JPH01153285A

JPH01153285A - 配管収納形清浄作業台

Info

Publication number: JPH01153285A
Application number: JP30759687A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Honma; 本間　敏
Original assignee: Hitachi Techno Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1987-12-07
Filing date: 1987-12-07
Publication date: 1989-06-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、清浄な作業空間が必要な作業室の構造に係り
、特に前記清浄作業室で各種配管器具を使用する作業に
好適な清浄作業台に関する。

（従来の技術）清浄作業台は、清浄な作業環境を必要とする半導体工業
、精密機械工業などの分野において、クリーンルーム内
の作業空間の清浄度を局所的に高度に維持する目的で使
用されるものである。近時益々高清浄度の需要が増加し
つつあり、空気流に接する面に渦流が生じない、いわゆ
る滑面化構造による清浄作業環境を確保するための配慮
が必要になっている。

従来、清浄作業台に配設したＮ２ほかのガス、空気、真
空、水等の各種配管接続部のバルブ、コック、継手及び
器具類が、清浄度を要求される空間に露出しているため
、長期間の使用によっては塵埃が蓄積し作業空間清浄度
を低下させる要因となっていた。

（発明が解決しようとする問題点）上記従来技術は、上記の各種配管接続部のバルブ、コッ
ク、継手及び器具類による塵埃の空間汚染の防止に対し
ては配慮がされておらず、−段と高度の清浄度を要求さ
れる場合の障害になっておリ問題であった。本発明は、
上記の問題解決を目的としてなされたものである。

（問題点を解決するための手段）上記の目的は、Ｎ２ほかのガス、空気、真空、水等の各
種配管の塵埃発生要素を送風ダクトケースの一部を仕切
った空間若しくは作業台下部空間に収納する配管ケース
を設け、前記清浄作業室と前記配管ケースとを分離する
ことによって達成される。

（作用）上記の構成により、上記各種配管接続部継手及び器具類
を使用する場合にのみ、前記清浄作業空間に前記配管ケ
ースを開放し、配管器具類を取り出して作業を実施する
ことにより、前記清浄作業空間の塵埃汚染を防止するこ
とができる。

（実施例）以下本発明の一実施例を図面と共に説明する。

第１図は本発明の作業台を含む清浄作業室の一実施例側
断面図で、空気浄化用の高性能フィルタ５゜照明灯６を
内蔵した天井ケース１、送風ダクトケース２．送風機ケ
ース３、清浄作業台４、前部シャツタフにより構成され
ており、空気浄化用前処理フィルタ１６から吸い込まれ
た外気は矢印Ａに沿って進み、送風機によって送風ダク
トケース２を経て、天井ケース１へ導かれ、高性能フィ
ルタ５を通過し清浄作業室８へ吹き込むことにより、作
業空間の清浄が維持されるものである。清浄作業室８内
作業台４上において、Ｎ２ガス、空気。

真空、水等の各種配管器具を使用する場合、第２〜４図
に示すように、送風ダクトケース２の一部を仕切った空
間に配管ケース１０を設け、各種配管用バーナ１１及び
チューブ１２（第２図）、エアガン２０及びチューブ１
２（第３図）、シャワーノズル２２及びチューブ１２（
第４図）を収容するように構成している。

これらの実施例によれば、配管ケース１０の開口部は、
つまみ１７を有するシャッタ１５か若しくは蝶番２４を
支点とする扉２３を備えており、使用者は前記各種配管
接続部継手及び器具類を使用する時のみ、容易に清浄作
業室８へ前記器具類を取り出すことができる。これによ
り、清浄作業室８内から塵埃蓄積要素を排除し、空気流
に接する面に渦流が生じない、前記滑面化構造の清浄作
業環境を構成することができ、また前記各種配管器具を
使用しないときには、配管ケース１０内に収納して清浄
作業室８を有効に広く使用することが可能である。また
、配管ケースｌＯの開口部に設けた上下に摺動が可能な
シャッタ１５には、第５図（ａ）に示すパンチング穴２
５若しくは同図（ｂ）に示す長円スリット２６があり、
配管ケース１０及び吸引ダクト１４を経て空気の一部を
循環させ、清浄作業室８の角隅部における乱流を防止し
て層流化することにより、高度の清浄化を実現すると共
に、配管ケース１０内の塵埃を除去することができる。

第６図は、配管ケース１０を清浄作業台４の下部空間に
取付けた場合の実施例を示し、配管ケース１０の開口部
は蝶番２４を支点として矢印Ｂ方向に回動する扉２３に
よって開閉自在とし、バーナ１１等の器具の収納と引出
が容易な構造とじている。）７％２３は、第２〜３図に
示した送風ダクトケース２に設けたシャッタ１５と同様
に、第７図のように前記パンチング穴２５若しくは長円
スリット２６を設け、空気の一部を循環させ、清浄作業
室８の角隅部の乱流を防止して層流化することにより、
高度の清浄化を実現することができる。

第８図に示す実施例では、配管ケース１０の開口部に設
けた扉２７の内側にバルブ継手２１を取り付け、蝶番２
４を支点として扉２７を矢印Ｃ方向に回動することによ
り、清浄作業室８側へ引き出すことができる。さらに配
管取り入れ部１３からバーナ１１、エアーガン２０、シ
ャワー２２などに連結する配管系の保守点検は、清浄作
業室８前面側又は背面側から容易に実施が可能である。

（発明の効果）本発明の実施により、清浄作業室から塵埃蓄積要素を排
除して滑面化構造の清浄作業環境を構成すると共に、清
浄作業室の角隅部の乱流を防止して層流化することによ
り、−段と高度の清浄化を実現することが可能となるほ
か、前記各種配管器具を使用しないときには、配管ケー
ス内部に収納して清浄作業室を有効に広く使用すること
ができるという副次効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る配管収納形清浄作業台の一実施例
側断面図、第２〜４図は各種器具使用例を示す第１図実
施例の部分図、第５図はシャッタの外観図、第６図は本
発明の他の実施例図、第７図は第６図の扉の外観斜視図
、第８図は別の実施例図である。１・・・天井ケース　　　　２・・・送風ダクトケース
３・・・送風機ケース　　　４・・・清浄作業台５・・
・高性能フィルタ　　６・・・照明灯７・・・前部シャ
ッタ　　　８・・・清浄作業室９・・・送風機　　　　
　１０・・・配管ケース１１・・・バーナ　　　　　１
２・・・チューブ１３・・・配管取り入れ部　１４・・
・吸引ダクト１５・・・シャッタ　　　　１６・・・前
処理フィルタ１７・・・つまみ　　　　　１８・・・実
験器具１９・・・棚　　　　　　　２０・・・エアガン
２１・・・バルブ継手　　　２２・・・シャワー２３・
・・扉　　　　　　　２４・・・蝶番２５・・・パンチ
ング穴　　２６・・・長円スリット２７・・・扉

Claims

【特許請求の範囲】

１、送風機を収容する送風機ケース、前記送風機による
送風を導く送風機ダクトケース、送風吹き出口を備える
天井ケース、及び前記送風吹き出口に臨む清浄作業室を
、順次連ねて成る空気浄化要素を含む送風路中の、前記
清浄作業室に設けた清浄作業台において、前記送風ダク
トケースの一部を仕切った空間若しくは前記清浄作業台
下部空間に、配管接続部継手及び配管器具の取出・収納
が可能な配管ケースを備えていることを特徴とする配管
収納形清浄作業台。