JPH01150363U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01150363U JPH01150363U JP4625588U JP4625588U JPH01150363U JP H01150363 U JPH01150363 U JP H01150363U JP 4625588 U JP4625588 U JP 4625588U JP 4625588 U JP4625588 U JP 4625588U JP H01150363 U JPH01150363 U JP H01150363U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic deflector
- ion beam
- deflected
- multipole electrostatic
- ion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005405 multipole Effects 0.000 claims description 8
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図はこの考案の実施例を示す概略説明図、
第２図は従来の装置示す概略説明図、第３図は平
行平板電極で偏向されたイオンビームを、第１、
第２の多重極静電偏向器で偏向するときの状態を
示す斜視図、第４図はイオンビームを第１、第２
の多重極静電偏向器で偏向するときの原理を示す
図式図である。 図において、３……加速器、６……第１の多重
極静電偏向器、７……第２の多重極静電偏向器。
第２図は従来の装置示す概略説明図、第３図は平
行平板電極で偏向されたイオンビームを、第１、
第２の多重極静電偏向器で偏向するときの状態を
示す斜視図、第４図はイオンビームを第１、第２
の多重極静電偏向器で偏向するときの原理を示す
図式図である。 図において、３……加速器、６……第１の多重
極静電偏向器、７……第２の多重極静電偏向器。
Claims (1)
- イオン源より引き出されてから加速されていな
いイオンビームを偏向させる第１の多重極静電偏
向器と、この第１の多重極静電偏向器で偏向され
たイオンビームを再び偏向して、出口におけるイ
オンビームの方向と、第１の多重極静電偏向器の
入口におけるイオンビームの方向とを平行にする
第２の多重極静電偏向器と、この第２の多重極静
電偏向器で偏向されたイオンビームを加速する加
速器とを備えたイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4625588U JPH01150363U (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4625588U JPH01150363U (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01150363U true JPH01150363U (ja) | 1989-10-18 |
Family
ID=31272530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4625588U Pending JPH01150363U (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01150363U (ja) |
-
1988
- 1988-04-07 JP JP4625588U patent/JPH01150363U/ja active Pending