JPH01159817A - 磁気記録用薄膜ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、たとえばフロッピーディスク等に対する記
録再生に用いられるトンネルイレーズ形の磁気記録用薄
膜ヘッドに関するものである。

〔従来の技術〕

第４図は記録再生に用いられる磁気記録用ヘッドと記録
の消去に用いられる消去用ヘッドとの組み合せからなる
従来のトンネタイレーズ形磁気記録用薄膜ヘッドを示す
断面図である。

同図において、（１）はヘッド基板、（２）はこのヘッ
ド基板（１）の−面に設けられて記録再生に用いられる
ＷＪＭヘッド素子、（３）は上記ヘッド基板（１）の反
対面に設けられて記録の消去に用いられる薄膜ヘッド素
子でア）、両ヘッド素子（２）　＊　（３）はそれぞれ
っぎのように構成されている。Ｃ４＆）、（４ｂ）はパ
ーマロイ・Ｃｏ系アモルファス膜等からな）、上記ヘッ
ド基板（１）上にスパッタ法やメツキ等の薄膜形成技術
によシ形成された上層磁性膜ｓ　（５ａ）。

（５ｂ　）Ｈｈｔ、Ｏｓ　、　５ｉｎｓ　ｇ等：ｄ−ら
１７．上記下層磁性膜上に（４ａ）ｓ（４ｂ）に形成さ
れた非磁性膜、（６ａ）、（６ｂ）はこの非磁性膜（５
Ｂ）、（５ｂ）Ｏ上に形成されて、上記下層磁性膜（４
ａ）ｓ（４ｂ）と磁９ＦＣ回路を構成するように磁気的
に接続されている上層磁性膜で６カ、下層磁性［（４ａ
）ａ（４ｂ）と同一の材料および手法にょ多形成される
。（７”）ｓ（７ｂ）は上記下層磁性膜（４”）＊（４
ｂ）　Ｋ、巻回されたコイ〃で、Ｃｕ等の導体膜で形成
されてイル。（８ａ）、（８ｂ）はとｏ導体膜（７ｍ）
、（７ｂ）を覆５電気的絶ａＸ、（９ａ　）　＃　（９
ｂ　）はそれぞれ上記非磁性Ｍｌ　（５ａ　）　ｓ　（
５ｂ　）にょ多形成された記録再生用ギャップおよび消
去用ギャップｓ　　（１０ｍ）、（１０ｂ）はそれぞれ
外部と上記コイＮ　（７ｍ　）　。

（７ｂ）の間で記録再生用および消去用の電気信号の伝
送を行なうための導線であル、半円部にょ〕コイ／Ｌ’
　　（７ａ）、（７ｂ）の両端に接続されている。

（１１）はフロッピーディスク等の磁気記録媒体であシ
、図中の矢印は磁気記録媒体（１１）の移動方向を示し
ている。

第５図は上記磁気記録用薄膜ヘッドの記録再生ヘッド素
子（２）側の正面図、第６図は消去用ヘッド素子（３ン
側の正面図、第７図は磁気記録媒体（１１）（図示せず
）側からみたヘッド素子（２）　＃　（３）の配置を示
す図であシ、矢印は磁気記録媒体（１１）の移動方向を
示している。

従来の一般的なトンネμイレーズ形磁気記録用薄膜ヘッ
ドは上記のように構成されてお）、磁気記録媒体（１１
）に記録再生用ヘッド（２）によシデータを記録し、そ
の直後に、後方両側に配置された消去用ヘッド（３）に
よル、データとデータのトラック間隔を保障するため、
記録の両側が消去される。

すなわち、記録再生用ヘッドのスイ〃導体（７ａ）に”
α流を流すととｋよって下層磁性膜（４ａ）と上層磁性
Ｉｌ！（６ｍ）からなる磁気回路に磁束が発生し、記録
再生用ギャップ（９ａ）からの漏れ磁束によって磁気記
録媒体（１１）が磁化される。このようにして記録され
たデータは、記録再生用ヘッド（２）の後方両側に配置
された消去用ヘッド（３）Ｋよシ、その両側が消去され
る。

ところが、このような上記磁気記録用薄膜ヘッドにおい
ては、記録再生用の薄膜ヘッド素子（２）と消去用の薄
膜ヘッド素子（３）がヘッド基板（１）の両面に形成さ
れる構成となっているため、これら両ヘッド素子（２）
　＃　（３）をそれぞれ独立＆Ｃ，２回のプロセスに分
けて形成せねばならず、かっこのために記録再生用のヘ
ッド素子と消去用ヘッド素子（３）の相へ 射的な位置関係を鞘度良く合わせて形成することが難し
かった。

そこで、このような問題点を解決するために、すでに、
たとえば、特願昭６１−１５０５０８号に示すものが案
出されている。これを第８図および第９図で説明する。

第８図は、この薄膜磁気ヘッドの断面図、第９１は磁気
記録媒体（１１）側からみた正面図である。

第８図において、（１）はヘッド基板、（２）はこのヘ
ッド基板（１）上の一面に設けられて記録再生に用いら
れる薄膜ヘッド素子、（３）は記録再生用ヘッド（２）
の設けられたヘッド基板（１）の同一面上に設けられた
記録の消去に用いられる薄膜ヘッド素子であシ、両ヘッ
ド素子（２）　＃　（３）はりぎのように構成されてい
る。（４８）ｅ（４ｂ）は上記基板（１）上に形成され
た下層磁性膜、（６ａ　）　ｅ　（６ｂ）は上層磁性膜
、（７１１Ｌ）、（７ｂ）は導体膜からなるコイμ、（
８）はこの導体ＩＩ（７ａ）、（７ｂ）を覆う電気的絶
縁膜、（９ａ）、（９ｂ）はそれぞれ記録再生用ギャッ
プおよび消去用ギャップｓ　（１０ａ）、（１０ｂ）は
、それぞれ外部と上記コイ／Ｉ／（７ｍ）、（７ｂ）間
で記録再生用および消去用の電気信号の伝送を行なうた
めの導線で６ｊｌ）、半田等によシコイｌＬ／（７ａ　
）　ｅ　（７ｂ　）の両端に接続されている。（１１）
はフロッピーディスの り轡護気記碌媒体であシ、図中の矢印はこの磁気記録媒
体（１１）の移動方向を示している。

以上のような構成の新しい磁気記録用薄膜ヘッドにおい
ては、ヘッド基板（１）の同一面上に記録再生用ヘッド
素子（２）と消去用ヘッド素子（３）が形成されるため
、両ヘッド素子（２）　＃　（３）を−度に同一プロセ
スで実現でき、また記録再生用ギャップ（９ａ）と消去
ギャップ（９ｂ）を任意の位置に容易に形成することが
可能であるという利点がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、従来の構成のヘッドが第４図に示すようにヘ
ッド素子（２）　＃　（３）が磁気記録媒体（１１）の
移動面に対し垂直となるように配置されて用いられるの
に対し、この新しい構成のヘッドの場合、第８図からも
明らかなように、両ヘッド素子（２）。

（３）が磁気記録媒体（１１）の移動面に対向してこれ
と平行となるように用いられることになるため、下層磁
性膜（４８）、（４ｂ）に巻回されたコイ／Ｌ／（７＆
）、（７ｂ）もまた、わずか１０μｍ程度の極めて短い
距離を隔てて磁気記録媒体（１１）に対向することにな
る。したがって、記録再生用および消去用の！９Ｃ信号
を外部へ引き出すだめの導線（１０ａ）。

（１０ｂ）をヘッド素子（２）　ｌ　（３）の上記コイ
ｉｖ　（７ａ　）　ｔ（７ｂ）の両端部に接続すること
が極めて難しく、また接続したとしても、導線（１０ａ
　）　＊　（１０ｂ　）が磁気記録媒体（１１）に接触
してトラプμを引き起こすおそれがあシ、この新しい構
成の磁気記鏝用薄膜ヘッド実用化のための大きな障害と
なっていた。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、両ヘッド素子のコイμ両端から記録再生およ
び消去用電気信号を伝送するための導線を容易に外部へ
ひき出すことの可能な磁気記録用薄膜ヘッドを得ること
を目的とする。

〔問題点を解消するための手段〕

この発明に係る磁気記録用薄膜ヘッドは、記録再生用お
よび消去用の両薄膜ヘッド素子がヘッド基板の同一面上
に形成され、かつ対向する磁気記録媒体と平行になるよ
うに配置された磁気記録用薄膜磁気ヘッドにおいて、ヘ
ッド基板上に形成されるヘッド素子のコイルの両端部の
みと個別的、かつ電気的に接続される複数の導体層を上
記ヘッド基板に形成するとともに、その一部を上記ヘッ
ド基板の磁気記録媒体と対向する面版外の面まで延出し
て露出させ、各露出端面に外部との間での電気信号伝送
用の導線を接続したもので６る。

〔作用〕

この発明における磁気記録用薄膜ヘッドにおいては、ヘ
ッド基板上に設けられた複数個の導体層は、ヘッド素子
のコイルと電気的に接続され、かつその一部が、ヘッド
基板の磁気記録媒体と対向する面版外の面まで延出する
構造となっているから、ここに！完信号伝送用の導線を
半田等によシ接続することによシ、導線が媒体に接触す
ることなく、容易にヘッド素子と外部との接続が可能と
なる。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図および第２図は、それぞれこの発明の一実施例に
係る磁気記録用薄膜ヘッドを示す斜視図および断面図、
また第８図は同薄膜ヘッドを磁気記録媒体（図示せず）
側からみた正面図である。

第１図、第２図および第３図において、（ｔ２ａＬ（１
２ｂ）はヘッド基板（１）に設けられた導体層でアシ、
これは、たとえば、ヘッド基板（１）の両側面間にわた
る溝を加工し、その上にＣｕ等の導体膜をスパッタ等の
薄膜形成技術によシ成膜してその後、溝部分のみに導体
層（１２ａ）、（１２ｂ）が現われるように、ヘッド基
板（１）の表面を研磨することによシ形成される。すな
わち、これによシ導体層（１２ａ）。

（１２ｂ）の端部がヘッド基板（１）における磁気記録
媒体（１１）と対向する面版外の面、たとえば側面に露
出される。（４Ｌ）、（４ｂ）は上記ヘッド基板（１）
上にスパッタ法やメツキ等の薄膜形成技術にょ）形成さ
：ｈ’ｃパーマロイ、ｃｏ系アルモファス膜等からなる
下層磁性ｇ、（６ａＬ（６ｂ）はこの下層磁性膜（４Ｌ
）、（４ｂ）の上部に形成されて該下層磁性膜”）＊（
４ｂ）と磁気的に接続されている上層磁性膜でちシ、上
記下層磁性膜（４ａ）、（４ｂ）と同一の手法で形成さ
れる。（７ａ）、（７ｂ）は上記上層磁性膜（６ａ）、
（６ｂ）に巻回されたＣｕ等の導体膜によシ形成される
コイ！である。（１８ａ）。

（１８ｂ）は、上記コイ”（７ａ）ｔ（７ｂ）の両端以
外の部分と、上記ヘッド基板（１）に設けられた導体層
（１２ａ）、（１２ｂ）とを電気的に他線するための絶
縁膜である。この絶Ｒ膜（１３ａ）　＊　（１；（ｂ）
は、上記コイ／Ｉ／（７ａＬ（７ｂ）の形成前に、たと
えばエツチング等によシコイμ両端部に位はする領域分
のみが取シ除かれる。すなわち、この絶縁膜（１３ａＬ
（１８ｂ）が取シ除かれた部分でのみ、上記コイ）ｖ（
７ａ）、（７ｂ）の両端部と上記ヘッド基板（１）に設
けられた導体層（１２ａ）、（１２ｂ）は電気的に接続
されている。（８）は上記コイル導体（７＆）、（７ｂ
）を覆う絶縁膜、（９ａ）ｔ（９ｂ）はそれぞれ記録再
生用ギャップおよび消去用ギャップ、　　（１０ａ）、
（１０ｂ）はヘット素子（２）　ｅ　（３）１２）各コ
イ、ｙ（７ｍ）、（７ｂ）とヘッド素子外部との電気信
号を伝送するための導線であシ、ヘッド基板（１）の側
面に位置する導体層（１８ａ）、（１８ｂ）の一部に半
田等によって接続される。

上記溝成の磁気記録用薄膜ヘッドにおいては、ヘッド基
板（１）に、該基板（１）の両側面に両端が露出する導
体層（１２ａ）　ｅ　（１２ｂ）を設けたので、上記導
線（ＩＱ＆）＊（１０ｂ）をヘッド基板（１）の側面か
ら簡単に外部へひき出すことが可能となる。

この例では、すべての導ｔｌＡ　（１０ａ）ｅ（１０ｂ
）をヘッド基板（１）の同一側面に現れている導体層（
１２ａ）。

（１２ｂ）の端面に接続したが、これと対向する反対側
の側面も利用して、上記導線を交互に両方の側面に接続
するようにすれば、結線作業がはるかに容易となシ、ま
た、コイμ間の電気短絡といったトラブルのおそれもは
るかに少なくなる。

また、上記実施例では、ヘッド基板（１）に溝加工を施
し、そこに導体層（１２ａ）、（１２ｂ）を設けたもの
を示したが、ヘッド基板（１）に貫通孔を形成し、そこ
に導体物質を埋め込む方法で導体層（１２ｍ）　＊（１
２ｂ）を形成することも可能である。この場合、導線（
１０＆）、（１０ｂ）はヘッド基板（１）の側面ではな
く、ヘッド素子（２）　Ｓ　（３）の配置させられてい
る面の反対側の面にある導体層に接続されることになる
が、上記実施例と同様の効果を得る二とができる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、ヘッド基板上に形成
されるヘッド素子のコイル導体の両端部のみと個別的か
つ電気的に接続される複数の導体層を上記ヘッド基板に
形成するとともに、その−部を上記ヘッド基板の磁気記
録媒体と対向する面板外の面まで延出して露出させ、上
記導体層の各露出端面に、外部との間の電気信号伝送用
導線を接続するようにしたので、ヘッド水子から電気信
号を容易に外部にひき出すことができ、実装性に優れた
ものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれこの発明に係る磁気記録
用薄膜ヘッドの一例を示す斜視図および断面図、第８図
は同薄膜ヘッドを磁気記録媒体側からみた正面図、第４
図は従来の磁気記録用薄膜ヘッドを示す断面図、第５図
は第４図のものの記録再生用ヘッド素子側の正面図、第
６図は第４図のものの消去用ヘッド素子側の正面図、第
７図は第４図のものの磁気記録媒体側からみたヘッド素
子の配置を示す図、第８図は従来の他の磁気記録用薄膜
ヘッドを示す断面図、第９図は第８図のものの磁気記録
媒体側からみた正面図である。 （１）・・・ヘッド基板、（２）・・・記録再生用薄膜
ヘッド素子、（３）・・・消去用薄膜ヘッド素子、（４
ａ）、（４ｂ）・・・下層磁性膜、（６ａ）ｓ（６ｂ）
・・・上層磁性膜、（７ｊＬ）ｓ（７ｂ）・−・コイル
導体膜、（１０ａ）＊（１０ｂ）”導線、（１１）−・
・磁気記録媒体、（１２ａ）、（１２ｂ）”導体層。 なお、図中、同一符号は同一もしくは相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）、ヘッド基板上に形成された下層磁性膜と、この
   下層磁性膜の上部に形成されて該下層磁性膜と＝磁気的
   に接続される上層磁性膜と、この上層磁性膜に巻回され
   るコイル導体膜と、上記上層磁性膜に形成されたギヤッ
   プとからなる記録再生用薄膜ヘッド素子ならびに記録消
   去用薄膜ヘッド素子を有し、これら両ヘッド素子が上記
   ヘッド基板の同一面上で、かつ対向する磁気記録媒体の
   移動方向と平行になるよりに配置されている磁気記録用
   薄膜ヘッドにおいて、上記コイル導体膜の両端部のみに
   個別的、かつ電気的に接続される複数の導体層を上記ヘ
   ッド基板に形成するとともに、その一部をヘッド基板に
   おける磁気記録媒体と対向する面以外の面まで延出して
   露出させ、上記導体層の各露出端面に外部との間の電気
   信号伝送用の導線を接続したことを特徴とする磁気記録
   用薄膜ヘッド。