JPH01154425A - ポッテット形陰極 - Google Patents
ポッテット形陰極Info
- Publication number
- JPH01154425A JPH01154425A JP62312841A JP31284187A JPH01154425A JP H01154425 A JPH01154425 A JP H01154425A JP 62312841 A JP62312841 A JP 62312841A JP 31284187 A JP31284187 A JP 31284187A JP H01154425 A JPH01154425 A JP H01154425A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- heater
- heaters
- potting material
- alumina
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000004382 potting Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子管に用いられるポッテット形陰極に関す
る。
る。
従来、電子管用の陰極としてはヒータを陰極近傍に配設
し、ヒータからの輻射熱により陰極を加熱する傍熱形陰
極とヒータ全体をアルミナ粉末により埋没させ陰極と接
合することによりヒータからの伝導熱により陰極を加熱
するポッテット形陰極がある。
し、ヒータからの輻射熱により陰極を加熱する傍熱形陰
極とヒータ全体をアルミナ粉末により埋没させ陰極と接
合することによりヒータからの伝導熱により陰極を加熱
するポッテット形陰極がある。
上述した従来の輻射熱により陰極を加熱する傍熱形陰極
では、陰極とヒータとの熱授受の関係上、陰極が加熱さ
れなければならない温度つまり陰極動作温度よりもビー
タを４００〜５００℃高温に加熱しなければならない。
では、陰極とヒータとの熱授受の関係上、陰極が加熱さ
れなければならない温度つまり陰極動作温度よりもビー
タを４００〜５００℃高温に加熱しなければならない。
一般にヒータには低蒸気圧高融点金属であるタングステ
ンが用いられている。しかし、タングステンの性質上１
６００℃以上加熱することができない。それ故傍熱形ヒ
ータは、始動時においても定常動作時以上の電力を投入
することが難かしく連動性に欠けるという欠点がある。
ンが用いられている。しかし、タングステンの性質上１
６００℃以上加熱することができない。それ故傍熱形ヒ
ータは、始動時においても定常動作時以上の電力を投入
することが難かしく連動性に欠けるという欠点がある。
一方、ヒータをアルミナ粉末により陰極と埋設接合する
ポッテット形隘極においては、ヒータ動作温度と陰極動
作温度の差は１００〜２００°Ｃであるため、始動時に
定常動作時以上の電力を投入することが可能である。し
かし、陰極構成金属とポツティング材のアルミナ（Ａｅ
ｚ ０３ ）の熱膨張係数の差は大きくヒートサイクル
をかけると陰極との接合面にき裂が生じやすかった。さ
らにアルミナは熱伝導度が低く、又ヒータ全体を埋設す
るため熱容量も大きくなり、速動型の陰極として充分な
性能を発揮するまでには至らなかった。
ポッテット形隘極においては、ヒータ動作温度と陰極動
作温度の差は１００〜２００°Ｃであるため、始動時に
定常動作時以上の電力を投入することが可能である。し
かし、陰極構成金属とポツティング材のアルミナ（Ａｅ
ｚ ０３ ）の熱膨張係数の差は大きくヒートサイクル
をかけると陰極との接合面にき裂が生じやすかった。さ
らにアルミナは熱伝導度が低く、又ヒータ全体を埋設す
るため熱容量も大きくなり、速動型の陰極として充分な
性能を発揮するまでには至らなかった。
本発明のポッテット形陰極は、ヒータ部分を含む陰極の
熱容量を低減するためヒータと陰極間のみにポッティン
グ材を有していることを特徴とする。ポッティング材に
は、熱伝達係数の高い金属粉末焼結体を用いる。また、
ヒートサイクルによるき裂抑制のために、陰極又は陰極
支持筒のヒータに相対する面には数ミクロンから数十ミ
クロンの凹凸を有し、ヒータ絶縁層表面は、粒子の粗い
アルミナを有している。
熱容量を低減するためヒータと陰極間のみにポッティン
グ材を有していることを特徴とする。ポッティング材に
は、熱伝達係数の高い金属粉末焼結体を用いる。また、
ヒートサイクルによるき裂抑制のために、陰極又は陰極
支持筒のヒータに相対する面には数ミクロンから数十ミ
クロンの凹凸を有し、ヒータ絶縁層表面は、粒子の粗い
アルミナを有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図である。１は
ヒータコイルであり、タングステン又は３％レニウム・
タングステン合金等の高融点金属により構成されている
。２及び３はアルミナ絶縁層で、２は２０００メツシユ
以下のアルミナ粉末３は９００メツシユ以上のアルミナ
粉末により構成されている。これらは電気泳動法又は吹
き付は法により付着し、水素雰囲気中で１６００〜１、
７００℃に加熱し、焼結させる。４はポッティング材で
平均粒径１０ミクロンから数十ミクロンのタングステン
粉末と平均粒径１ミクロンから数ミクロンのニッケル粉
末を２０：１−で混合した焼結体である。これらは１１
５０°Ｃの水素雰囲気中で焼結させている。なお、焼結
体を構成する粉末の混合物は、多量の高融点金属粉と少
量の低融点金属粉で構成されていればよく上述の例に限
定されるものではない。５はタングステンからなる陰極
支持筒であり、内側の面は１５０から３２０メツシユの
アルミナによりプラストされ、平均的１０μｍの凹凸の
面を有している。６は陰極である。本実施例では図示の
ようにポッティング材４は空間全体に充填されるのでは
なく陰極支持筒５とヒータコイル１の間だけに設けられ
ている。このため陰極全体の熱容量を小さくでき連動性
に優れている。
ヒータコイルであり、タングステン又は３％レニウム・
タングステン合金等の高融点金属により構成されている
。２及び３はアルミナ絶縁層で、２は２０００メツシユ
以下のアルミナ粉末３は９００メツシユ以上のアルミナ
粉末により構成されている。これらは電気泳動法又は吹
き付は法により付着し、水素雰囲気中で１６００〜１、
７００℃に加熱し、焼結させる。４はポッティング材で
平均粒径１０ミクロンから数十ミクロンのタングステン
粉末と平均粒径１ミクロンから数ミクロンのニッケル粉
末を２０：１−で混合した焼結体である。これらは１１
５０°Ｃの水素雰囲気中で焼結させている。なお、焼結
体を構成する粉末の混合物は、多量の高融点金属粉と少
量の低融点金属粉で構成されていればよく上述の例に限
定されるものではない。５はタングステンからなる陰極
支持筒であり、内側の面は１５０から３２０メツシユの
アルミナによりプラストされ、平均的１０μｍの凹凸の
面を有している。６は陰極である。本実施例では図示の
ようにポッティング材４は空間全体に充填されるのでは
なく陰極支持筒５とヒータコイル１の間だけに設けられ
ている。このため陰極全体の熱容量を小さくでき連動性
に優れている。
第２図は本発明の第２の実施例の縦断面図である。１１
はヒータコイル、１２はアルミナ絶縁層である。１２は
第１の実施例と同様に粒径の異なる二層のアルミナ層か
ら成る。１３はポツティング材で、平均粒径が１０ミク
ロンから数十ミクロンのモリブデン粉末と１ミクロンか
ら数ミクロンのニッケル粉末を１０：１で混合し１１０
０℃の水素雰囲気中で焼結させた焼結体である。１４は
陰極である。この実施例もポッティング材１３はヒータ
コイル１１と陰極１４との間だけに設けられているので
、熱容量が小さくなっている。
はヒータコイル、１２はアルミナ絶縁層である。１２は
第１の実施例と同様に粒径の異なる二層のアルミナ層か
ら成る。１３はポツティング材で、平均粒径が１０ミク
ロンから数十ミクロンのモリブデン粉末と１ミクロンか
ら数ミクロンのニッケル粉末を１０：１で混合し１１０
０℃の水素雰囲気中で焼結させた焼結体である。１４は
陰極である。この実施例もポッティング材１３はヒータ
コイル１１と陰極１４との間だけに設けられているので
、熱容量が小さくなっている。
以上説明したように本発明は、陰極とヒータの間にのみ
金属粉末焼結体のポッティング材を有することにより、
ヒータからの熱を速く大量に伝えることができ、又、ヒ
ータを含む陰極部分の熱容量を小さくすることができる
ため陰極を速く動作温度まで加熱することができる効果
がある。又、金属粉末は陰極又は陰極支持体との熱膨張
係数の差が少なく、ヒータのアルミナ絶縁層及び陰極又
は陰極支持筒のヒータに相対する面に適当な凹凸がある
ため、金属粉末焼結体との整合がよく、ヒートサイクル
によるき裂の発生を防止する効果がある。
金属粉末焼結体のポッティング材を有することにより、
ヒータからの熱を速く大量に伝えることができ、又、ヒ
ータを含む陰極部分の熱容量を小さくすることができる
ため陰極を速く動作温度まで加熱することができる効果
がある。又、金属粉末は陰極又は陰極支持体との熱膨張
係数の差が少なく、ヒータのアルミナ絶縁層及び陰極又
は陰極支持筒のヒータに相対する面に適当な凹凸がある
ため、金属粉末焼結体との整合がよく、ヒートサイクル
によるき裂の発生を防止する効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図は本発
明の第２の実施例の断面図である。 １．１１・・・ヒータコイル、２，３．１２・・・アル
ミナ絶縁層、４．１３・・・ポツティング材、５・・・
陰極支持筒、６．１４・・・陰極。
明の第２の実施例の断面図である。 １．１１・・・ヒータコイル、２，３．１２・・・アル
ミナ絶縁層、４．１３・・・ポツティング材、５・・・
陰極支持筒、６．１４・・・陰極。
Claims (4)
- （１）陰極内にヒータを配設し、ヒータをポッティング
材により埋込んだポッテット形陰極において、陰極とヒ
ータとの間にのみポッティング材を有することを特徴と
するポッテット形陰極。 - （２）ポッティング材が金属粉末である特許請求の範囲
第（１）項記載のポッテット形陰極。 - （３）ヒータに相対する陰極又は陰極支持筒の表面が数
ミクロンから数十ミクロンの凹凸を有する特許請求の範
囲第（１）項記載のポッテット形陰極。 - （４）ヒータコイルの外周に微小粒子のアルミナ絶縁層
とその外周に粗大粒子のアルミナ絶縁層を有する特許請
求の範囲第（１）項記載のポッテット形陰極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62312841A JPH01154425A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | ポッテット形陰極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62312841A JPH01154425A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | ポッテット形陰極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154425A true JPH01154425A (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=18034070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62312841A Pending JPH01154425A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | ポッテット形陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01154425A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1193733A1 (en) * | 2000-09-28 | 2002-04-03 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Short arc discharge lamp |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP62312841A patent/JPH01154425A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1193733A1 (en) * | 2000-09-28 | 2002-04-03 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Short arc discharge lamp |
| US6844678B2 (en) | 2000-09-28 | 2005-01-18 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Short arc discharge lamp |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6160244A (en) | Susceptors | |
| TWI344683B (en) | Electrostatic chuck with heater and manufacturing method thereof | |
| JP5117146B2 (ja) | 加熱装置 | |
| TW595243B (en) | Ceramic heaters, a method for producing the same and articles having metal members | |
| JP5036339B2 (ja) | 静電チャック及びその製造方法 | |
| US20020185487A1 (en) | Ceramic heater with heater element and method for use thereof | |
| KR20010099730A (ko) | 가열장치 | |
| US2215587A (en) | Rodlike heating element | |
| JPH0631185B2 (ja) | 炭化珪素発熱体の製造方法 | |
| TW201942089A (zh) | 複合燒結體、半導體製造裝置構件及複合燒結體之製造方法 | |
| TWI359473B (en) | Electrostatic chuck heater | |
| JPS6151374B2 (ja) | ||
| JP2001332525A (ja) | セラミックスヒータ | |
| JPH01154425A (ja) | ポッテット形陰極 | |
| JP2533679B2 (ja) | 盤状セラミックスヒ―タ―及びその製造方法 | |
| JPH0870036A (ja) | 静電チャック | |
| JP3628854B2 (ja) | 高圧放電灯及びその製造方法 | |
| JPS6386332A (ja) | 抵抗加熱方式単結晶 | |
| JP3964530B2 (ja) | セラミックスヒータ | |
| US3227911A (en) | Indirectly heated cathodes | |
| JPH04129189A (ja) | セラミックヒータ | |
| US2544320A (en) | Fabricated article | |
| JP2537606B2 (ja) | セラミツクヒ−タ | |
| JP2000277239A (ja) | セラミックスヒータ | |
| JP3398167B2 (ja) | 受像管 |