JPH01152302A - 形状検出装置 - Google Patents
形状検出装置Info
- Publication number
- JPH01152302A JPH01152302A JP62311073A JP31107387A JPH01152302A JP H01152302 A JPH01152302 A JP H01152302A JP 62311073 A JP62311073 A JP 62311073A JP 31107387 A JP31107387 A JP 31107387A JP H01152302 A JPH01152302 A JP H01152302A
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- Japan
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- circuit
- signal
- disturbance
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Control Of Metal Rolling (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野〕
この発明は、例えば鋼板の熱間圧延工程における圧延時
に生じる鋼板の先端、後端の変形を検出する、形状検出
装置に関するものである。
に生じる鋼板の先端、後端の変形を検出する、形状検出
装置に関するものである。
鋼板の熱間圧延時に生じる鋼板先端の変形は、次段以降
の圧延ロールに不均等な荷重をかけ、ロールの損傷の原
因となったり、不良品を生産する原因となっていた。
の圧延ロールに不均等な荷重をかけ、ロールの損傷の原
因となったり、不良品を生産する原因となっていた。
これを防止するために、従来は作業者が目で観測し適当
なところで切断機を操作して切断していた。
なところで切断機を操作して切断していた。
そのため、鋼板の先端の変形を自動的に検出して、変形
部分の必要最小限の切断を行って当該鋼板を次段のロー
ルへ送り込み、不均等荷重の影響を取り除き、ロールの
損傷を防ぐことを期待して、以下のような形状検出装置
が提案されている。
部分の必要最小限の切断を行って当該鋼板を次段のロー
ルへ送り込み、不均等荷重の影響を取り除き、ロールの
損傷を防ぐことを期待して、以下のような形状検出装置
が提案されている。
第4図は従来の形状検出装置を示すブロック図であり、
1は熱間圧延工程を流れる赤熱した鋼板、2はレンズ、
3はライン状に並べた複数個の光電素子群であり、レン
ズ2を使った光学系によって鋼板1の像が結像される。
1は熱間圧延工程を流れる赤熱した鋼板、2はレンズ、
3はライン状に並べた複数個の光電素子群であり、レン
ズ2を使った光学系によって鋼板1の像が結像される。
4は光電素子3が鋼板の温度に比例して発生した出力を
増幅する増幅器であって、上記レンズ2、光電素子群3
とで検出手段を構成している。
増幅する増幅器であって、上記レンズ2、光電素子群3
とで検出手段を構成している。
5は増幅器4の出力信号をディジタル量に変換するアナ
ログ・ディジタル変換回路(以下、A/Dと略称する)
である、即ち、鋼板1の像が結像された光電素子3の部
分の出力信号は論理値“1″に、鋼板1の像が結像され
ない光電素子3の部分、の出力信号は論理値“0”とな
る。
ログ・ディジタル変換回路(以下、A/Dと略称する)
である、即ち、鋼板1の像が結像された光電素子3の部
分の出力信号は論理値“1″に、鋼板1の像が結像され
ない光電素子3の部分、の出力信号は論理値“0”とな
る。
6はカウンター回路で構成された板幅測定回路で、A/
D5の論理値“1”出力の数を計数すると、鋼板1の板
幅に相当する測定値が得られる。
D5の論理値“1”出力の数を計数すると、鋼板1の板
幅に相当する測定値が得られる。
8は比較回路で、入力端子7から与えられる板幅基準値
Wと板幅測定回路6から出力された鋼板1の板幅測定値
を比較し、板幅測定値が板幅基準値Wより小さい一定の
許容値内に入った時に切断信号を出力する。
Wと板幅測定回路6から出力された鋼板1の板幅測定値
を比較し、板幅測定値が板幅基準値Wより小さい一定の
許容値内に入った時に切断信号を出力する。
9は切断機制御装置で、前記切断信号が与えられると、
#[板1の先端を切断する。即ち、第5図に示す如く、
鋼板1の中央部の板幅を板幅基準値Wとすると、鋼板先
端部に示した板幅KW (K<1)の位置を検出して切
断することができる。
#[板1の先端を切断する。即ち、第5図に示す如く、
鋼板1の中央部の板幅を板幅基準値Wとすると、鋼板先
端部に示した板幅KW (K<1)の位置を検出して切
断することができる。
従来の形状検出装置は以上のように構成されているので
、鋼板上に発生するスケールや水のりにより鋼板像が不
均一な明るさとなったり、背景や空気中の微粒子による
散乱光のため、鋼板像以外でも明るくなるような場合、
鋼板像のディジタル化に誤差を生じる欠点があった。
、鋼板上に発生するスケールや水のりにより鋼板像が不
均一な明るさとなったり、背景や空気中の微粒子による
散乱光のため、鋼板像以外でも明るくなるような場合、
鋼板像のディジタル化に誤差を生じる欠点があった。
このような従来のものの欠点を除去するために、アナロ
グ鋼板像信号を多値で量子化してメモリへ記憶せしめ、
任意方向の積分、濃度ヒストグラム処理から閾値を求め
て2値化することにより、スケール、水のり信号を除去
し、散乱光信号と鋼板像信号を分離して誤動作のない形
状検出を行う形状検出装置として、第6図に示すものが
考えられた。
グ鋼板像信号を多値で量子化してメモリへ記憶せしめ、
任意方向の積分、濃度ヒストグラム処理から閾値を求め
て2値化することにより、スケール、水のり信号を除去
し、散乱光信号と鋼板像信号を分離して誤動作のない形
状検出を行う形状検出装置として、第6図に示すものが
考えられた。
第6図において、前記第4図と同一部分には同一符号を
付し、10はアナログで得られた鋼板像信号を多値で量
子化する量子化回路、11は量子化された鋼板像信号を
記憶するメモリ、12はメモリ11に記憶された鋼板像
信号を読み出し、ll板の2次元方向に対して任意の方
向に積分し、再びメモリへ格納する積分回路、13は積
分された鋼板像信号から濃度ヒストグラムを作成し、そ
の濃度ヒストグラムの形状から2値化レベルを決めて鋼
板像のみを抽出する2値化回路、14は鋼板1が検出領
域で一定距離進行する毎に発生する駆動信号Pを受けて
光電素子群3を走査し出力を送出させる走査回路、21
は一板1の両側に位置し、幅方向の移行を規制して鋼板
1を切断機の中心に持っていくサイドガイドである。
付し、10はアナログで得られた鋼板像信号を多値で量
子化する量子化回路、11は量子化された鋼板像信号を
記憶するメモリ、12はメモリ11に記憶された鋼板像
信号を読み出し、ll板の2次元方向に対して任意の方
向に積分し、再びメモリへ格納する積分回路、13は積
分された鋼板像信号から濃度ヒストグラムを作成し、そ
の濃度ヒストグラムの形状から2値化レベルを決めて鋼
板像のみを抽出する2値化回路、14は鋼板1が検出領
域で一定距離進行する毎に発生する駆動信号Pを受けて
光電素子群3を走査し出力を送出させる走査回路、21
は一板1の両側に位置し、幅方向の移行を規制して鋼板
1を切断機の中心に持っていくサイドガイドである。
次に動作について説明する。N個の光電素子から成る光
電素子群3の出力(以後ビデオ信号と称する)は、鋼板
1が該鋼板の横(板幅)方向に対する視野を一定距離矢
印方向に進む毎に、走査回路14により、1回ずつ走査
されて読み出される。
電素子群3の出力(以後ビデオ信号と称する)は、鋼板
1が該鋼板の横(板幅)方向に対する視野を一定距離矢
印方向に進む毎に、走査回路14により、1回ずつ走査
されて読み出される。
このビデオ信号は増幅器4を介し、量子化回路10によ
り多値の量子化レベルを持つディジタル信号に変換され
、上記走査順にメモリ11内に記憶される。
り多値の量子化レベルを持つディジタル信号に変換され
、上記走査順にメモリ11内に記憶される。
この動作は、以前に設定される検出視野と走査間隔から
割り出される走査回数M回だけ行なわれ、この結果1例
えばメモリ11には第7図(a)に示すようなビデオ画
像が記憶される。
割り出される走査回数M回だけ行なわれ、この結果1例
えばメモリ11には第7図(a)に示すようなビデオ画
像が記憶される。
しかし、外乱成分であるスケールまたは水のり(イ)、
散乱(ロ)のため生じる信号が混在していて9例えば走
査線部(ハ)におけるビデオ信号は第7図(b)のよう
になり、固定の閾値(ニ)。
散乱(ロ)のため生じる信号が混在していて9例えば走
査線部(ハ)におけるビデオ信号は第7図(b)のよう
になり、固定の閾値(ニ)。
(ホ)等で2値化したのでは誤差が大きくなる。
また、一般的な2値化の手法として用いられている濃度
ヒストグラムにより閾値を決定する方法を適用しても、
スケールや水のりかない場合には第8図(a)のごとく
散乱による信号の分布と鋼板像信号の分布が明確に分離
でき、破線で示すような閾値が決定できるが、スケール
や水のりがある場合には、鋼板1の表面温度が低下し、
第8図(b)のごとく鋼板像信号の分布が低温側にのび
て、散乱による信号の分布と重なるので両者間の分離が
できなくなる。
ヒストグラムにより閾値を決定する方法を適用しても、
スケールや水のりかない場合には第8図(a)のごとく
散乱による信号の分布と鋼板像信号の分布が明確に分離
でき、破線で示すような閾値が決定できるが、スケール
や水のりがある場合には、鋼板1の表面温度が低下し、
第8図(b)のごとく鋼板像信号の分布が低温側にのび
て、散乱による信号の分布と重なるので両者間の分離が
できなくなる。
そこでこの形状検出装置では、積分回路12によりビデ
オ画像を積分することにより、スケール、水のり信号を
除去している。これは、スケールや水のりのために、ビ
デオ信号のレベルが低下するのを補完している。
オ画像を積分することにより、スケール、水のり信号を
除去している。これは、スケールや水のりのために、ビ
デオ信号のレベルが低下するのを補完している。
第9図(a)は積分回路12の回路図、同図(b)はビ
デオ画像を示す図、同図(0)、(d)。
デオ画像を示す図、同図(0)、(d)。
(e)はそれぞれ信号波形図で、原信号(へ)と積分信
号(ト)の差を求め、積分信号(ト)が大きい場合、即
ち原信号(へ)のデイツプが深い場合のみ原信号(へ)
を差信号で補完した信号(チ)を出力するように構成し
たものである。
号(ト)の差を求め、積分信号(ト)が大きい場合、即
ち原信号(へ)のデイツプが深い場合のみ原信号(へ)
を差信号で補完した信号(チ)を出力するように構成し
たものである。
しかし、このような補完を施すと、積分信号(ト)が原
信号(へ)より遅延することによる歪が生じる。
信号(へ)より遅延することによる歪が生じる。
第10図はこれを説明するためのビデオ信号波形図で、
メモリ11に記憶されているビデオ画像を矢印(す)方
向に順次読み出した場合、出力信号(チ)の波形は破線
で示したようになる。これは鋼板の先端(又は後端)の
凹みの部分で積分信号(ト)の方が原信号(へ)よりも
大きくなるため、補完されることによるものである。
メモリ11に記憶されているビデオ画像を矢印(す)方
向に順次読み出した場合、出力信号(チ)の波形は破線
で示したようになる。これは鋼板の先端(又は後端)の
凹みの部分で積分信号(ト)の方が原信号(へ)よりも
大きくなるため、補完されることによるものである。
そこで、このような誤差を解消するために、積分器12
では第11図に示すごとく、ビデオ画像を幅方向に中央
で分割し、左側および右側でそれぞれ積分方向を矢印(
ヌ)と(ル)のようにその向をかえている。
では第11図に示すごとく、ビデオ画像を幅方向に中央
で分割し、左側および右側でそれぞれ積分方向を矢印(
ヌ)と(ル)のようにその向をかえている。
具体的にはメモリ11に記憶されているビデオ画像を矢
印(ヌ)、(ル)の方向に順次読み出すと同時に積分回
路12で積分し、積分結果を再びメモリ11に順次記憶
することにより、補完されたビデオ画像を得ている。
印(ヌ)、(ル)の方向に順次読み出すと同時に積分回
路12で積分し、積分結果を再びメモリ11に順次記憶
することにより、補完されたビデオ画像を得ている。
積分方向(ヌ)と(ル)は対象鋼板1の形状により決め
られ、回路構成上は45度の角度が有利であるが、他の
角度でもよい。2値化回路13は上述したスケール、水
のり信号の除去された出力信号(チ)から前述した濃度
ヒストグラムを求める。
られ、回路構成上は45度の角度が有利であるが、他の
角度でもよい。2値化回路13は上述したスケール、水
のり信号の除去された出力信号(チ)から前述した濃度
ヒストグラムを求める。
この濃度ヒストグラムは第8図(a)に示すような形状
になり、同図の破線で示すように鋼板部。
になり、同図の破線で示すように鋼板部。
散乱部それぞれの分布による2つの山の間の谷の部分に
閾値を決めることができる。2値化後は前記第4図の装
置について述べたと同様にして、切断機制御装置9から
切断信号が送出される。
閾値を決めることができる。2値化後は前記第4図の装
置について述べたと同様にして、切断機制御装置9から
切断信号が送出される。
従来の形状検出装置は以上のように構成されているので
、鋼板上に発生するスケールや水のり(イ)及び散乱光
による外乱信号(ロ)については、誤差を生じない鋼板
像を抽出できるが、サイドガイドからの反射光による外
乱に対しては、正確な鋼板像が抽出できなくなるなどの
問題点があった。
、鋼板上に発生するスケールや水のり(イ)及び散乱光
による外乱信号(ロ)については、誤差を生じない鋼板
像を抽出できるが、サイドガイドからの反射光による外
乱に対しては、正確な鋼板像が抽出できなくなるなどの
問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、サイドガイドなどからの散乱光による外乱信
号を除去し、正確な鋼板像を抽出することのできる形状
検出装置を提供することを目的とする。
たもので、サイドガイドなどからの散乱光による外乱信
号を除去し、正確な鋼板像を抽出することのできる形状
検出装置を提供することを目的とする。
この発明に係る形状検出装置は、鋼板の温度に対応した
電気信号を発生する検出手段からの検出信号を量子化手
段で多値化信号とし、この多値化信号を記憶するメモリ
手段と、前記メモリ手段に記憶された量子化信号中から
サイドガイドからの反射による外乱信号を除去する外乱
除去回路を具備したものである。
電気信号を発生する検出手段からの検出信号を量子化手
段で多値化信号とし、この多値化信号を記憶するメモリ
手段と、前記メモリ手段に記憶された量子化信号中から
サイドガイドからの反射による外乱信号を除去する外乱
除去回路を具備したものである。
この発明における形状検出装置は、外乱除去回路により
、メモリに記憶された鋼板像信号からサイドガイドなど
からの反射による外乱信号が除去されることにより、正
確な鋼板像の抽出を可能とする。
、メモリに記憶された鋼板像信号からサイドガイドなど
からの反射による外乱信号が除去されることにより、正
確な鋼板像の抽出を可能とする。
以下、この発明の一実施例を前記第6図と同一部分に同
一符号を付した第1図について説明する。
一符号を付した第1図について説明する。
第1図において、20はメモリ手段11に記憶された鋼
板像信号からサイドガイド21などからの反射による外
乱信号を除去する外乱除去回路である。
板像信号からサイドガイド21などからの反射による外
乱信号を除去する外乱除去回路である。
次に動作について説明する。いま、第2図(a)のビデ
オ画像の中の外乱成分(オ)は、鋼板1から出る光がサ
イドガイド21で反射して光学素子群3に入力されたも
のであり、その時の走査線部(ハ)におけるビデオ信号
は、第2図(b)のような温度レベルになる。
オ画像の中の外乱成分(オ)は、鋼板1から出る光がサ
イドガイド21で反射して光学素子群3に入力されたも
のであり、その時の走査線部(ハ)におけるビデオ信号
は、第2図(b)のような温度レベルになる。
このような温度レベルのビデオ画像を従来装置のところ
で述べた濃度ヒストグラムで処理すると、第2図(c)
のようになり、点線部7にサイドガイド21からの外乱
成分が表われる。
で述べた濃度ヒストグラムで処理すると、第2図(c)
のようになり、点線部7にサイドガイド21からの外乱
成分が表われる。
又、従来装置の積分回路12により処理をすると、第3
図(d)のようになり、外乱成分(オ)のない状態の第
9図(e)と比較すると、第7図(a)の散乱(ロ)の
信号までも補完されてしまう、これを2値化回路13に
て処理すると、第8図(b)と同様になり鋼板の散乱部
と鋼板信号が分離できなくなってしまう。
図(d)のようになり、外乱成分(オ)のない状態の第
9図(e)と比較すると、第7図(a)の散乱(ロ)の
信号までも補完されてしまう、これを2値化回路13に
て処理すると、第8図(b)と同様になり鋼板の散乱部
と鋼板信号が分離できなくなってしまう。
これは、サイドガイド21からの外乱成分(オ)の温度
レベルが、鋼板1からの入力信号の温度レベルと異差が
ないために生じる原因である。
レベルが、鋼板1からの入力信号の温度レベルと異差が
ないために生じる原因である。
そこで、この発明の形状検出装置では、外乱除去回路2
0によりサイドガイド21からの外乱成分(オ)を除去
する。この外乱除去回路20はメモリ11に記憶されて
いる鋼板の温度レベル信号のうち、走査方向Yの両端の
数個分の信号を走査回数M回だけ消去し、メモリ回路1
1に記憶する装置である。
0によりサイドガイド21からの外乱成分(オ)を除去
する。この外乱除去回路20はメモリ11に記憶されて
いる鋼板の温度レベル信号のうち、走査方向Yの両端の
数個分の信号を走査回数M回だけ消去し、メモリ回路1
1に記憶する装置である。
なお、走査方向Yの両端の消去する信号の数は任意設定
が可能なようにしておくと良い。外乱除去回路20によ
りサイドガイド21の外乱成分(オ)を取り除いた後、
積分回路12によりビデオ画像を積分すると、第9図(
e)と同様な信号がえられるようになった。
が可能なようにしておくと良い。外乱除去回路20によ
りサイドガイド21の外乱成分(オ)を取り除いた後、
積分回路12によりビデオ画像を積分すると、第9図(
e)と同様な信号がえられるようになった。
また、積分方向についても第10図の鋼板形状であれば
従来方式でも誤差が出なかったが、近年の熱間圧延技術
の向上により、仕上圧延機の前段における板幅圧下量が
大きくなる動向にあり、第12図(a)に示す谷が深い
鋼板形状が生じ易くなった。
従来方式でも誤差が出なかったが、近年の熱間圧延技術
の向上により、仕上圧延機の前段における板幅圧下量が
大きくなる動向にあり、第12図(a)に示す谷が深い
鋼板形状が生じ易くなった。
このような鋼板形状に対して斜め方向に積分すると、第
12図(b)の点線で示す鋼板形状になり誤差が生じて
しまうため、第12図(c)に示すように積分方向を矢
印(し)のように垂直方向に変更することで誤差のない
鋼板像が抽出出来るようになった。
12図(b)の点線で示す鋼板形状になり誤差が生じて
しまうため、第12図(c)に示すように積分方向を矢
印(し)のように垂直方向に変更することで誤差のない
鋼板像が抽出出来るようになった。
なお、積分回路12以後は第6図の従来装置の説明で述
べたと同様にして切断信号が送出される。
べたと同様にして切断信号が送出される。
以上のように、この発明によれば、サイドガイドからの
散乱光による外乱信号を外乱除去回路により除去するよ
うに構成したので、正確な鋼板像を抽出することができ
る効果がある。
散乱光による外乱信号を外乱除去回路により除去するよ
うに構成したので、正確な鋼板像を抽出することができ
る効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による形状検出装置を示す
ブロック図、第2図、第3図はその動作を説明するため
の各部の波形図、第4図は従来の形状検出装置を示すブ
ロック図、第5図はその動作を説明するための鋼板の先
端形状図、第6図は従来の他の形状検出装置を示すブロ
ック図、第7図、第8図はその動作を説明するための各
部の波形図、第9図は積分回路の構成および動作説明図
、第10図、第11図、第12図は積分方向の説明図で
ある。 1は鋼板、2はレンズ、3は光電素子群、6は板幅測定
回路、8は比較回路、10は量子化回路、11はメモリ
、12は積分回路、13は2値化回路、14は走査回路
、20は外乱除去回路、21はサイドガイド。 なお1図中、同一符号は、同一あるいは相当部分を示す
。 特許出願人 三菱電機株式会社 : オ幻艷:#L(ビデオ侶号レベル)第7図 方り反J票1(し?イAδヲレヘ1しJ第9図 (e) ’r
ブロック図、第2図、第3図はその動作を説明するため
の各部の波形図、第4図は従来の形状検出装置を示すブ
ロック図、第5図はその動作を説明するための鋼板の先
端形状図、第6図は従来の他の形状検出装置を示すブロ
ック図、第7図、第8図はその動作を説明するための各
部の波形図、第9図は積分回路の構成および動作説明図
、第10図、第11図、第12図は積分方向の説明図で
ある。 1は鋼板、2はレンズ、3は光電素子群、6は板幅測定
回路、8は比較回路、10は量子化回路、11はメモリ
、12は積分回路、13は2値化回路、14は走査回路
、20は外乱除去回路、21はサイドガイド。 なお1図中、同一符号は、同一あるいは相当部分を示す
。 特許出願人 三菱電機株式会社 : オ幻艷:#L(ビデオ侶号レベル)第7図 方り反J票1(し?イAδヲレヘ1しJ第9図 (e) ’r
Claims (2)
- (1)鋼板の幅方向への移行を規制するサイドガイドと
、前記鋼板の像を複数個の光電素子群上に結像し該鋼板
の温度に対応した走査電気信号を発生する検出手段と、
前記検出手段の走査間隔を前記鋼板の進行距離に応じて
制御する走査回路と、前記検出手段で得られた検出信号
を多値化する量子化回路と、前記量子化回路で得られた
多値化信号を記憶するメモリと、前記メモリに記憶され
た量子化信号中の前記サイドガイドからの反射による外
乱信号を除去する外乱除去回路と、前記外乱除去回路に
より外乱信号を除去した量子化信号を任意の方向に積分
する積分回路と、前記積分回路で得られた積分信号の濃
度ヒストグラムから閾値を決定して2値化する2値化回
路と、前記2値化回路で得られた2値化信号から前記鋼
板の各走査部の板幅を求める板幅測定回路と、前記板幅
測定回路から出力された板幅測定値と事前に設定された
板幅基準値とを比較する比較手段を備えた形状検出装置
。 - (2)積分回路は、対象鋼板信号を、鋼板に対して先端
から垂直方向に積分することを特徴とする特許請求の範
囲第(1)項記載の形状検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311073A JPH01152302A (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | 形状検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62311073A JPH01152302A (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | 形状検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01152302A true JPH01152302A (ja) | 1989-06-14 |
Family
ID=18012788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62311073A Pending JPH01152302A (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | 形状検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01152302A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110314938A (zh) * | 2018-03-29 | 2019-10-11 | 上海梅山钢铁股份有限公司 | 带钢热连轧精轧机组的变厚轧制方法 |
| JP2023086615A (ja) * | 2021-12-10 | 2023-06-22 | Jfeスチール株式会社 | 高温鋼材の割れ検出方法、高温鋼材の圧延方法及び高温鋼材の割れ検出モデルの生成方法 |
| JP2023086616A (ja) * | 2021-12-10 | 2023-06-22 | Jfeスチール株式会社 | 高温鋼材の割れ判定方法、高温鋼材の圧延方法及び高温鋼材の割れ判定モデルの生成方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59176609A (ja) * | 1983-03-26 | 1984-10-06 | Mitsubishi Electric Corp | 形状検出装置 |
| JPS6288909A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 形状検出装置 |
-
1987
- 1987-12-10 JP JP62311073A patent/JPH01152302A/ja active Pending
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