JPH01158904U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による表面形状測定器の一実施
例の光学系及び処理回路を示す図、第２図は従来
例の光学系及び処理回路を示す図、第３図は上記
従来例における対物レンズ表面からの反射光によ
る測定誤差の発生原理を示す図、第４図は上記従
来例の位置検出器の拡大図、第５図は上記従来例
のレンズ上のレーザビームの移動の様子を示す図
である。 １……レーザ光源、２……空間フイルタ、３…
…コリメータレンズ、４……偏光ビームスプリツ
タ、５……λ／４板、６……ガルバノメータミラ
ー、７，８……瞳伝送レンズ、９……ポリゴンミ
ラー、１０……瞳投影レンズ、１１，１９，２０
，４０……結像レンズ、１２，３８……対物レン
ズ、１３，３９……試料、１４……プリズム、１
５……アイピース、１６……コンデンサレンズ、
１７……ランプ、１８……瞳分割ミラー、２１，
２２……半導体位置検出器、２３，２４，２５，
２６……プリアンプ、２７，２８……加算器、２
９……差動増幅器、３０……検出信号、３１……
サンプルホールド・Ａ／Ｄ変換器、３２……駆動
回路、３３……フレームメモリ、３４……画像処
理コンピユータ、３５……ＣＲＴ、３６……レー
ザビーム、３７……ビームスプリツタ、４１……
遮光板、４３，４５……反射光、４４，４６……
スポツト、４７……スリツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 光源と、前記光源から発した光を試料上に集光
   する対物レンズと、前記光源と前記対物レンズと
   の間に配置されていて前記対物レンズに入る光の
   入射角度を変えることにより前記集光された光で
   試料上を走査する光偏向部材と、試料面で反射し
   た光を受けて試料面の所定の合焦位置からのズレ
   を検出する焦点検出光学系とを具備して成る表面
   形状測定器において、前記対物レンズと前記焦点
   検出光学系との間に試料面以外からの反射光を遮
   断する絞りを設けたことを特徴とする表面形状測
   定器。