JPH01155204A - 厚さ測定装置の校正方法 - Google Patents
厚さ測定装置の校正方法Info
- Publication number
- JPH01155204A JPH01155204A JP31554487A JP31554487A JPH01155204A JP H01155204 A JPH01155204 A JP H01155204A JP 31554487 A JP31554487 A JP 31554487A JP 31554487 A JP31554487 A JP 31554487A JP H01155204 A JPH01155204 A JP H01155204A
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は紙等のシート状物体の厚さをオンラインで測定
する厚さ測定装置に関する。
する厚さ測定装置に関する。
〈従来の技術〉
従来、紙、フィルム等のシート状物体の厚さを測定する
装置として、第４図に示すような装置が使用される。即
ち、フレーム１上に上側検出ヘッド２と下側検出ヘッド
３とを対向配置し、これらの間にシート状物体４を矢印
Ｘ方向に走行させると共に、上側検出ヘッド２と下側検
出ヘッド３とを対向位置関係を保持してこのシート状物
体の幅方向（矢印Ｙ方向）に往復走行させ、シート状物
体４から一定ギャップ浮上している上側検出ヘッド２と
下側検出ヘッド３との間隔に基づきシート状物体４の厚
さを測定する装置が公知である。
装置として、第４図に示すような装置が使用される。即
ち、フレーム１上に上側検出ヘッド２と下側検出ヘッド
３とを対向配置し、これらの間にシート状物体４を矢印
Ｘ方向に走行させると共に、上側検出ヘッド２と下側検
出ヘッド３とを対向位置関係を保持してこのシート状物
体の幅方向（矢印Ｙ方向）に往復走行させ、シート状物
体４から一定ギャップ浮上している上側検出ヘッド２と
下側検出ヘッド３との間隔に基づきシート状物体４の厚
さを測定する装置が公知である。
第５図はこのような従来装置の検出ヘッドの断面を示す
０図中、上側検出ヘッド２において、ベース２０１上に
タンク・キャブ２０２が取り付けられており、ベース２
０１に設けられた開口２０３の周縁にはリテーナリング
２０４を介し、例えばゴム製のダイアフラム２０５が固
定されている。
０図中、上側検出ヘッド２において、ベース２０１上に
タンク・キャブ２０２が取り付けられており、ベース２
０１に設けられた開口２０３の周縁にはリテーナリング
２０４を介し、例えばゴム製のダイアフラム２０５が固
定されている。
２０６はこのダイアフラムの中心部に取付けられた導体
ターゲットで、内部に室が設けられており、表面には複
数の空気吹出し孔が設けられている。２０７は空気圧Ｐ
、をターゲット２０６に導くチューブである。
ターゲットで、内部に室が設けられており、表面には複
数の空気吹出し孔が設けられている。２０７は空気圧Ｐ
、をターゲット２０６に導くチューブである。
２０８はダイアフラム２０５に固着されたコイルバネで
、このバネの他端は、タンク・キャップ２０２内におい
てベース２０１に設けられ支持部に固定されている。タ
ンク・キャップ２０２内には空気圧Ｐ２が加えられてい
る。
、このバネの他端は、タンク・キャップ２０２内におい
てベース２０１に設けられ支持部に固定されている。タ
ンク・キャップ２０２内には空気圧Ｐ２が加えられてい
る。
下側検出ヘッド３において、ベース３０１にボディ３０
２が取り付けられている。ベース３０１の周縁に取付け
られたダイアフラム３０３にはセンサ・コイル３０４を
収容するケース３０５が取付けられている。尚、３０６
はケース３０５の上面に取付けられた基準面を形成する
ガラスである。
２が取り付けられている。ベース３０１の周縁に取付け
られたダイアフラム３０３にはセンサ・コイル３０４を
収容するケース３０５が取付けられている。尚、３０６
はケース３０５の上面に取付けられた基準面を形成する
ガラスである。
Ｐ３はセンサ・コイル３０４部分を上下させるためボデ
ィ３０２内に導入された空気圧である。
ィ３０２内に導入された空気圧である。
次にこのような構成の厚さ測定装置の動作について説明
する。検出ヘッド２．３がシート状物質４上にあるとき
、タンク・キャップ２０２及びボディ３０２の内圧が高
められ、ターゲット２０６、及びセンサ・コイル３０４
のケース３０５がシート状物体４に近付けられる。
する。検出ヘッド２．３がシート状物質４上にあるとき
、タンク・キャップ２０２及びボディ３０２の内圧が高
められ、ターゲット２０６、及びセンサ・コイル３０４
のケース３０５がシート状物体４に近付けられる。
このとき、ケース３０５のガラス３０６はシート状物体
４の下面に接触し厚さ測定の基準面となる。一方、ター
ゲット２０６はチューブ２０７を介し空気圧Ｐ１が供給
され、ターゲットの自重、コイルスプリング２０８の復
元力、空気圧Ｐ２によるダイアフラム２０５の押圧力、
空気吹出しによる浮上刃とがバランスし、シート状物体
４より一定量浮上する。
４の下面に接触し厚さ測定の基準面となる。一方、ター
ゲット２０６はチューブ２０７を介し空気圧Ｐ１が供給
され、ターゲットの自重、コイルスプリング２０８の復
元力、空気圧Ｐ２によるダイアフラム２０５の押圧力、
空気吹出しによる浮上刃とがバランスし、シート状物体
４より一定量浮上する。
下側検出ヘッド３中のセンサ・コイル３０４には高周波
電流が流され磁束が生成される。センサ・コイル３０４
に対向して配置されたターゲット２０６は良導体であり
、この部分に発生する渦電流によりセンサ・コイル３０
４の磁束が減少しコイル・インピーダンスが変化する。
電流が流され磁束が生成される。センサ・コイル３０４
に対向して配置されたターゲット２０６は良導体であり
、この部分に発生する渦電流によりセンサ・コイル３０
４の磁束が減少しコイル・インピーダンスが変化する。
この変化はセンサ・コイル３０４とターゲット２０６と
の間の距離に対応しており、この距離はシート状物体４
の厚さと一定浮上量の和で表される為、前記インピーダ
ンス変化をブリッジ回路等により検出すれば、シート状
物体４の厚さを測定出来る。
の間の距離に対応しており、この距離はシート状物体４
の厚さと一定浮上量の和で表される為、前記インピーダ
ンス変化をブリッジ回路等により検出すれば、シート状
物体４の厚さを測定出来る。
〈発明が解決しようとする問題点〉
このような装置が測定現場に設置されるとき、Ｘ、Ｙ方
向のヘッド位置調整が行われ、上側−出ヘッド２と下側
検出ヘッド３との位置合せが行われる。また、上側検出
ヘッド２はシート状物体４から浮上しており、フレーム
１の途中の凹凸によりヘッド２．３間の２方向（第４図
参照）の間隔が変化し、これに応じてターゲット２０６
のシート状物体４からの浮上量が若干変化し測定誤差を
引起こす、このため、第６図（ａ）の説明図で示すよう
に、Ｙ方向の測定点Ｓｔ 、Ｓ２．３３ ・・・におい
てターゲット２０６の浮上量Ｇ、、Ｇ２゜Ｇ３・・・を
空気層だけの状態で測定し、第６図（ｂ）に示す如く各
点毎に平均値からのＺ方向の誤差ｄ＋ 、ｄ２．ｄ３・
・・を得てこれを用いて各点毎にゼロ補正するようにし
ている。
向のヘッド位置調整が行われ、上側−出ヘッド２と下側
検出ヘッド３との位置合せが行われる。また、上側検出
ヘッド２はシート状物体４から浮上しており、フレーム
１の途中の凹凸によりヘッド２．３間の２方向（第４図
参照）の間隔が変化し、これに応じてターゲット２０６
のシート状物体４からの浮上量が若干変化し測定誤差を
引起こす、このため、第６図（ａ）の説明図で示すよう
に、Ｙ方向の測定点Ｓｔ 、Ｓ２．３３ ・・・におい
てターゲット２０６の浮上量Ｇ、、Ｇ２゜Ｇ３・・・を
空気層だけの状態で測定し、第６図（ｂ）に示す如く各
点毎に平均値からのＺ方向の誤差ｄ＋ 、ｄ２．ｄ３・
・・を得てこれを用いて各点毎にゼロ補正するようにし
ている。
Ｘ、Ｙ方向の特性は一旦調整を行えば狂うことは少ない
が、２方向は、本来一定であるべきターゲット２０６の
浮上量がヘッド２．３間の間隔に応じて変化する特性が
あり、加えてこの間隔自体が校正時と測定時との温度差
（測定時は温度が高くなる）によって変化する。更にＺ
方向特性は前記検出ヘッド中で使用されるゴム製ダイア
フラム等の経時変化の影響を受けて変化する。このため
、最初の校正における各測定点でのゼロ校正だけでは正
しい測定は行えなかった。
が、２方向は、本来一定であるべきターゲット２０６の
浮上量がヘッド２．３間の間隔に応じて変化する特性が
あり、加えてこの間隔自体が校正時と測定時との温度差
（測定時は温度が高くなる）によって変化する。更にＺ
方向特性は前記検出ヘッド中で使用されるゴム製ダイア
フラム等の経時変化の影響を受けて変化する。このため
、最初の校正における各測定点でのゼロ校正だけでは正
しい測定は行えなかった。
本発明の解決しようとする技術的課題は、前記浮上式の
シート状物体の厚さ測定装置において、前記２方向の特
性の変化による影響が測定結果に現れないようにするこ
とにある。
シート状物体の厚さ測定装置において、前記２方向の特
性の変化による影響が測定結果に現れないようにするこ
とにある。
く問題点を解決するための手段〉
本発明方法は下記ａ乃至ｅの工程を行うことを特徴とす
る。
る。
ａ１校正時において、上側検出ヘッドと下側検出ヘッド
とを測定時と同じ状態で近接させてゼロ測定を行う工程
と、 ｂ、前記校正時において、前記上側検出ヘッドと下側検
出ヘッドとを前記ａの工程におけるより一定ギャップ変
化させゼロ測定を行う工程と、 Ｃ０前記ａ及びｂの工程で得た測定結果から、前記上側
検出ヘッドと前記下側積上ヘッドとの間のギャップに対
する検出特性を求める工程と、 ｄ、測定時において、前記上側検出ヘッドと前記下側検
出ヘッドとの間のギャップを測定して、この測定値と前
記検出特性とから補正量を求める工程、及び ｅ、前記測定時において前記ｄの工程で得た補正量を測
定出力に加えて補正を行う工程。
とを測定時と同じ状態で近接させてゼロ測定を行う工程
と、 ｂ、前記校正時において、前記上側検出ヘッドと下側検
出ヘッドとを前記ａの工程におけるより一定ギャップ変
化させゼロ測定を行う工程と、 Ｃ０前記ａ及びｂの工程で得た測定結果から、前記上側
検出ヘッドと前記下側積上ヘッドとの間のギャップに対
する検出特性を求める工程と、 ｄ、測定時において、前記上側検出ヘッドと前記下側検
出ヘッドとの間のギャップを測定して、この測定値と前
記検出特性とから補正量を求める工程、及び ｅ、前記測定時において前記ｄの工程で得た補正量を測
定出力に加えて補正を行う工程。
く作用〉
前記の技術手段は次のように作用する。即ち、校正時に
おいて、通常の状態でゼロ測定を行った後、例えば前記
下側検出ヘッドを通常状態より一定量下げ、へ・ラド間
隔を広げてゼロ測定を行い、これら二つの異なった状態
での測定結果から２方向特性カーブを得る。
おいて、通常の状態でゼロ測定を行った後、例えば前記
下側検出ヘッドを通常状態より一定量下げ、へ・ラド間
隔を広げてゼロ測定を行い、これら二つの異なった状態
での測定結果から２方向特性カーブを得る。
測定時には、前記上側検出ヘッドと下側検出ヘッドとの
間隔を測定し、この測定値と前記２方向特性カーブとか
ら補正信号を求める。この補正信号は前記測定信号に加
えられ補正が行われる。
間隔を測定し、この測定値と前記２方向特性カーブとか
ら補正信号を求める。この補正信号は前記測定信号に加
えられ補正が行われる。
〈実施例〉
以下図面に従い本発明方法を説明する。第１図は本発明
方法を示すフローチャート、第２図は本発明方法を実施
するための装置である１図中、第５図における要素と同
じ要素には同一符号を付しこれらについての説明は省略
する。先ず、第２図において、５は下側検出ヘッド３の
ベース３０１に取付けられたギャップ・センサで、上側
検出ヘッド２との間隔を測定する。このセンサには、例
えば、センサ・コイル３０４のような磁気式センサが用
いられる。尚、その池の構成は第５図のものと変らない
。
方法を示すフローチャート、第２図は本発明方法を実施
するための装置である１図中、第５図における要素と同
じ要素には同一符号を付しこれらについての説明は省略
する。先ず、第２図において、５は下側検出ヘッド３の
ベース３０１に取付けられたギャップ・センサで、上側
検出ヘッド２との間隔を測定する。このセンサには、例
えば、センサ・コイル３０４のような磁気式センサが用
いられる。尚、その池の構成は第５図のものと変らない
。
ステップ（１）、（２）において、通常の状態と、通常
の状態より一定量ヘッド間隔を広げた状態でゼロ測定が
行われる。ステップ（３）において、前記二点の測定結
果から２方向特性が求められる。
の状態より一定量ヘッド間隔を広げた状態でゼロ測定が
行われる。ステップ（３）において、前記二点の測定結
果から２方向特性が求められる。
この過程について第３図を参照しながら詳しく説明する
。第３図において、Ｃ１は最初の校正時に得た２方向特
性カーブを表わす、Ｃ２（点線）は今回の校正で得た２
方向特性カーブを表わす。
。第３図において、Ｃ１は最初の校正時に得た２方向特
性カーブを表わす、Ｃ２（点線）は今回の校正で得た２
方向特性カーブを表わす。
横軸は上側検出ヘッド２と下側検出ヘッド３との間のギ
ャップＺを表わし、縦軸はヘッドの間隔の基準値からの
誤差ｄを表わす６校正時、空気層のみの状態とし、且つ
ヘッド間の初期ギャップを通常の測定状態と同じ間隔に
設定してゼロ測定を行う、このときのギャップをＺｏと
する０次いで、同じく空気層のみの状態で、例えば下側
検出ヘッド３を所定量ΔＺ下げ、ヘッド間ギャップを２
０＋Δ２に設定してゼロ測定を行う。
ャップＺを表わし、縦軸はヘッドの間隔の基準値からの
誤差ｄを表わす６校正時、空気層のみの状態とし、且つ
ヘッド間の初期ギャップを通常の測定状態と同じ間隔に
設定してゼロ測定を行う、このときのギャップをＺｏと
する０次いで、同じく空気層のみの状態で、例えば下側
検出ヘッド３を所定量ΔＺ下げ、ヘッド間ギャップを２
０＋Δ２に設定してゼロ測定を行う。
ギャップ２がどのように設定されても、ターゲット２０
６は基準面であるガラス３０６より一定量浮上した位置
に移動し、本来、誤差ｄは発生しない筈である。しかし
、第３図から分るように、誤差ｄは、ギャップＺの増大
と共に増加する特性を有し、しかもこの特性は経時変化
によって０１から０２に変化する０本発明では、例えば
一定時間毎に行われる校正毎に二点校正を行い２方向特
性カーブを作り直すようにしている。
６は基準面であるガラス３０６より一定量浮上した位置
に移動し、本来、誤差ｄは発生しない筈である。しかし
、第３図から分るように、誤差ｄは、ギャップＺの増大
と共に増加する特性を有し、しかもこの特性は経時変化
によって０１から０２に変化する０本発明では、例えば
一定時間毎に行われる校正毎に二点校正を行い２方向特
性カーブを作り直すようにしている。
測定時、ステップ（４）で、ギャップ・センサ５により
ヘッド間キャップを測定し、この測定値２亀と新たに作
り直しな２方向特性カーブＣ２とから補正信号ｄ亀を求
める。ステップ（５）で、補正信号ｄ亀を用いてセンサ
・コイル３０４で検出された測定信号に対して補正が行
われる。
ヘッド間キャップを測定し、この測定値２亀と新たに作
り直しな２方向特性カーブＣ２とから補正信号ｄ亀を求
める。ステップ（５）で、補正信号ｄ亀を用いてセンサ
・コイル３０４で検出された測定信号に対して補正が行
われる。
〈発明の効果〉
本発明によれば、前記厚さ測定装置において、前記２方
向の特性の変化による影響が測定結果に現れない。
向の特性の変化による影響が測定結果に現れない。
第１図は本発明方法を示すフローチャート、第２図は本
発明方法を実施するための装置、第３図は本発明方法を
説明するための説明図、第４図はシート状物体の厚さ測
定装置の全体構成を示す斜視図、第５図は従来装置で使
用される検出ヘッドの断面図、第６図は従来装置におけ
る校正方法を説明するための説明図である。 ２・・・上側検出ヘッド、２０５・・・ダイアフラム、
２０６・・・ターゲット、３・・・下側検出ヘッド、３
０４・・・センサ・コイル、３０６・・・ガラス、４・
・・シート状物体 第１図 ｗｃ２図 １３図 第５図 第６図
発明方法を実施するための装置、第３図は本発明方法を
説明するための説明図、第４図はシート状物体の厚さ測
定装置の全体構成を示す斜視図、第５図は従来装置で使
用される検出ヘッドの断面図、第６図は従来装置におけ
る校正方法を説明するための説明図である。 ２・・・上側検出ヘッド、２０５・・・ダイアフラム、
２０６・・・ターゲット、３・・・下側検出ヘッド、３
０４・・・センサ・コイル、３０６・・・ガラス、４・
・・シート状物体 第１図 ｗｃ２図 １３図 第５図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一方向に送給されるシート状物体から一定量浮上したタ
ーゲットを有する上側検出ヘッドと、前記シート状物体
を挾んで前記上側検出ヘッドと対向配置された下側検出
ヘッドとを有し、これらヘッドを前記シート状物体の幅
方向に往復走行させ、前記シート状物体の厚さを測定す
る装置の校正方法であって、下記ａ乃至ｅの工程を行う
ことを特徴とする厚さ測定装置の校正方法。 ａ、校正時において、前記上側検出ヘッドと下側検出ヘ
ッドとを測定時と同じ状態で近接させてゼロ測定を行う
工程と、 ｂ、前記校正時において、前記上側検出ヘッドと下側検
出ヘッドとを前記ａの工程におけるより一定ギャップ変
化させゼロ測定を行う工程と、 ｃ、前記ａ及びｂの工程で得た測定結果から、前記上側
検出ヘッドと前記下側検出ヘッドとの間のギャップに対
する検出特性を求める工程と、 ｄ、測定時において、前記上側検出ヘッドと前記下側検
出ヘッドとの間のギャップを測定して、この測定値と前
記検出特性とから補正量を求める工程、及び ｅ、前記測定時において前記ｄの工程で得た補正量を測
定出力に加えて補正を行う工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31554487A JPH01155204A (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 厚さ測定装置の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31554487A JPH01155204A (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 厚さ測定装置の校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01155204A true JPH01155204A (ja) | 1989-06-19 |
Family
ID=18066621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31554487A Pending JPH01155204A (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 厚さ測定装置の校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01155204A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
| US8117891B2 (en) | 2006-03-10 | 2012-02-21 | Metso Automation Oy | Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment |
| CN118583102A (zh) * | 2024-08-05 | 2024-09-03 | 山东新美达科技材料有限公司 | 一种冷轧钢板横向厚度差测量装置 |
-
1987
- 1987-12-14 JP JP31554487A patent/JPH01155204A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8117891B2 (en) | 2006-03-10 | 2012-02-21 | Metso Automation Oy | Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment |
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
| CN118583102A (zh) * | 2024-08-05 | 2024-09-03 | 山东新美达科技材料有限公司 | 一种冷轧钢板横向厚度差测量装置 |
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