は、第３図に示すように
、半導体基板１の表面に入射元金光電変換する受光部２
を有し、この受光部２上に層間膜３を介して光の入射光
量に対する開孔を規定するアルミニウム遮光膜４を備え
ている。
その上部に基板表面を平滑にするための混色防止層６（
例えばＰＭＭＡ、ＰＧＭＡ、ＧＣＭなどの透明高分子樹
脂膜）を介して所定の形状にバターニングされ染色され
たマゼンダ染色層７ｔ−備えている。この染色層７の染
色母体にはゼラチン、カゼイングルー等の蛋白質、又は
ポリビニルアルコールに重クロム酸塩を添加した水溶性
レジストが用いられる。さらに、混色防止層６を介しシ
アン染色層８を備え、同様に混色防止層６を介してイエ
ロー染色層９を備え、最上層にも混色防止層６を有する
構造となっている。
例えばＰＭＭＡ、ＰＧＭＡ、ＧＣＭなどの透明高分子樹
脂膜）を介して所定の形状にバターニングされ染色され
たマゼンダ染色層７ｔ−備えている。この染色層７の染
色母体にはゼラチン、カゼイングルー等の蛋白質、又は
ポリビニルアルコールに重クロム酸塩を添加した水溶性
レジストが用いられる。さらに、混色防止層６を介しシ
アン染色層８を備え、同様に混色防止層６を介してイエ
ロー染色層９を備え、最上層にも混色防止層６を有する
構造となっている。
この固体撮像素子は、マゼンダ染色層７（Ｍｇ）、シア
ン染色層８（Ｃｙ）およびイエロー染色層９（Ｙｅ）が
、第２図の平面図のように、一定のパターンで配列され
ている。
ン染色層８（Ｃｙ）およびイエロー染色層９（Ｙｅ）が
、第２図の平面図のように、一定のパターンで配列され
ている。
上述した従来のカラー固体撮像素子は、色フィルタを混
色防止膜６を介してアルミニウム遮光膜４の上にパター
ニングしていくため、露光時に光の乱反射を受けて他の
セルにその反射光が影！＃ヲ与え、他のセルにヒゲ状に
像を生成し解像性が悪くなるという欠点がある。そのた
め撮像画面に色ムラを生じ、色再現性が悪くなるという
欠点がある。
色防止膜６を介してアルミニウム遮光膜４の上にパター
ニングしていくため、露光時に光の乱反射を受けて他の
セルにその反射光が影！＃ヲ与え、他のセルにヒゲ状に
像を生成し解像性が悪くなるという欠点がある。そのた
め撮像画面に色ムラを生じ、色再現性が悪くなるという
欠点がある。
本発明の目的は、このような欠点を除き、色フィルタの
解像性を向上させ、その結果として色ムラを低減し、色
再現性全向上させたカラー固体撮像素子を提供すること
になる。
解像性を向上させ、その結果として色ムラを低減し、色
再現性全向上させたカラー固体撮像素子を提供すること
になる。
本発明の構成は、半導体基板上に光電変換機能を有する
受光部と、この受光部に対応する受光位置に平滑層を介
して色フィルタを配置したカラー固体撮像素子において
、前記平滑層にイエロー染料を含むことを特徴とする。
受光部と、この受光部に対応する受光位置に平滑層を介
して色フィルタを配置したカラー固体撮像素子において
、前記平滑層にイエロー染料を含むことを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の部分断面図であり、第３図
に対応する部分を示している。本実施例は、第３図のア
ルミニウム遮光膜４上の一層の混色防止層６を、イエロ
ー染料を含む平滑層５としたことが第３図と相違してい
る。従って、この平滑層５上には、マゼンダ染色層７．
シアン染色層８゜イエロー染色層９が混色防止層６と共
に形成されている。
に対応する部分を示している。本実施例は、第３図のア
ルミニウム遮光膜４上の一層の混色防止層６を、イエロ
ー染料を含む平滑層５としたことが第３図と相違してい
る。従って、この平滑層５上には、マゼンダ染色層７．
シアン染色層８゜イエロー染色層９が混色防止層６と共
に形成されている。
このアルミニウム遮光膜４上のイエロー染料を含む平滑
層５に用いられるイエロー染料は、ステッパーの光源の
波長であるｇ線（４３６ｎｍ）を吸収し、遠紫外線（２
５０ｎｍ）では透過するものを用いている。このため、
色フィルタのパターニングの際にはアルミニツム遮光膜
４の乱反射を抑えることができ、かつ、平滑層５のスル
ーホール形成の際には遠紫外線を用いるため露光時間が
長くなるといった問題を生じない。なお、イエロー染料
を含む平滑層５には混色防止層６と同じ透明高分子樹脂
膜が用いられる。
層５に用いられるイエロー染料は、ステッパーの光源の
波長であるｇ線（４３６ｎｍ）を吸収し、遠紫外線（２
５０ｎｍ）では透過するものを用いている。このため、
色フィルタのパターニングの際にはアルミニツム遮光膜
４の乱反射を抑えることができ、かつ、平滑層５のスル
ーホール形成の際には遠紫外線を用いるため露光時間が
長くなるといった問題を生じない。なお、イエロー染料
を含む平滑層５には混色防止層６と同じ透明高分子樹脂
膜が用いられる。
以上説明したように本発明は、アルミニウム遮光膜４の
上部にイエロー染料を含む平滑層５を有することにより
、その上部に形成する色フィルタのパターニングの際に
アルミニウムによる乱反射が少なくなシ、解像性が向上
し、ひげがなくなり、従って色ムラが低減し、色再現性
が向上できるという効果がある。
上部にイエロー染料を含む平滑層５を有することにより
、その上部に形成する色フィルタのパターニングの際に
アルミニウムによる乱反射が少なくなシ、解像性が向上
し、ひげがなくなり、従って色ムラが低減し、色再現性
が向上できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例のカラー固体撮像素子の断面
図、第２図は従来のカラー固体撮像素子の一例の平面図
、第３図は第２図のＡ−Ａ／断面図である。 １・・・・−・半導体基板、２・・・・・・受光部、３
・・・・・・層間膜、４・・・・・・アルミニウム遮光
膜、５・・・・・・平滑層、６・・・・・・混色防止層
、７・・・・・・マゼンダ染色層、８・・・・・・シア
ン染色層、９・・・・・・イエロー染色層。 代理人 弁理士 内 原 音 殆 １ 口 躬 ２ ロ 第 ３ 図
図、第２図は従来のカラー固体撮像素子の一例の平面図
、第３図は第２図のＡ−Ａ／断面図である。 １・・・・−・半導体基板、２・・・・・・受光部、３
・・・・・・層間膜、４・・・・・・アルミニウム遮光
膜、５・・・・・・平滑層、６・・・・・・混色防止層
、７・・・・・・マゼンダ染色層、８・・・・・・シア
ン染色層、９・・・・・・イエロー染色層。 代理人 弁理士 内 原 音 殆 １ 口 躬 ２ ロ 第 ３ 図
Claims (2)
- （１）半導体基板上に光電変換機能を有する受光部と、
この受光部に対応する受光位置に平滑層を介して色フィ
ルタを配置したカラー固体撮像素子において、前記平滑
層にイエロー染料を含むことを特徴とするカラー固体撮
像素子。 - （２）イエロー染料が近紫外領域で光吸収性をもち、遠
紫外領域で光吸収性をほとんどもたないものである特許
請求の範囲第１項記載のカラー固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308138A JPH01149459A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | カラー固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308138A JPH01149459A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | カラー固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01149459A true JPH01149459A (ja) | 1989-06-12 |
Family
ID=17977347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62308138A Pending JPH01149459A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | カラー固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01149459A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4985089A (en) * | 1987-07-23 | 1991-01-15 | Hitachi Metals, Ltd. | Fe-base soft magnetic alloy powder and magnetic core thereof and method of producing same |
| JPH03180802A (ja) * | 1989-12-01 | 1991-08-06 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH03181904A (ja) * | 1989-12-02 | 1991-08-07 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルター及びその製造方法 |
| JPH0513736A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-22 | Sharp Corp | カラー固体撮像素子 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP62308138A patent/JPH01149459A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4985089A (en) * | 1987-07-23 | 1991-01-15 | Hitachi Metals, Ltd. | Fe-base soft magnetic alloy powder and magnetic core thereof and method of producing same |
| JPH03180802A (ja) * | 1989-12-01 | 1991-08-06 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH03181904A (ja) * | 1989-12-02 | 1991-08-07 | Samsung Electron Co Ltd | カラーフィルター及びその製造方法 |
| JPH0513736A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-22 | Sharp Corp | カラー固体撮像素子 |
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