JPH01155236A - 硬度測定装置のための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、一端部領域に試験体が保持され、中央部領域
は旋回中心に関して旋回自在であり、第２の端部領域を
有するロッド装置と、薄い層の厚さを測定するためのプ
ローブに基づいて動作するスムーズに降下可能な測定装
置とを有する硬度測定装置の友めの装置に関する。

〔従来の技術及び問題点〕

このような装置はドイツ公開特許公報第３５０１２８８
号（米国特許第４　、６９１　、５５９号、英国公開特
許明細書第８５０３１０９号１日本特許出願昭６０−８
７６４７　）から知られている。

ドイツ公開特許公報の３１ページ、第１段落の最後の文
から明らかであるように、試験体を「完全に反発なしに
」設置することが不可欠である。

ここに記載される装置は、最も薄い表面層の硬度の領域
で始めてマイクロ硬度を測定することができるという利
点を有する。この場合、実施される測定方法は破壊を伴
なわない。しかしながら、その一方で、表面硬度測定及
びマイクロ硬度測定の可能性に関してこの装置に存在す
る能力の全てを装置から引出すために、ここで提案でき
ている程度よりさらに反発を少なくして試験体を設置し
なければならないことが指摘された。

〔発明の課題〕

本発明の目的は、試験体を表面上により簡単にセットア
ツプできるような装置を提供することである。その場合
、従来と同様に、先行技術文献に記載される技術をさら
に適用することができなければならない。すなわち、先
に薄い層の測定の際に使用されたようなプローブ測定方
式により試験体を測定すべき材料の表面の下に貫入させ
ることを可能にすべきである。このとき、１μｍ未満の
層厚さ変動でも容易に測定することができる。この技術
の元となるのはドイツ公開特許公報第３４０８５５４号
である。２つの公開特許公報に記載される内容はここで
も適用される。

本発明の目的は、完全に表面部に位置する層領域におけ
る硬度の測定でも再現性をもって実施できるように試験
体をスムーズにセットアツプすることが一層容易である
ような冒頭に挙げた種類の装置を提供することである。

〔発明の概要〕

本発明によれば、この目的は請求項１の特徴部分から明
らかである特徴により達成される。

本発明による装置によって、約２０原子直径に対応する
２から３ナノメートルの貫入深さまで分解することが可
能である。

旋回中心に関するモーメントは制動装置の第１の可動部
分の重量×旋回中心までの第１の長さと、第２の端部領
域に作用する重量×旋回中心までの第２の長さとが等し
いこととすることにより、制動装置はその可動部分で同
時に釣合いおもりとしても利用されることが可能になる
ので、旋回中心の向こう側に存在する重量を部分的に又
は可能であれば全体として補償することができる。

制動装置は位置に影響されないようにすると、あらゆる
位置での測定が可能になる。いずれにせよ、流体制動形
の制動装置は、たとえば頭上での動作の場合に流体が必
然的に濃縮され、摩擦を引起こすと考えられるので、不
適切である。

制動装置は受動的であることにより、制動後の力は一定
となる。それ自体としては、たとえば、電磁制動装置を
使用してもその効果は得られるであろう。しかしながら
、そのようなコイルを流れる電流は全く一定に保持でき
ないか又は多大な努力を払って始めて一定に保持できる
。しかし、この方向では受動的制動装置は限界をも友な
い。

制動装置は永久磁石を有することにより、特に簡単な受
動的制動装置の基礎が設定されるが、これは特に大量生
産品の永久磁石であり、非常に安価であるばかりでなく
、大量生産品であることから非常に正確に保持すること
ができる。

制動装置の第１の可動部分を導電率の高い金属薄板とす
ることにより、うず電流により良好な制動が得られる。

金属薄板はその有効領域で非常に平坦であれば、ロッド
装置のあらゆる位置で制動力を等しくすることができる
。そこで、磁力（及びその他の力）は距離の二乗に従っ
て変化することを考慮すべきである。金属薄板が平坦で
なければ、ロッド装置が様々な位置をとるごとに力も変
化してしまうであろう。

金属薄板に銅板を用いることにより低コストでの製造が
可能になると共に、相当に高価な銀とほぼ同じ導電率が
得られる。

銅板は９５チを越える銅成分を含む純度の高い銅から成
る特徴により価格と作用効果との最良の関係が達成され
る。そのような銅板は常に十分な剛性を有するので、付
加的な補助フレームなしでも、その平坦な位置に正しく
保持されることかできる。さらに、銅板は制動動作の際
にその重力方向に使用するので、維持は容易に可能であ
る。

銅板の片面を５から３０Ｃｒｎ１好ましくは１０から２
０ｃｒｎの範囲にすれば、装置は十分に小形であ、ジ且
つ質量は十分に小さくなる上に、面の広さは磁力を作用
させるのに十分である。

制動装置の第２のハウジングに固定された部分は頑丈で
、剛性の高い永久磁石の支持装置を有し、その支持装置
の出口面又は入口面は金属薄板の面にわずかな間隔をも
って対向する特徴に従って、頑丈且つ剛性の構造により
、他方では短い距離が常に確実に保持され、金属薄板を
永久磁石に近接させることができる。

支持装置は少なくともその前面に、永久磁石が凹部に埋
設されているような平坦な板を含む特徴により永久磁石
は固定位置に把持され、それぞれ同じ深さで板に埋設さ
れるので、面全体にわたり磁界は一様である。

永久磁石の外面は板の前面とアライメントされる特徴に
よれば簡単な手段を利用して同様の精密な距離条件が得
られる。

永久磁石を接着剤により貼付すれば、衝撃又は熱が原因
となって起とりうる永久磁石の特性の変化はなくなる。

さらに、亀裂の形成につながる永久磁石の損傷も少ない
。

希土類及びコバルトから成る異方性永久磁石材料のよう
な種類の永久磁石は現時点で、出願人の知識に照らして
最良の特性が得られる。

鉄金属から形成され、互いにわずかな距離をおいて堅固
に取付けられる２枚の互いに平行な板が設けられ、その
ようにして形成され友狭い間隙の中に金属薄板が対称に
配置されると、制動効果は向上し、ロッド装置に斜めか
ら作用するような側方向の力は回避される。従って、旋
回中心は、試験体の移動方向に沿った力のみに耐えれば
良い。

鉄金属として軟鉄を用れば、さらに良好な制動効果が得
られる。表面的には、磁気的短絡が発生すると考えなけ
ればならないであろう。しかしなカラ、その効果は、板
にたとえばアルミニウム又はその他の磁性でない材料を
使用したときより高い。

本発明により、約８チの一度の行過ぎ量を伴なう非周期
的制動が達成される。銅板がｌＡＣ３に従って約１００
％の導電率を有するときに最良の値が得られる。本発明
によれば、　２ナノメートル、すなわち２０原子直径ま
での貫入深さの分解能が得られる。使用される磁石はほ
ぼ温度に影響されず、その残留磁気はきわめて高い。

〔実施例〕

以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第９図に示される硬度測定装置の底部１）には支持板１
２がねじで取付けられており、この支持板１２には、正
方形の横断面を有し、一端部１４が第１図では前方に向
いているスタンド１３が堅固に固定される。正面側から
ねじ切り盲穴部１６が形成されている。スタンド１３の
正方形の横断面に対応して、金属軸受台１７にはその前
方側から三角プリズム形のガイド部１８が設けられてお
夛、ガイド部１８には切シロ線２１として第１図に示す
ように長手方向凹部１９（第３図）が形成される。クラ
ンプブロック２２は軸受−＠１７の第１図で見て前方側
からねじ２３により取付けられ、ガイド部１８と相補的
な形状の凹部を有するので、スタンド１３の正方形の横
断面を受入れることができ、ねじ２３を締付ければ、ス
タンドをほぼ完全に包囲し且つ上下に全く摺動しないよ
うに固定クランプすることができる。軸受台１７は、盲
穴部１６とアライメントされた貫通孔を有する上方クラ
ンプ板２４を含む。この貫通孔は、盲穴部１εにねじ込
まれるねじ２６のねじ軸部が貫通するものである。クラ
ンプ板２４の下面とスタンド１３の上面との間には、一
連の板ばね２Ｔが設けられている。ねじ２３をゆるめ九
とき、軸受台１７はスタンド１３に沿って下方へ動き、
ねじ２６を逆方向に回すと、軸受台１７は下方に動く。

板ばね２７及びねじ２６に対して、クランプ板２４は第
３図によれば左方に向いた突起２８を有し、この突起２
８は、第３図に示すように、左側の平坦な面２９を越え
て突出している。クランプ板２４は、軸受台１７の面２
９及びそれと平行である平坦な而３１の近傍に、軸受台
１７の中心部分を形成し、第３図によれば太目のＨの形
状を有する外側フレーム３３に螺合される４個のねじ３
２に対応する４つの貫通孔を有する。クランプ板２４は
、その平坦な下面３４に、後述する細管４０の幾何学的
長手方向軸３Ｂに対して常に垂直である突起３６を有す
る。突起３６の側面３９は互いに平行であり、第３図で
は垂直の向きになっている□。第３図に示すように、外
側フレーム３３はこの形状に相応して幅広で、平坦な溝
４１を有する。溝４１は幾何学的長手方向軸３８に対し
てセンタリングされており、同様にこの軸に対し垂直で
ある。下面３Ｔと溝４１の底面との間には、ベリリウム
／銅から成る第１の板ばね４２の第１図によれば左側の
領域が配置される。第１図の実物大の図面から、板ばね
４２の前端部４３は明瞭に見える。後端部４４は軸受台
１７の背面とアライメントされるので、板ばね４２の全
長である８８．５１）１）と比べると相当に長い約３副
の長さのばね装着箇所が形成されることになる。板ばね
４２の軸受台１７からの出口部４６は、幾何学的長手方
向軸３８と平行な、第１図によれば右側の平坦な面４７
に規定されて位置する。出口部４Ｂでは突起３６及び溝
４１の底面は鋭くとかつ九角部を有するので、規定され
た出口部４６は規定されたばね装着スペースと、幾何学
的長手方向軸３８までの規定された距離とを成立させる
。板ばね４２の厚さは０．　Ｉ　Ｗであるので、同様に
実物大である第３図ではこのばねは見えない。板ばねの
幅は１２ｆｉでｔｈｖ、溝４１はそれよりわずかに広い
ため、溝４１は板ばね４２を予荷重なしに受入れること
ができる。第３図に示すように、下面３７及び溝４１の
底面は幾何学的長手方向軸３８に対し垂直である。

外側フレーム３３の下方には、クランプ板２４の突起２
８ｔでは同様であるが、それよりやや薄いクランプ板４
８がねじで取付けられる。このクランプ板と、溝４１に
対向して設けられる溝４９とにより、第２の同様の板ば
ね５１が保持される。

板ばね４２に関する事情は先に詳細に説明しであるので
、ここで繰返す必要はない。九だし、この溝４９も幾何
学的長手方向軸３８に対し垂直でなければならないこと
と、出口部５２が幾何学的長手方向軸に至るまで等しい
距離を有することを指摘しておく。板ばね５１もＣｕＢ
ｅ２から成り、０．１Ｍの厚さである。その他の寸法も
先に述べ比値と全く同じである。板ばね４２．５１は平
坦であり、不適切な加工方法又は湾曲などに起因すると
思われる残留応力をもたない。また、０．１から０．０
１　ミリニュートンの力に関して特性の均一性がある。

第１の板ばね４２は、その自由端部領域に、直径６ＩＩ
ＩＩ＋の円形の穴５３を有する。この穴も縁部に応力な
しにエツチングにより形成される。

穴５３は幾何学的長手方向軸３８と同軸であると共に、
板ばね４２の中心線５４とも正確に同軸である。この第
２の同軸関係によって、傾斜は全く起こらない。板ばね
５１は全く同じ配置関係で穴５６を有する。

細管４０はチタン／アルミニウム合金から成るので、軽
量且つ頑丈である。細管は十分な平削りにより製造され
ている。細管の外径は穴ｓａ、ｓ、ｍの直径に対応する
。休止状態（ゼロ位ｆｉりにあるとき、細管４０は幾何
学的長手方向軸３８に対して正確に同軸に位置する。細
管は上方に雄ねじ部３７を有する。細管４００穴５３へ
の固定は、上方から押入れられる小リング５８と、下方
から押入れられる小リング５９とにより行なわれる。こ
れら２つの小リングは低温硬化性接着剤によジ細管４０
に接着される。細管４０は、下方領域で板ばね５１の上
面と同じ高さに円筒形の７ランジ６１を有し、板ばね４
２の右側端部領域からフランジ６１）での距離は、出口
部４６及び５２の離間距離と厳密に等しい。細管４０は
フランジ６１の下方で穴５６を貫通し、その下方へわず
かに突出して、同軸スリーブ６２に嵌入する。このスリ
ーブ６２の上方領域及びフランジ６１には低温硬化性接
着剤が少量塗布されている。「低温」とは、当然のこと
ながら、板ばねの構造を変化させない温度を表わす。ス
リーブ６２は最も下方で試験体を形成するダイアモンド
６３を把持し、雄ねじ部シには電動駆動装置６３がねじ
で取付けられている。

測定中に幾何学的長手方向軸３８が常に地球の中心を指
していることが確かであれば、この構成で十分であろう
。しかしながら、任意の位置での測定を可能にするため
に、さらにいくつかの措置を構じる。第６図には、板ば
ね６４が２倍の大きさで示されている。この板ばねは幅
が１４Ｗ１高さが２５咽でｔｊり、同様にＣｕＢｅ２か
ら製造され、厚さは０．１　ｆｉであり、その形状は応
力なしにエツチングにより形成されている。休止状態に
あるとき、板ばねは全く平坦である。その中心平面６６
は幾何学的長手方向軸３８と、中心線５４とに同時に位
置している。板ばねは中心平面６６に対して対称である
。第６図の図示平面に位置する板ばねの平面は幾何学的
長手方向軸３８と平行である。

輪郭形状が矩形である板ばね６４は、上下逆のＵ字形を
した中心対称の切欠き６７を有する。その上方の幅広の
クランプ領域６Ｂには位置決め穴６９が設けられ、この
穴から両側下方へ２つの狭いアーム７１．７２が出てい
る。Ｕの長手方向脚部によりそれらのアームから区分さ
れる中央舌片Ｔ３は、下方で、横方向結合部７４により
アーム７１゜７２と接続する。切欠き６Ｔの縁部が作用
中に応力による衝撃を受けることができるならば、そこ
で０．７５＋ｗの半径が設定される。板ばね６４はクラ
ンプ板７６によって長手方向凹部１９に垂直方向に懸垂
されて、応力及び湾曲が生じないように固定クランプさ
れ、クランプ力は２つのねじ７７により与えられる。外
側フレーム３３と固定結合される位置決めピンは位置決
め穴６９を貫通する。

第６図から明らかであるように、板ばね６４の垂直に延
伸する境界限定縁部は幾何学的長手方向軸３８と平行で
あシ、平行に延伸する境界限定縁部はこの軸に対し垂直
である。中央舌片Ｔ３の中央には、中心軸が幾何学的長
手方向軸３Ｂと交わる丸形の穴７８がエツチングにヨり
形成されてい・る。

湾曲部分７９は穴Ｔ８の下縁部エフかなり深い位置にあ
り、下縁部から約２ｍの最小離間距離を有するので、穴
７８における力が第７図で左向きの力を加え穴とき、第
７図に示される中央舌片７３はほぼ垂直に立つ次ままで
左へ動くことができる。

このとき、アーム７１．７２はややＳ字状となる。

この力は、穴７８を貫通し且つ穴７８の領域に上述の接
着方法により接着固定される第２の細管８１により加え
ることができる。この細管は、重量及び剛性を考えて、
同様にアルミニウム／チタン合金から成り、肉薄である
。細管の外径は５ｍ、長さは約１），５ｃｒｎである。

細管の第１図によれば右側の端部領域は、厳密に板ばね
４２，５１の平面に位置する、すなわち幾何学的長手方
向軸３８に対し垂直である短い横方向スリット８２を有
する。

第５図に示すように、板ばね４２，５１と比べて短いが
幅は同じであり、同じ材料から成り、休止位置にあると
きに応力を受けず且つ輪郭形状がエツチングにより形成
されている板ばね８３は、はぼその中央領域に、２つの
深い側方湾曲切欠き８４を有し、それらの切欠きの間に
残された板ばねの幅は約四分の−である。切欠きの左側
には、スリット８２に応力なしに接着されたフィン８６
がある。第１図から明らかであるように、細管８１の右
側端部から幾何学的長手方向軸３８までの距離はわずか
約８１）ｏｌである。板はね８３は幾何学的長手方向軸
３８に対し厳密に垂直に位置し、穴５３゜５６に対応し
且つそれらと完全にアライメントされた穴８７を有する
。穴８７の周囲領域においては、小リングを使用する同
様の方法により又は細管４０と一体の対向７ランジによ
り接合が行なわれる。

細管８１は、対向ナツト９１により釣合いおもｖ８９が
螺合される雄ねじ部８Ｂを左側に有する。

さらに、雄ねじ部８８には、本発明には重要でない機能
を有する電気制動装置のための平板９２が設けられる。

釣合いおもり８９により、第１図に示される構成で板ば
ね４２，５１．８３が屈曲されないような精密な重量平
衡を得ることができる。

１０倍に拡大して示す第８図の上方には、直径を６Ｍと
した細管４０が見られる。スリーブ６２の固定は、板ば
ね５１が下方から当接している７ランジ６１、アルミニ
ウム製のスリーブ６２の上方同軸円筒形端面９３、細管
４０の最も下方の領域を別の下方へ延出する段付き孔の
上方同軸孔９３へ重ね合せながら挿入するといった順序
で、低温硬化性接着剤により行なわれる。第８図では左
から、また、第１図では右から、スリーブ６２は立って
いる壁に大きな穴９４を有し、ハウジングに固定され且
つ電気導線９７が敷設されているアーム９６はこの穴９
４の中へ突出する。導線９７は、冒頭に挙げた公開特許
公報から知られているプローブＴ７に匹敵するプローブ
ヘッド９８に至る。

幾何学的長手方向軸３８と同軸であるコイル室９９の内
部には、図示される通り、コイル１０１がある。

孔９３の底面１０２はコイル１０１の下面より著しく深
い位置にある。底面１０２から、ＡｔＣｕＭｇＰｂＦ３
８から成る測定極１０３が上方へ突出する。測定極の端
面１０４は精密加工されており、幾何学的長手方向軸３
８に対し垂直である。そのピン１０６は回転対称形ダイ
アモンド支持体１０Ｂの孔１０７に差込み固定される。

ビシのスリーブ１０９は、測定極１０３の頭部と接触し
ない同軸延出孔１）１に差込まれる。

ダイアモンド支持体１０８は、孔１０７の端部の領域で
、ポール状膨出部１）２によって外方へ突出する。

膨出部１）２は、スリ゛−プロ２の下方端面１）３に連
接する平坦な円筒形孔１）４の中に位置している。

この孔は、膨出部１）２の最も肉厚の箇所１）６の下方
の壁面に、幾何学的長手方向軸３８に対し垂直の内周溝
１）７を有する。この内周溝１）７の内部に位置する止
め輪１）８は、ゆるみ位置に近接する位置では少なくと
も部分的に孔１）４の中へ突出するが、完全にゆるんだ
位置においては、幾何学的長手方向軸３Ｂに対し垂直で
あり且つ内方に向かってスリーブ１０９の周囲面への移
行部を形成する環状の肩部１２１と共に膨出部１）２の
周囲を構成する角部１）９よυ先へは突出しない。この
肩部１２１は孔１）４の底部１２２に当接して規定され
、この位置において、まだ応力を受けた状卯にあＶ且つ
一最も肉厚の箇所１）６に沿ってすべるために一膨出部
１）２及びそれと共にダイアモンド支持体１０Ｂ全体を
押上げようとする止め輪１）８により確実に保持される
。

ハウジングの底部１）には、ダイアモンド１２８の台１
２７が通ることができる中心孔１２６を有する第８図か
ら明らかなはめ込み部１２４がある。台１２７は円筒部
１２９を介して膨出部１）２と一体である。はめ込み部
１２４は、上方が開いたはち形部分１３１を有する。こ
れにエフ、意図しない方向への動きは阻止され、スリー
ブ６２の下方領域はダイアモンド支持体１０８と共に保
護される。この構成はダイアモンド１２８のすぐ近傍で
の同、軸状態の測定を可能にすると共に、ダイアモンド
支持体１０８を容易に、しかも再現性をもって交換でき
るようにする。端面１０４はダイアモンド１２８及びそ
の尖端の動きにほぼ直ちに（実際的に見れば全く支障な
く直ちに）従う。端！ｆｉ１０４は、冒頭に挙げたドイ
ツ公開特許公報の部分７４の下向きの面に対応する。

第９図には、本発明による装置の配置が示される。主軸
１３２及び板ばね１３３は、ドイツ公開特許公報の主軸
１０４及び板ばね９６に対応する。金属板１３４には不
可欠な電子回路が取付けられている。

測定極１０３がアルミニウム製である場合、コイル１０
１との間に力に対応した戻り作用は起こらない。しかし
ながら、測定極の好ましくは全体を又は少なくとも上部
領域をフェライトから製造すると、著しく高い表示感度
が得られる。フェライトの場合も、戻り作用を測定する
ことはできなかった。

穴７８の中には、細管８１自体の質量を含めて細管８１
に作用する全ての質量の重心が位置している。

釣合いおもｖ８９は円形の金属板であり、雄ねじ部８８
に螺合される雌ねじ部１３６を有する。図示平面におい
て、釣合いおもり８９には、厳密に半径方向上方からス
リット１３７が設けられ、下方からスリット１３８が設
けられるが、スリット１３８は雌ねじ部１３６までは達
していない。各スリット１３７　、１３８には雌ねじ部
１３９　、１４１が貫入しており、それらの雌ねじ部に
は図示されない止めねじが挿入螺合される。止めねじは
平板９２又は平板１４２をその右下角部又は右上角部で
固定保持する。

２枚の平板９２．１４２は約２．５１）！ＩＩの幅であ
る。平板１４２は正方形であり、平板９２は３３日の高
さである。平板は０．５簡の厚さでアリ、非常に平坦で
ある。平板は９５％を越える銅成分を含む銅製である。

細管４０が試験体６３と共に上下に移動すると、平板９
２　、１４２は中央舌片Ｔ３を回転中心としてそれぞれ
逆方向に上下動する。

第９図に示される箇所で、頑丈な惨形の金属形材１４３
は底部１）にねじで固定される。金属形材は約６．５ｍ
の高さであり、２枚の鉄製の上方板１４４　、１４６を
支持する。上方板はそれぞれ４＋ｍの厚さであり、−辺
３ｃｒｎの正方形である。上方板は、第１Ｏ図及び第１
）図によればその左側縁部領域で、両側から、金属杉板
１４３の側からのねじ１４７と、上方板１４４の側から
の２つのねじ１４８とにより金属形材１４３に固定ねじ
留めされる。従って、その全体構造は非常に頑丈で、全
体的に剛性のものとなる。互いに完全に平行に位置する
平坦な内面１５１　、１５２の間にスリット１４９を形
成するために、左側縁部領域に、条片形のスペーサ１５
３が設けられている。ねじ１４７　、１４８はこのスペ
ーサをも貫通する。スペーサ１５３は１．３ｍの厚さで
あるので、上方板１４４　、１４６を正確に中心位置決
めしたとき、スリット１４９内の両側に０．４１０１の
空隙が残される。上方板１４４　、．１４６は垂直方向
の金属形材１４３により被咎されない領域に、スペーサ
１５３に直接隣接するように、３つの垂直方向に配列さ
れた互いに同一の段付き孔１５８　、１５９の列を有し
、それらの孔は互いに厳密に対向して位置している。

孔の列１５４及び１５７は４つの孔を含み、孔の列１５
６は３つの孔を含むが、それらの列はスペース節約のた
めに互いに同じようにずれて配置される。

この位置ずれによって、個々の段付き孔を互いに非常に
近接して配置することができる。各段付き孔１５８　、
１５９は対を成して同じ深さで、互いにアライメントす
るように設けられている。段付き孔は広い磁石室１６１
と、それに続く、直径の小さい空間１６２と、さらにそ
れに続く出口孔１６３とから構成される。磁石室１６１
と空間１６２との間には環状肩部１６４が形成される。

磁石室の直径は６．１ｆｌ、深さは２．１５ｆｌである
。磁石室の内部には円環形の永久磁石１６６が設置され
るが、この永久磁石は２．１５ｍ１）の高さであるので
、その表面は内ｌ１）５１゜１５２と正確にアライメン
トされる。永久磁石は磁石室１６１の内部に接着される
が、その際、環状肩部１６４は永久磁石を正しく位置決
めし、空間１６２及び出口孔１６３は過剰な接着剤を受
入れる。１枚の上方板１４４　、１４６の１）個の永久
磁石１６６が全て同じ極性を有していることは重要であ
る。たとえば、内面１５１にＳ極面が来なければならな
いとすれば、内面１５２にも同じ極が位置していなけれ
ばならない。スリット１４９に対して同じ符号の極が対
向するか又は異なる符号の極が対向するかは、さして大
きな違いにはならない。

上方板１４４　、１４６について以上説明したことが２
枚の板１６７にそのまま当てはまる。第１０図には、一
方の板のみが示されている。それらの板のスリットはス
リット１４９と正確にアライメントされ、スリット内に
は完全に対称に平板１４２が位置している。この完全対
称配置により、細管８１に対して、第１図の図示平面に
垂直に作用する力が発生されることはなくなる。

釣合いおもり８９は主要質量を一体化する。これに、平
板９２　、１４２の小さな質量が加わる。３つの構成要
素全ての総重量は約１５グラムである。

平板９２　、１４２を銀から製造することもできる。

しかしながら、導電率の約１０％向上と、コスト高との
バランスが問題となる。

雄ねじ部８８の左端を釣合いおもｖ８９で終わらせる場
合には、平板９２　、１４２の離間をなくすことが必要
であり、より多くの数の永久磁石１６６を含む連続する
板１４４　、１４６に対応するような唯−枚の連続する
平板を設けることができる。

上述の制動装置は駆動装置６３における電流雑音を非周
期的に減衰する。大きさに関していえば、装置は数ナノ
メートル／十分の一秒の速度でも減衰する。　　　　　
− 使用する磁石は、Ｋｒｕｐｐ社よ、ｊ）　Ｋｏｅｒｍａ
ｘの商品名で販売されている製品である。

以下に本発明の実施の卯様を列挙すれば次の通りである
。

（へ）制動装置の第１の可動部分は導電率の高い金属薄
板であることを特徴とする請求項４記載の装置。

（ロ）金属薄板はその有効領域で非常に平坦であること
を特徴とする上記（イ）記載の装置。

（ハ）金属薄板は銅板であることを特徴とする上記（イ
）記載の装置。

に）銅板は９５チを越える銅成分を含む純度の高い銅か
ら成ることを特徴とする上記（ハ）記載の装置。

（ホ）銅板の片面は５から３０ｃｒｎ１好ましくは１０
から２０ｔＭＩの範囲にあることを特徴とする上記（ハ
）又はに）記載の装置。

（へ）制動装置の第２のハウジングに固定された部分は
頑丈で、剛性の高い永久磁石の支持装置を有し、その支
持装置の出口面又は入口面は金属薄板の面にわずかな間
隔をもって対向することを特徴とする請求項１から５の
いずれか１項又は上記０）〜（至）のいずれかに記載の
装置。

（ト）支持装置は少なくともその前面に、永久磁石が凹
部に埋設されているような平坦な板を含む上記（へ）記
載の装置。

（イ）永久磁石の外面は板の前面とアライメントされる
ことを特徴とする上記（ト）記載の装置。

（す）永久磁石は接着剤により貼付されることを特徴と
する請求項５記載の装置。

休）永久磁石は希土類及びコバルトから成る異方性永久
磁石材料のような種類の永久磁石であることを特徴とす
る請求項５記載の装置。

に）鉄金属から形成され、互いにわずかな距離をおいて
堅固に取付けられる２枚の互いに平行な板が設けられる
ことと、そのようにして形成された狭い間隙の中に金属
薄板が対称に配置されることを特徴とする上記（ト）記
載の装置。

（ロ）鉄は軟鉄であることを特徴とする上記に）記載の
装置。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による装置の部分分解側面図、第２図
は、第１図の矢印２に従って見た図、第３図は、第１図
の線３−３に沿った断面図、第４図は、第１図の線４−
４に沿った断面図、第５図は、第１図の線５−５に沿っ
た断面図、第６図は、揺動継手として作用する板ばねの
図、第７図は、第６図に示す板ばねの作用をさらに明瞭
にするために一部を切取った第６図の矢印７に従つ友図
、 第８図は、第１図の右側に示される細管の右側下部領域
の断面図、 第９図は、携帯用装置全体の一部を開放した斜視図、 第１０図は、第１図の左側に不完全ながら示される制動
装置の分解側面図、 第１）図は、スリット内に存在する金属薄板を含む第１
０図の線１）−１）に沿つ几断面図、及び 第１２図は、磁石を取除いた金属板の内面図である。 １３・・・・スタンド、１７・・・・軸受台、２２・・
・・クランプブロック、２４・・・・上方クランプ板、
３３・・・・外側フレーム、３８・・・・幾何学的長手
方向軸、４０・・・・細管、４２・・・・板ばね、４８
・・・・クランプ板、６３・・・・ダイアモンド、６４
・・・・板ばね、８１・・・・細管、８３・・・・板ば
ね、８９・・・・釣合いおもり、９２・・・・平板、１
０３・測定極、１４２・・・・平板、１４４　、１４６
・・・・上方板、１４９・・・・スリット、１５３・・
・・スペーサ、１６６・・・・永久磁石、１７６・・・
・板。 特許出願人　　へルムート・フィッシャー・ゲーエムペ
ーハー・ラント・コンパニ・インステイテユート・フユ
ア・エレクトロニク・ラント・メステクニク代理人　山
川政樹（＃”１ｆｆ１）２名）ＦＩＧ、１　　　　′ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、ｆｌ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）一端部領域に試験体が保持され、中央部領域は旋
   回中心に関して旋回自在であり、第２の端部領域を有す
   るロッド装置と、薄い層の厚さを測定するためのプロー
   ブに基づいて動作するスムーズに降下可能な測定装置と
   を有する硬度測定装置のための装置において、 ａ）ロッド装置の一端部領域に、振動制動装置の第１の
   可動部分が設けられ、 ｂ）第１の可動部分の長手方向は試験体の移動方向と同
   一であること を特徴とする装置。
2. （２）旋回中心に関するモーメントは、制動装置の第１
   の可動部分の重量×旋回中心までの第１の長さと、第２
   の端部領域に作用する重量×旋回中心までの第２の長さ
   とが等しいことを特徴とする請求項１記載の装置。
3. （３）制動装置は位置に影響されないことを特徴とする
   請求項１記載の装置。
4. （４）制動装置は受動的であることを特徴とする請求項
   ３記載の装置。
5. （５）制動装置は永久磁石を有することを特徴とする請
   求項４記載の装置。