JPH01156496A - 耐蝕被覆方法 - Google Patents
耐蝕被覆方法Info
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- JPH01156496A JPH01156496A JP31234487A JP31234487A JPH01156496A JP H01156496 A JPH01156496 A JP H01156496A JP 31234487 A JP31234487 A JP 31234487A JP 31234487 A JP31234487 A JP 31234487A JP H01156496 A JPH01156496 A JP H01156496A
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Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は腐蝕性ガスが使用される真空蒸着装置やプラズ
マCVD装置等に用いられるステンレス部材の耐蝕被覆
方法に関する。
マCVD装置等に用いられるステンレス部材の耐蝕被覆
方法に関する。
(従来の技術)
従来、ステンレス部材はハロゲンやその化合物により腐
蝕され易いので、アルミナの粉末をプラズマ溶射し、第
1図示のようにステンレス部材aの表面をアルミナ溶射
被膜すで覆うことが行なわれている。またアルミナの被
膜すを形成するに先立ち、第2図示のように、アルミニ
ウムの被膜Cを溶射により形成することも行なわれてい
る。
蝕され易いので、アルミナの粉末をプラズマ溶射し、第
1図示のようにステンレス部材aの表面をアルミナ溶射
被膜すで覆うことが行なわれている。またアルミナの被
膜すを形成するに先立ち、第2図示のように、アルミニ
ウムの被膜Cを溶射により形成することも行なわれてい
る。
(発明が解決しようとする問題点)
前記第1図示のようにステンレス部材aに直接アルミナ
の被膜すを形成したものは、金属にセラミックスの被膜
を形成することになるので、密着性が悪く、しかも両者
の熱膨張率の差があるので、アルミナ被膜すにクラック
が入り、ハロゲン等がクラックを介して侵入し、ステン
レス部材aを腐蝕させる欠点がある。
の被膜すを形成したものは、金属にセラミックスの被膜
を形成することになるので、密着性が悪く、しかも両者
の熱膨張率の差があるので、アルミナ被膜すにクラック
が入り、ハロゲン等がクラックを介して侵入し、ステン
レス部材aを腐蝕させる欠点がある。
第2図示のものは、中間にアルミニウムの被膜Cが形成
されているので熱膨張率の差によるクラックの発生は少
ないが、溶射ではアルミニウムの被膜Cの厚さが最低1
00μ以上、その上のアルミナの被膜すが100μ以上
となり、どうしても200μ以上の厚さになるので、被
膜すが剥離し易く、またアルミニウムの溶射面とアルミ
ナの溶射面との結合が十分でないことも剥離の原因にな
っている。
されているので熱膨張率の差によるクラックの発生は少
ないが、溶射ではアルミニウムの被膜Cの厚さが最低1
00μ以上、その上のアルミナの被膜すが100μ以上
となり、どうしても200μ以上の厚さになるので、被
膜すが剥離し易く、またアルミニウムの溶射面とアルミ
ナの溶射面との結合が十分でないことも剥離の原因にな
っている。
本発明は、上記のような問題点を解決し、密着性が良く
しかもクラックの入らないアルミナ被膜をステンレス部
材に形成する方法を提案することを目的とするものであ
る。
しかもクラックの入らないアルミナ被膜をステンレス部
材に形成する方法を提案することを目的とするものであ
る。
(問題点を解決するための手段)
本発明では、前記問題点を解決するために、ステンレス
部材の表面にアルミニウムを溶射してアルミニウムの被
膜を形成したのち、該ステンレス部材を酸性水溶液中に
浸し、該アルミニウム被膜の表層を陽極酸化させアルミ
ナ層を形成するようにした。
部材の表面にアルミニウムを溶射してアルミニウムの被
膜を形成したのち、該ステンレス部材を酸性水溶液中に
浸し、該アルミニウム被膜の表層を陽極酸化させアルミ
ナ層を形成するようにした。
(作 用)
ステンレス部材の表面に例えばアルミニウムワイヤを使
用したガス溶射によりアルミニウムの被膜を形成する。
用したガス溶射によりアルミニウムの被膜を形成する。
次にこれをシュウ酸等の酸性水溶液中に浸し、前記の溶
射で形成された被膜の表層例えば該被膜の厚さで175
〜475程度の表層を陽極酸化させる。
射で形成された被膜の表層例えば該被膜の厚さで175
〜475程度の表層を陽極酸化させる。
これにより、第3図示のように、ステンレス部材(1)
を覆うアルミニウム被膜(2)の表層が陽極酸化によっ
てアルミナ層(3)となり、下層がアルミニウムのまま
残る。このアルミニウムの下層は、表層のアルミナ層(
3)と強固に密着すると共にステンレス部材(1)とも
強固に密着するので、アルミナ層(3)はステンレス部
材(1)に強く密着し、アルミナ層(3)とステンレス
部材(1)との熱膨張率の差は、中間のアルミニウムの
層により吸収され、アルミナ層■のクラックの発生を防
げる。
を覆うアルミニウム被膜(2)の表層が陽極酸化によっ
てアルミナ層(3)となり、下層がアルミニウムのまま
残る。このアルミニウムの下層は、表層のアルミナ層(
3)と強固に密着すると共にステンレス部材(1)とも
強固に密着するので、アルミナ層(3)はステンレス部
材(1)に強く密着し、アルミナ層(3)とステンレス
部材(1)との熱膨張率の差は、中間のアルミニウムの
層により吸収され、アルミナ層■のクラックの発生を防
げる。
(実施例)
本発明の実施例を図面第3図及び第4図に基づき乍ら説
明すると、符号(1)はステンレス部材、(2)は該ス
テンレス部材(1)の表面にアルミニウムワイヤを使用
してガス溶射により厚さ200μに均一に形成したアル
ミニウム被膜を示す。該アルミニウム被膜(2)を形成
したステンレス部材(1)には、第4図示のように直流
電源(4)を介して陰極板(5)が接続され、電解槽(
6)内の5〜30%に調整したシュウ酸の酸性水溶液(
7)中に浸漬される。そして直流電源(4)により該ス
テンレス部材(1)1100 V 〜400 V(r)
電圧を80分間カケ、アルミニウム被膜(2)の厚さの
約3/4即ち約150μまで陽極酸化させ、第3図示の
ようにアルミナ層(3)に変化させた。このあと該ステ
ンレス部材(1)を電解槽(6)から取出し、3〜5回
の洗浄にて付着した酸性水溶液(7)を除去し、100
℃の熱風により乾燥してアルミナ層(3)で耐蝕被覆さ
れたステンレス部材を得た。
明すると、符号(1)はステンレス部材、(2)は該ス
テンレス部材(1)の表面にアルミニウムワイヤを使用
してガス溶射により厚さ200μに均一に形成したアル
ミニウム被膜を示す。該アルミニウム被膜(2)を形成
したステンレス部材(1)には、第4図示のように直流
電源(4)を介して陰極板(5)が接続され、電解槽(
6)内の5〜30%に調整したシュウ酸の酸性水溶液(
7)中に浸漬される。そして直流電源(4)により該ス
テンレス部材(1)1100 V 〜400 V(r)
電圧を80分間カケ、アルミニウム被膜(2)の厚さの
約3/4即ち約150μまで陽極酸化させ、第3図示の
ようにアルミナ層(3)に変化させた。このあと該ステ
ンレス部材(1)を電解槽(6)から取出し、3〜5回
の洗浄にて付着した酸性水溶液(7)を除去し、100
℃の熱風により乾燥してアルミナ層(3)で耐蝕被覆さ
れたステンレス部材を得た。
この実施例で得゛たステンレス部材のアルミナ層(3)
の表面に、太さ0.5mmφ、先端角度が30℃の先の
とがった針を当て、波計に1kgの荷重を加え乍ら1c
III/secで動かし、ひっかき試験を行なったとこ
ろ、アルミナ層(3)の表面に傷がつかなかった。これ
に対しステンレス部材に200μのアルミナ層を形成し
たものは、前記と同様のひっかき試験によりアルミナ層
の表面に傷がつき部分的に剥れた。
の表面に、太さ0.5mmφ、先端角度が30℃の先の
とがった針を当て、波計に1kgの荷重を加え乍ら1c
III/secで動かし、ひっかき試験を行なったとこ
ろ、アルミナ層(3)の表面に傷がつかなかった。これ
に対しステンレス部材に200μのアルミナ層を形成し
たものは、前記と同様のひっかき試験によりアルミナ層
の表面に傷がつき部分的に剥れた。
溶射により形成されたアルミニウムの被膜(2)は微小
孔を多数備えており、酸性水溶液中に於ては該微小孔内
に酸性水溶液が浸透し、その浸透領域が通電により陽極
酸化されてアルミナ層(3)になるものと考えられ、ア
ルミニウムの被膜(2)の全体がアルミナ層(3)にな
らないように通電時間が制御される。
孔を多数備えており、酸性水溶液中に於ては該微小孔内
に酸性水溶液が浸透し、その浸透領域が通電により陽極
酸化されてアルミナ層(3)になるものと考えられ、ア
ルミニウムの被膜(2)の全体がアルミナ層(3)にな
らないように通電時間が制御される。
酸性水溶液(7)として硫酸、クロム酸、マロン酸、ス
ルファミン酸、ホウ酸、リン酸等を使用してもよく、ス
テンレス部材(1)に代え鋼鉄、銅、アルミニウム等の
溶射被膜を形成し得る部材を使用できる。
ルファミン酸、ホウ酸、リン酸等を使用してもよく、ス
テンレス部材(1)に代え鋼鉄、銅、アルミニウム等の
溶射被膜を形成し得る部材を使用できる。
(発明の効果)
以上のように本発明に於ては、ステンレス部材の表面に
アルミニウムの溶射被膜を形成したのち該被膜の表層を
酸性水溶液中に於て陽極酸化させてアルミナ層とするよ
うにしたので、アルミナ層はその下層に残存するアルミ
ニウムの被膜を介してステンレス部材に強固に密着し、
溶射被膜を薄く形成することが出来るので該被膜の剥離
を防げ、中間にアルミニウムの層が介在するので熱ショ
ックやクラックの発生が少なくなり、ステンレス部材の
耐蝕性を向上させ得、プラズマCVD装置等の部材とし
て好都合である等の効果がある。
アルミニウムの溶射被膜を形成したのち該被膜の表層を
酸性水溶液中に於て陽極酸化させてアルミナ層とするよ
うにしたので、アルミナ層はその下層に残存するアルミ
ニウムの被膜を介してステンレス部材に強固に密着し、
溶射被膜を薄く形成することが出来るので該被膜の剥離
を防げ、中間にアルミニウムの層が介在するので熱ショ
ックやクラックの発生が少なくなり、ステンレス部材の
耐蝕性を向上させ得、プラズマCVD装置等の部材とし
て好都合である等の効果がある。
第1図及び第2図は従来例の拡大断面図、第3図は本発
明の方法により製作させたステンレス部材の拡大断面図
、第4図は本発明の方法の実施に使用した装置の概略断
面図である。 (1)・・・ステンレス部材 (2)・・・アルミニウム被膜 (3)・・・アルミナ層 第1図 第2図 第3図
明の方法により製作させたステンレス部材の拡大断面図
、第4図は本発明の方法の実施に使用した装置の概略断
面図である。 (1)・・・ステンレス部材 (2)・・・アルミニウム被膜 (3)・・・アルミナ層 第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- ステンレス部材の表面にアルミニウムを溶射してアルミ
ニウム被膜を形成したのち、該ステンレス部材を酸性水
溶液中に浸し、該アルミニウム被膜の表層を陽極酸化さ
せアルミナ層を形成することを特徴とするステンレス部
材の耐蝕被覆方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31234487A JPH01156496A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 耐蝕被覆方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31234487A JPH01156496A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 耐蝕被覆方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156496A true JPH01156496A (ja) | 1989-06-20 |
Family
ID=18028113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31234487A Pending JPH01156496A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 耐蝕被覆方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01156496A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103374694A (zh) * | 2012-04-24 | 2013-10-30 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种用于油管耐腐蚀复合涂层制备方法 |
| CN103451662A (zh) * | 2012-06-01 | 2013-12-18 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 一种不锈钢的表面处理方法 |
| DE102014116335A1 (de) | 2014-11-10 | 2016-05-12 | Thyssenkrupp Ag | Verbundwerkstoff, Verbundwerkstoffprodukt, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendungen dafür |
| JP2016514213A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-05-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板上の高純度アルミニウムトップコート |
| CN107400888A (zh) * | 2016-05-19 | 2017-11-28 | 南京理工大学 | 一种不锈钢抗高温氧化和耐海水腐蚀Na2SiO3/Al2O3复合涂层制备方法 |
| US10260160B2 (en) | 2013-11-13 | 2019-04-16 | Applied Materials, Inc. | High purity metallic top coat for semiconductor manufacturing components |
Citations (3)
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| JPS531648A (en) * | 1976-06-26 | 1978-01-09 | Yamazaki Keiichiro | Production process for metal products |
| JPS556105A (en) * | 1978-06-27 | 1980-01-17 | Toshiba Corp | Heat-exchange sound-insulation ventilating fan |
| JPS6187861A (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-06 | Canon Inc | 真空装置用構造材の表面処理方法 |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP31234487A patent/JPH01156496A/ja active Pending
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| CN107400888A (zh) * | 2016-05-19 | 2017-11-28 | 南京理工大学 | 一种不锈钢抗高温氧化和耐海水腐蚀Na2SiO3/Al2O3复合涂层制备方法 |
| CN107400888B (zh) * | 2016-05-19 | 2019-08-30 | 南京理工大学 | 一种不锈钢抗高温氧化和耐海水腐蚀Na2SiO3/Al2O3复合涂层制备方法 |
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