JPS61168735A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS61168735A JPS61168735A JP60007524A JP752485A JPS61168735A JP S61168735 A JPS61168735 A JP S61168735A JP 60007524 A JP60007524 A JP 60007524A JP 752485 A JP752485 A JP 752485A JP S61168735 A JPS61168735 A JP S61168735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- room
- clean
- clean room
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体の製造などで必要とする清浄な作業環
境を作り出すためのクリーンルームに係り、特にクリー
ンルーム内で発生した微粒子も室内に滞留することなく
、速やかに室外へ除去するのに好適なりリーンルームに
関する。
境を作り出すためのクリーンルームに係り、特にクリー
ンルーム内で発生した微粒子も室内に滞留することなく
、速やかに室外へ除去するのに好適なりリーンルームに
関する。
クリーンルーム内で発生した塵埃を製品から遠ざける方
法として、例えば特開昭５８−１２９１２５号公報に示
されるように１作業部の清浄気流の平均風速を通路部の
清浄気流の平均流速以上に保ち１通路部で発生した塵埃
が作業部へ拡散しないような気流の分布とするものが知
られている。しかし。
法として、例えば特開昭５８−１２９１２５号公報に示
されるように１作業部の清浄気流の平均風速を通路部の
清浄気流の平均流速以上に保ち１通路部で発生した塵埃
が作業部へ拡散しないような気流の分布とするものが知
られている。しかし。
この方法では作業部で発生した塵埃については、これを
作業部から除去する手段について配慮されていなかった
。
作業部から除去する手段について配慮されていなかった
。
まず、従来半導体製造工程に用いられているクリーンル
ームの中で、一般にクリーントンネル方式と呼ばれてい
るクリーンルームの長手方向に直角な断面図を第１図に
示す、支柱１と横梁２とで門形フレームを組み、これに
天板３と両側の側板４を張ってトンネル状覆いを構成し
、このトンネル状覆いとそれを設置する床５とで囲まれ
たクリーンルーム室内に露光、エツチング、拡散、メタ
ライズ等の半導体製造ライン用の作業用機器６を設置す
る作業部７ａと作業者が通行する通路部７ｂとをトンネ
ル状覆いの長手方向に連続して設ける。作業部７ａの天
井部には空気浄化要素である送風機８，９．送風チャン
バ１０，１１．高性能フィルタ１２．１３と作業部照明
灯１４を収納し、その下部の清浄空気吹出し口に格子状
の整流板１５を設置する。また、通路部７ｂの天井部空
間には通路部属明灯１６を収納し、その下部の清浄空気
吹出し口に格子状の整流板１７を設置する。
ームの中で、一般にクリーントンネル方式と呼ばれてい
るクリーンルームの長手方向に直角な断面図を第１図に
示す、支柱１と横梁２とで門形フレームを組み、これに
天板３と両側の側板４を張ってトンネル状覆いを構成し
、このトンネル状覆いとそれを設置する床５とで囲まれ
たクリーンルーム室内に露光、エツチング、拡散、メタ
ライズ等の半導体製造ライン用の作業用機器６を設置す
る作業部７ａと作業者が通行する通路部７ｂとをトンネ
ル状覆いの長手方向に連続して設ける。作業部７ａの天
井部には空気浄化要素である送風機８，９．送風チャン
バ１０，１１．高性能フィルタ１２．１３と作業部照明
灯１４を収納し、その下部の清浄空気吹出し口に格子状
の整流板１５を設置する。また、通路部７ｂの天井部空
間には通路部属明灯１６を収納し、その下部の清浄空気
吹出し口に格子状の整流板１７を設置する。
１８は作業部天井と通路部天井との間の仕切り板である
。
。
送風機８，９の運転により、外部空気はプレフィルタ１
９を通して空気吸込み口２０から吸込まれる０作業部用
送風機８から送風チャンバ１０へ送り出された空気は作
業部用高性能フィルタ１２により清浄化された後１作業
部天井から室内の作業部７ａへ吹出し、また１通路部用
送風機９から送風チャンバ１１へ送り出された空気は通
路部用高性能フィルタ１３により清浄化された後、通路
部天井から室内の通路部７ｂへ吹出す、１１流板１５．
１７は清浄気流の整流と照明の散光のために設けられた
ものである。
９を通して空気吸込み口２０から吸込まれる０作業部用
送風機８から送風チャンバ１０へ送り出された空気は作
業部用高性能フィルタ１２により清浄化された後１作業
部天井から室内の作業部７ａへ吹出し、また１通路部用
送風機９から送風チャンバ１１へ送り出された空気は通
路部用高性能フィルタ１３により清浄化された後、通路
部天井から室内の通路部７ｂへ吹出す、１１流板１５．
１７は清浄気流の整流と照明の散光のために設けられた
ものである。
天井面から吹出された清浄気流は図の矢印で示すように
室内を流れ、両側の側板４の下部に設けた側面排気口２
１から外部の保全域２２へ排出される。室内圧力は保全
域２２の圧力より高く保たれているため、保全域２２か
らの汚染空気が室内へ流入しない。
室内を流れ、両側の側板４の下部に設けた側面排気口２
１から外部の保全域２２へ排出される。室内圧力は保全
域２２の圧力より高く保たれているため、保全域２２か
らの汚染空気が室内へ流入しない。
第２図にはモジュール化したクリーントンネルを多数連
結したクリーンルームの外観を示す。
結したクリーンルームの外観を示す。
しかし、この方式によるクリーンルームの欠点は、作業
部７ａへ清浄空気を吹出す整流板１５と側板４との間に
は清浄空気を吹出さない部分が生じることである。この
部分では空気が滞留しており、もし作業者が作業部７ａ
において発塵した場合には塵埃がこの空気が滞留した部
分に入り、ある時間の後に重力沈降あるいは外乱のため
に塵埃は作業部７ａへ流れ込み、製品に付着し４、不良
品を発生させる原因となる。そこで、クリーンルームを
清浄に保つ手段である清浄空気の流れに乱れが生じ難く
、また、外乱のため乱れが生、じた場合にも速やかに定
常状態の気流に戻るような気流を実現させる必要がある
。このような気流を得るためには前述した従来のクリー
ンルームの空気が滞留した部分を除かなければならない
。
部７ａへ清浄空気を吹出す整流板１５と側板４との間に
は清浄空気を吹出さない部分が生じることである。この
部分では空気が滞留しており、もし作業者が作業部７ａ
において発塵した場合には塵埃がこの空気が滞留した部
分に入り、ある時間の後に重力沈降あるいは外乱のため
に塵埃は作業部７ａへ流れ込み、製品に付着し４、不良
品を発生させる原因となる。そこで、クリーンルームを
清浄に保つ手段である清浄空気の流れに乱れが生じ難く
、また、外乱のため乱れが生、じた場合にも速やかに定
常状態の気流に戻るような気流を実現させる必要がある
。このような気流を得るためには前述した従来のクリー
ンルームの空気が滞留した部分を除かなければならない
。
従って、本発明の目的は作業者が作業部において気流を
乱し１発塵した場合にもクリーンルーム内の清浄気流が
速やかにその定常状態に戻り、塵埃が滞留することなく
速やかに作業部から除去されるような気流を実現するク
リーンルームを提供することにある。
乱し１発塵した場合にもクリーンルーム内の清浄気流が
速やかにその定常状態に戻り、塵埃が滞留することなく
速やかに作業部から除去されるような気流を実現するク
リーンルームを提供することにある。
本発明は側壁と、空気浄化要素を内蔵する天井と、これ
らを設置する床面とで囲まれた室内に。
らを設置する床面とで囲まれた室内に。
作業用機器を設置する作業部と作業者が通行する通路部
を備え、空気浄化要素を通して天井より清浄空気を吹き
出し、室内を浄化するようにしたクリーンルームにおい
て、空気浄化要素を内蔵する天井近傍の側壁に通気孔を
設けたもので、従来のクリーンルーム内の清浄空気の流
れを乱れの生じ難いものとし、作業部で発生した塵埃も
速やかに作業部で発生した塵埃も速やかに作業部から除
去し、高清浄度を保つクリーンルームを実現するように
したものである。
を備え、空気浄化要素を通して天井より清浄空気を吹き
出し、室内を浄化するようにしたクリーンルームにおい
て、空気浄化要素を内蔵する天井近傍の側壁に通気孔を
設けたもので、従来のクリーンルーム内の清浄空気の流
れを乱れの生じ難いものとし、作業部で発生した塵埃も
速やかに作業部で発生した塵埃も速やかに作業部から除
去し、高清浄度を保つクリーンルームを実現するように
したものである。
以下、本発明の一実施例を第３図により説明する０本発
明では、作業部７ａの整流板１５より下の位置の側板４
に通気孔２３を設けている。第４図は本発明の通気孔２
３を含む清浄空気吹出し部の詳細図である。本発明では
室内の圧力が保全域２２の圧力より高いことを利用し、
従来のクリーンルームの清浄空気吹出し部で生じる空気
滞留部をなくシ、クリーンルーム内の清浄空気の流れを
改良し、乱れの生じ難いものとすることにより、作業部
７ａで発生した塵埃も速やかに作業部７ａから除去し、
クリーンルームを高清浄度に保つことができる。すなわ
ち、整流板から吹出された清浄空気の流れは第３図およ
び第４図の矢印のようになり、気流にうすなどを発生せ
ず、したがって。
明では、作業部７ａの整流板１５より下の位置の側板４
に通気孔２３を設けている。第４図は本発明の通気孔２
３を含む清浄空気吹出し部の詳細図である。本発明では
室内の圧力が保全域２２の圧力より高いことを利用し、
従来のクリーンルームの清浄空気吹出し部で生じる空気
滞留部をなくシ、クリーンルーム内の清浄空気の流れを
改良し、乱れの生じ難いものとすることにより、作業部
７ａで発生した塵埃も速やかに作業部７ａから除去し、
クリーンルームを高清浄度に保つことができる。すなわ
ち、整流板から吹出された清浄空気の流れは第３図およ
び第４図の矢印のようになり、気流にうすなどを発生せ
ず、したがって。
室内で発生した塵埃を室内に留めることはなく。
気流とともに速やかに作業用機器６あるいは製品から塵
埃を遠ざけることができる。また、室内に空気の滞留す
る部分がないので１作業者の移動などにより気流が乱さ
れた場合でも速やかに定常の気流状態に復帰できる。
埃を遠ざけることができる。また、室内に空気の滞留す
る部分がないので１作業者の移動などにより気流が乱さ
れた場合でも速やかに定常の気流状態に復帰できる。
第５図は、第２図に示したモジュールの一つであり、こ
れに本発明の通気孔２３を設けた図である。ただし、第
５図ではスリット状通気孔２３ａを示す。通気孔２３は
作業部７ａの整流板より下に位置しているが、その形状
は特定しない。しかし、第５図に示すモジュールにおい
て、その長手方向に室内の流れの二次元性を保つために
は１通気孔２３は長手方向に一様に分布していることが
望ましい。さらに、室内が保全域２２から汚染されない
ように通気孔２３は保全域２２から室内への気流が生じ
ない大きさとする。
れに本発明の通気孔２３を設けた図である。ただし、第
５図ではスリット状通気孔２３ａを示す。通気孔２３は
作業部７ａの整流板より下に位置しているが、その形状
は特定しない。しかし、第５図に示すモジュールにおい
て、その長手方向に室内の流れの二次元性を保つために
は１通気孔２３は長手方向に一様に分布していることが
望ましい。さらに、室内が保全域２２から汚染されない
ように通気孔２３は保全域２２から室内への気流が生じ
ない大きさとする。
第６図は通気孔２３の形状を変えた一つの例で。
穴状通気孔２３ｂを設けたモジュールを示す、この穴状
通気孔２３ｂも室内の清浄空気の一部を保全域２２へ吸
い出し、室内の気流の状態を改善することができる。
通気孔２３ｂも室内の清浄空気の一部を保全域２２へ吸
い出し、室内の気流の状態を改善することができる。
第７図は他の実施例を示す。この実施例では両側板４の
外側にさらに側板２４を設け、その間に側面還気ダクト
２５を床下還下ダクト２６および側面排気口２１に接続
して設けである。この側面還気ダクト２５と床下還気ダ
クト２６によ゛す、側面排気口２１および床部多孔板２
７からの排気は合流してプレフィルタ１９を通り空気吸
込み口２０へ還流する。この場合、室内に吹出された清
浄空気のうち、空調給気ダクト接続口２８から供給され
る空気量に見合った分だけ側板２４・の下部に設けた排
気口２９から保全域２２へ排出されるが、他の大部分の
空気は天井部の空気浄化要素へ還流し、再度清浄化され
室内へ供給される構造となっている。この場合にも室内
の圧力は側面還気ダクト２５内の圧力より高く、整流板
１５の下の位置め側板４に本発明の通気孔２３を設ける
ことで、室内には滞留のない気流を得ることができる。
外側にさらに側板２４を設け、その間に側面還気ダクト
２５を床下還下ダクト２６および側面排気口２１に接続
して設けである。この側面還気ダクト２５と床下還気ダ
クト２６によ゛す、側面排気口２１および床部多孔板２
７からの排気は合流してプレフィルタ１９を通り空気吸
込み口２０へ還流する。この場合、室内に吹出された清
浄空気のうち、空調給気ダクト接続口２８から供給され
る空気量に見合った分だけ側板２４・の下部に設けた排
気口２９から保全域２２へ排出されるが、他の大部分の
空気は天井部の空気浄化要素へ還流し、再度清浄化され
室内へ供給される構造となっている。この場合にも室内
の圧力は側面還気ダクト２５内の圧力より高く、整流板
１５の下の位置め側板４に本発明の通気孔２３を設ける
ことで、室内には滞留のない気流を得ることができる。
本発明によれば、従来のクリーンルーム内の整流板と側
板との間で滞留していた空気を通気孔を通し側板の外へ
吸い出すことができるので、クリーンルーム内では滞留
のない気流を得ることができ、作業部で発生した塵埃も
速やかに作業部から除去し、室内の高清浄度を保つこと
ができる効果がある。
板との間で滞留していた空気を通気孔を通し側板の外へ
吸い出すことができるので、クリーンルーム内では滞留
のない気流を得ることができ、作業部で発生した塵埃も
速やかに作業部から除去し、室内の高清浄度を保つこと
ができる効果がある。
また１本発明は０．１ μｍ粒子等の重力沈降が期待
できない超微粒子を除去対象とした超ＬＳＩの製造用ク
リーンルームなどの超クリーンな環境の清浄化に特に効
果がある。
できない超微粒子を除去対象とした超ＬＳＩの製造用ク
リーンルームなどの超クリーンな環境の清浄化に特に効
果がある。
第１図は従来のクリーンルームの例の縦断面図。
第２図はクリーントンネルをモジュール化した外観斜視
図、第３図は本発明のクリーンルームの一実施例を示す
縦断面図、第４図は第３図における吹出し部の詳細図、
第５図は第３図の外観斜視図。 第６図は本発明のクリーンルームの他の実施例の外観斜
視図、第７図は本発明のクリーンルームの他の実施例の
縦断面図である。 ３・・・天板、４・・・側板、５・・・床、６・・・作
業用機器。 ７ａ・・・作業部、７ｂ・・・通路部、８．９・・・送
風機、１０．１１・・・送風チャンバ、１２．１３・・
・高性能フィルタ、１５・・・整流板、１７・・・整流
板、１８・・・仕切り板、１９・・・プレフィルタ、２
１・・・側面排気口、２３・・・通気孔、２３ａ・・・
スリット状通気孔。 ２３ｂ・・・穴状通気孔、２４・・・側板、２５・・・
側面還気ダクト、２６・・・床下還気ダクト、２９・・
・排気口。
図、第３図は本発明のクリーンルームの一実施例を示す
縦断面図、第４図は第３図における吹出し部の詳細図、
第５図は第３図の外観斜視図。 第６図は本発明のクリーンルームの他の実施例の外観斜
視図、第７図は本発明のクリーンルームの他の実施例の
縦断面図である。 ３・・・天板、４・・・側板、５・・・床、６・・・作
業用機器。 ７ａ・・・作業部、７ｂ・・・通路部、８．９・・・送
風機、１０．１１・・・送風チャンバ、１２．１３・・
・高性能フィルタ、１５・・・整流板、１７・・・整流
板、１８・・・仕切り板、１９・・・プレフィルタ、２
１・・・側面排気口、２３・・・通気孔、２３ａ・・・
スリット状通気孔。 ２３ｂ・・・穴状通気孔、２４・・・側板、２５・・・
側面還気ダクト、２６・・・床下還気ダクト、２９・・
・排気口。
Claims (1)
- １、側壁と、空気浄化要素を内蔵する天井と、これらを
設置する床面とで囲まれた室内に、作業用機器を設置す
る作業部と作業者が通行する通路部を備え、前記空気浄
化要素を通して天井より清浄空気を吹き出し、前記室内
を浄化するようにしたクリーンルームにおいて、前記空
気浄化要素を内蔵する天井近傍の側壁に通気孔を設けた
ことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60007524A JPS61168735A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60007524A JPS61168735A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168735A true JPS61168735A (ja) | 1986-07-30 |
Family
ID=11668161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60007524A Pending JPS61168735A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61168735A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6246145A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-28 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPS6329031U (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-25 | ||
| JPS6357449U (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
| JPS6357450U (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
| WO2018179498A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | クリーンルーム設備 |
-
1985
- 1985-01-21 JP JP60007524A patent/JPS61168735A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6246145A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-28 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPS6329031U (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-25 | ||
| JPS6357449U (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
| JPS6357450U (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-16 | ||
| WO2018179498A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | クリーンルーム設備 |
| JP2018173240A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | クリーンルーム設備 |
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