JPH01112554U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01112554U JPH01112554U JP801188U JP801188U JPH01112554U JP H01112554 U JPH01112554 U JP H01112554U JP 801188 U JP801188 U JP 801188U JP 801188 U JP801188 U JP 801188U JP H01112554 U JPH01112554 U JP H01112554U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- implantation apparatus
- value
- ion implantation
- filter
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図は、実施例に係るイオン注入装置の加速
管回りを示す概略図である。第２図は、実施例に
係るイオン注入装置の電位分布を示す図である。
第３図は、従来のイオン注入装置の一例を示す概
略図である。第４図は、従来のイオン注入装置の
電位分布を示す図である。 ２……イオン源、８……イオンビーム、１０…
…分析器、１８……加速管、２６……フイルタ電
極、３４ａ……フイルタ電源。
管回りを示す概略図である。第２図は、実施例に
係るイオン注入装置の電位分布を示す図である。
第３図は、従来のイオン注入装置の一例を示す概
略図である。第４図は、従来のイオン注入装置の
電位分布を示す図である。 ２……イオン源、８……イオンビーム、１０…
…分析器、１８……加速管、２６……フイルタ電
極、３４ａ……フイルタ電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 イオン源から引き出したイオンビームを分析器
によつて分析した後加速管によつて加速する構造
のものであつて、加速管の入口部内にフイルタ電
極を設けてこれにフイルタ電源からフイルタ電圧
を印加できるようにしたイオン注入装置において
、前記フイルタ電源からフイルタ電極に印加する
フイルタ電圧ＶＦを、イオン源でのイオンビーム
の引出し電圧をＶＥとした場合、 ０＜ＶＦ＜ＶＥ／２の値とＶＦ＞ＶＥ／２の値
とに切替え可能にしたことを特徴とするイオン注
入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP801188U JPH01112554U (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP801188U JPH01112554U (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112554U true JPH01112554U (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=31213510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP801188U Pending JPH01112554U (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01112554U (ja) |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP801188U patent/JPH01112554U/ja active Pending