JPH07220237A - 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造簡易で、信頼性の向上を図った薄膜磁気
ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜磁気ヘッド素子３０と、磁気回路部３２
を被覆するようにして薄膜磁気ヘッド素子３０に接合固
定される保護基板４０とからなり、保護基板４０に薄膜
磁気ヘッド素子３０と接合固定した状態において磁気回
路部３２から引き出された接続端子部３３と相対接合す
る引出し端子部４２を形成する。薄膜磁気ヘッド素子３
５と磁気回路部３７を被覆するようにして薄膜磁気ヘッ
ド素子３５に接合固定される保護基板６５と磁気記録媒
体との当たり量を保持するダミー基板５５とからなり、
ダミー基板５５に磁気回路部３６から引き出された接続
端子部３８と相対接続される引出し端子部５６を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、テープレコーダ、ビデ
オテープレコーダ等の磁気記録再生装置或いはパーソナ
ルコンピュータ、オフィスコンピュータ等に接続された
データバックアップ装置等に備えられる薄膜磁気ヘッド
及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは、一般に、真空薄膜形
成技術、リソグラフィ技術によって、セラミック材或い
はフェライト材等からなる基板上に下層コア部を形成
し、この下層コアの上面部に絶縁層を介してスパイラル
状の下部導電コイル部を形成するとともにさらに絶縁層
を介して上層コア部を形成してなり、この上層コア部と
前記下層コア部或いは導電コイル部とによって磁気回路
部を構成している。このようにして磁気回路部が形成さ
れた基板は、所定形状にカッティングされることによっ
て薄膜磁気ヘッド素子が構成される。上述したように真
空薄膜形成技術、リソグラフィ技術を利用して形成され
る薄膜磁気ヘッドは、狭トラック化、狭ギャップ化等の
高精度の微細寸法化が可能であるとともに、高分解能記
録が可能であるといった特徴を有している。

【０００３】従来の薄膜磁気ヘッド１は、例えば図２６
乃至図３０に示すように、薄膜磁気ヘッド素子２、保護
基板３及びフレキシブル配線基板４とから構成されてい
る。薄膜磁気ヘッド素子２は、図２６に示すように、真
空薄膜形成技術、リソグラフィ技術を利用して基板５上
に磁気回路部６を形成するとともにこの磁気回路部６か
らリードを介して外部接続用の接続端子部７を形成して
なる。また、保護基板３は、図２７に示すように、薄膜
磁気ヘッド素子２の磁気回路部６を被覆するに足る形状
を有して薄膜磁気ヘッド素子２を構成する基板５と同質
のセラミック材或いはフェライト材等によって形成され
ている。

【０００４】この保護基板３は、図２８に示すように、
磁気回路部６を被覆するとともに接続端子部７を露呈す
るようにして薄膜磁気ヘッド素子２を構成する基板５上
に、接着剤樹脂、例えば熱硬化性接着剤樹脂であるエポ
キシ樹脂を用いて接合固定される。このように保護基板
３を薄膜磁気ヘッド素子２に接合固定することによっ
て、薄膜磁気ヘッド１は、全体の厚み寸法が大ならしめ
られて磁気記録媒体である磁気テープの走行方向の接触
面積、すなわち当たり量が確保されている。フレキシブ
ル配線基板４は、図２８に示すように、一端側が幅狭の
素子側接続部４Ａとして構成され、他端側が幅広の外部
接続部４Ｂとして構成された略々凸字状を呈して形成さ
れている。そして、このフレキシブル配線基板４の前記
素子側接続部４Ａには、薄膜磁気ヘッド素子２の各接続
端子部７とそれぞれ相対応される接続端子部８Ａが形成
されている。また、外部接続部４Ｂには、前記接続端子
部８Ａとリードを介して接続されるとともに外部との接
続を容易ならしめるために相互の間隔が大とされた接続
端子部８Ｂが形成されている。

【０００５】このように構成されたフレキシブル配線基
板４は、図２９に示すように、素子側接続部４Ａの各接
続端子部８Ａを対応する薄膜磁気ヘッド素子２の各接続
端子部７に重ね合わせるようにして薄膜磁気ヘッド素子
２に組み合わされる。この場合、接続端子部７と接続端
子部８Ａとは、半田付け法或いは異方性導電膜等を用い
て互いに電気的に接続される。しかる後、接合された薄
膜磁気ヘッド素子２と保護基板３は、これを磁気記録再
生装置に組み込んだ際に走行する磁気記録媒体である磁
気テープと接触する一方の側面９が、図３０に示すよう
に、円弧状に形成される。すなわち、この側面９は、磁
気テープとのいわゆる当たり面を構成し、走行する磁気
テープの走行方向に対して円弧状に形成されることによ
って、磁気テープの円滑な走行を可能とする。

【０００６】ところで、記録再生装置或いはパーソナル
コンピュータ、オフィスコンピュータ等に接続されたデ
ータバックアップ装置に装填され、例えば前記コンピュ
ータ本体のメモリー等に蓄積されたデータ信号を吸い上
げて記録し、記録されたデータ信号をコンピュータ本体
に供給するために使用されるデータカートリッジが知ら
れている。このデータカートリッジに収納された磁気テ
ープは、例えば４０トラック分の記録領域を有してい
る。一方、データバックアップ装置に備えられる磁気記
録ヘッドは、上下一対のギャップを４つ備え、このデー
タバックアップ装置に装填されて双方向に走行される磁
気テープの上下４トラック分ずつをそれぞれ走査する。

【０００７】かかるデータカートリッジにおいては、少
数ギャップの磁気ヘッドによって多数のトラックを操作
してデータ信号の記録、再生を行うために、磁気テープ
に対して磁気ヘッドを幅方向に移動させる必要がある。
このため、磁気ヘッドは、磁気ギャップ部以外に磁気テ
ープの幅方向の全体を保持するためのダミー部が設けら
れ、全体として長尺に構成されている。

【０００８】すなわち、幅広であってかつ幅方向に複数
の記録領域が形成された磁気テープが使用されるととも
に前記複数の記録領域の一部が薄膜磁気ヘッド１０によ
って走査される磁気記録再生装置においては、例えば図
３１乃至図３４に示す長尺な薄膜磁気ヘッド１０が用い
られる。この薄膜磁気ヘッド１０は、上述した薄膜磁気
ヘッド素子２と、保護基板１１と、一対のダミー基板１
２Ａ、１２Ｂ及び上述したフレキシブル配線基板４とに
よって構成されている。ダミー基板１２Ａ、１２Ｂは、
薄膜磁気ヘッド素子２の基板５と同質のセラミック材或
いはフェライト材等によって、図３１に示すように、前
記基板５と同一の幅寸法、厚み寸法を有して形成されて
いる。そして、これらダミー基板１２Ａ、１２Ｂは、薄
膜磁気ヘッド素子２の両側面に接着剤を用いて接合固定
されることによって、図３２に示すように、全体として
保護基板１１と同一長さ寸法を構成する。

【０００９】ダミー基板１２Ａ、１２Ｂを接合固定した
薄膜磁気ヘッド素子２には、図３２に示すように、保護
基板１１が薄膜磁気ヘッド素子２の磁気回路部６を被覆
するとともに接続端子部７を露呈するようにして接着剤
を用いて接合固定される。このように保護基板１１を薄
膜磁気ヘッド素子２に接合固定することによって、薄膜
磁気ヘッド１０は、図３３に示すように、全体の厚み寸
法が大ならしめられて磁気記録媒体である磁気テープの
走行方向の接触面積、すなわち当たり量が充分確保され
かつ磁気テープの幅方向の全域に亘って接触する長尺な
薄膜磁気ヘッドとして構成される。しかる後、薄膜磁気
ヘッド素子２には、図３３に示すように、フレキシブル
配線基板４が素子側接続部４Ａの各接続端子部８Ａを対
応する薄膜磁気ヘッド素子２の各接続端子部７に重ね合
わせて電気的に接続されるようにして薄膜磁気ヘッド素
子２に組み合わされる。また、接合された薄膜磁気ヘッ
ド素子２とダミー基板１２Ａ、１２Ｂ及び保護基板１１
は、磁気テープとの当たり面１３が、図３４に示すよう
に、円弧状に形成される。

【００１０】上述した長尺の薄膜磁気ヘッド１０は、長
さ方向の略中央部に薄膜磁気ヘッド素子２が配設されて
いるが、磁気テープの幅方向の一側部の記録領域が走査
される磁気記録再生装置においては、例えば図３５乃至
図３８に示す長尺な薄膜磁気ヘッド１５が用いられる。
この薄膜磁気ヘッド１５は、上述した薄膜磁気ヘッド素
子２及び磁気テープに対して充分な長さ寸法を有する保
護基板１１と、ダミー基板１６、フレキシブル配線基板
１７とによって構成されている。このダミー基板１６
も、上述したダミー基板１２と同様に薄膜磁気ヘッド素
子２の基板５と同質のセラミック材或いはフェライト材
等によって形成され、図３５に示すように、薄膜磁気ヘ
ッド素子２の前記基板５と同一の幅寸法、厚み寸法を有
する矩形部材として形成されている。そして、ダミー基
板１６は、薄膜磁気ヘッド素子２の一方側面に接着剤を
用いて接合固定されることによって、図３６に示すよう
に、全体として保護基板１１と同一長さ寸法を構成す
る。

【００１１】上述したように、ダミー基板１６を接合固
定した薄膜磁気ヘッド素子２には、図３６に示すよう
に、保護基板１１が薄膜磁気ヘッド素子２の磁気回路部
６を被覆するとともに接続端子部７を露呈するようにし
て接着剤を用いて接合固定される。このように保護基板
１１を薄膜磁気ヘッド素子２に接合固定することによっ
て、薄膜磁気ヘッド１５は、全体の厚み寸法が大ならし
められて磁気記録媒体である磁気テープの走行方向の接
触面積、すなわち当たり量が充分確保されかつ磁気テー
プの幅方向の全域に亘って接触する長尺な薄膜磁気ヘッ
ドとして構成される。しかる後、薄膜磁気ヘッド素子２
には、図３７に示すように、フレキシブル配線基板１７
が素子側接続部４Ａの各接続端子部８Ａを対応する薄膜
磁気ヘッド素子２の各接続端子部７に重ね合わせて電気
的に接続されるようにして薄膜磁気ヘッド素子２に組み
合わされる。

【００１２】フレキシブル配線基板１７は、図３６に示
すように、薄膜磁気ヘッド素子２の各接続端子部７とそ
れぞれ相対応される接続端子部１８Ａが形成されて幅狭
の素子側接続部１７Ａに、前記接続端子部１８Ａとリー
ドを介して接続されるとともに外部との接続を容易なら
しめるために相互の間隔が大とされた接続端子部１８Ｂ
が形成された幅広の外部接続部１７Ｂが一体に連設され
た全体略々Ｌ字状を呈して形成されている。以上のよう
に構成された薄膜磁気ヘッド１５は、接合された薄膜磁
気ヘッド素子２とダミー基板１６及び保護基板１１の磁
気テープとの当たり面１３が、図３８に示すように、円
弧状に形成される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た従来の各薄膜磁気ヘッド１、１０、１５においては、
薄膜磁気ヘッド素子２と保護基板３、１１との接合或い
は薄膜磁気ヘッド素子２とダミー基板１２、１６との接
合に、熱硬化性接着剤樹脂であるエポキシ樹脂を使用す
るため、第１の加熱処理が施される。また、薄膜磁気ヘ
ッド素子２の各接続端子部７とフレキシブル配線基板
４、１７の接続端子部８Ａ、１８Ａとを半田付け等によ
って電気的に接続することによって第２の加熱処理が施
されることになる。このように、従来の各薄膜磁気ヘッ
ド１、１０、１５は、２度の加熱処理が施されるため、
第２の加熱処理時に、第１の加熱処理によって予め接合
された薄膜磁気ヘッド素子２と保護基板３、１１或いは
薄膜磁気ヘッド素子２とダミー基板１２、１６との接合
部分が影響を受けて機械的強度が劣化してしまうといっ
た問題点があった。

【００１４】また、従来の薄膜磁気ヘッド１、１０、１
５は、薄膜磁気ヘッド素子２と情報信号処理部等との電
気的接続がフレキシブル基板４、１７を介して行うよう
に構成されているため、特に接続端子部７と接続端子部
８Ａ、１８Ａとの接続部分における機械的強度を充分に
保持することが困難となり、強い引っ張り力が加えられ
ると断線するといった問題点があった。また、接続端子
部７と接続端子部８Ａ、１８Ａとを半田付け等によって
電気的に接続するため、各端子部の間隔を保持する必要
があり、このため薄膜磁気ヘッド素子２が大型化すると
いった問題点があった。

【００１５】さらに、従来の薄膜磁気ヘッド１、１０、
１５は、接続端子部７と接続端子部８Ａ、１８Ａとを正
確に位置合わせしながら電気的に接続しなければならず
作業性が悪く、特に一対のダミー基板１２Ａ、１２Ｂを
薄膜磁気ヘッド素子２の両側面部に接合固定した薄膜磁
気ヘッド１０においては、各部材を正確に位置合わせし
た状態に支持する必要があり、作業性がさらに悪くなる
とともに部品精度の維持が困難となるといった問題点が
あった。

【００１６】したがって、本発明は、上述した従来の薄
膜磁気ヘッドの問題点を解消した構造が簡易で、信頼性
の向上を図った薄膜磁気ヘッドを提供することを目的に
提案されたものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成した本発
明に係る薄膜磁気ヘッドは、基板上に磁気回路部を構成
する磁性体膜、導電コイル部等を形成してなる薄膜磁気
ヘッド素子と、この薄膜磁気ヘッド素子に前記磁気回路
部を被覆するようにして接合固定されることによって磁
気回路部を保護するとともに磁気記録媒体の走行方向の
当たり量を保持する保護基板とを備えている。この保護
基板には、薄膜磁気ヘッド素子と接合固定した状態にお
いて前記磁気回路部から引き出されて基板上に形成され
た接続端子部と相対接合する引出し端子部が一体に形成
される。

【００１８】また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、薄
膜磁気ヘッド素子に隣接して、幅広の磁気記録媒体の走
行方向に対して直交する方向の当たり量を保持するダミ
ー基板が組み合わされて構成される。

【００１９】さらに、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、
長尺の保護基板の一側部に、幅広の磁気記録媒体の走行
方向に対して直交する方向の当たり量を保持するダミー
部が一体に形成されて構成される。

【００２０】さらにまた、本発明に係る薄膜磁気ヘッド
は、保護基板に一体に形成されたダミー部の一部には、
薄膜磁気ヘッド素子が装填される薄膜磁気ヘッド素子装
填部が切欠き形成して構成される。

【００２１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、基板上に磁気回路部を構成する磁性体膜、導電コイ
ル部等が形成された薄膜磁気ヘツド素子に、前記磁気回
路部の接続端子部を被覆するようにして保護基板を接合
固定する。次に、薄膜磁気ヘッド素子と保護基板とによ
って構成される磁気記録媒体との当たり面が円弧状に削
成される。

【００２２】また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造
方法は、薄膜磁気ヘッド素子に隣接して、幅広の磁気記
録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり量を保
持するダミー基板を組み合わて接合固定した後、薄膜磁
気ヘッド素子の基板と保護基板及びダミー基板とが共働
して構成する磁気記録媒体との当たり面が円弧状に削成
される。

【００２３】さらに本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造
方法は、長尺に形成された保護基板の一側部に、幅広の
磁気記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり
量を保持するダミー部を一体に形成し、この保護基板を
薄膜磁気ヘッド素子に組み合わせて接合固定した後、薄
膜磁気ヘッド素子の基板と保護基板とが共働して構成す
る磁気記録媒体との当たり面を円弧状に削成する。

【００２４】上述した目的を達成した本発明に係る薄膜
磁気ヘッドは、基板上に磁気回路部を構成する磁性体
膜、導電コイル部等を形成してなる薄膜磁気ヘッド素子
と、この薄膜磁気ヘッド素子に前記磁気回路部を被覆す
るようにして接合固定されることによって磁気回路部を
保護するとともに磁気記録媒体との走行方向の当たり量
を保持する長尺の保護基板と、この保護基板に前記薄膜
磁気ヘッド素子と併設した状態で接合固定されることに
よって薄膜磁気ヘッド素子よりも幅広の磁気記録媒体と
の走行方向に対して直交する方向の当たり量を保持する
ダミー基板とを備えている。このダミー基板には、薄膜
磁気ヘッド素子の前記磁気回路部から引き出されて基板
上に形成された接続端子部と相対接続される引出し端子
部を形成して構成されている。

【００２５】また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、薄
膜磁気ヘッド素子の前記磁気回路部から引き出されて基
板上に形成された接続端子部とダミー基板に形成した引
出し端子部とはワイヤボンディングによって接続され
る。

【００２６】さらに本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、薄
膜磁気ヘッド素子に併設されることによって幅広の磁気
記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり量を
保持する複数個のダミー基板を備えている。これらダミ
ー基板の薄膜磁気ヘッド素子に隣接して配設された少な
くとも一方のダミー基板には、薄膜磁気ヘツド素子の前
記磁気回路部からの接続端子部と接続される引出し端子
部を形成して構成されている。

【００２７】さらにまた、本発明に係る薄膜磁気ヘッド
は、幅広の磁気記録媒体の走行方向に対して直交する方
向の当たり量を保持するように長尺に形成されたダミー
基板の一部に、薄膜磁気ヘッド素子を装填して接合固定
する薄膜磁気ヘッド素子装填部を切欠き形成するととも
に、この薄膜磁気ヘッド素子装填部の近傍に位置して薄
膜磁気ヘツド素子の磁気回路部からの接続端子部と接続
される引出し端子部を形成して構成されている。

【００２８】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、基板上に磁気回路部を構成する磁性体膜、導電コイ
ル部等が形成された薄膜磁気ヘッド素子に、前記磁気回
路部の接続端子部と相対接合する端子部が形成されかつ
磁気記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり
量を保持するダミー基板を併設固定する。次に、これら
薄膜磁気ヘッド素子とダミー基板とに磁気記録媒体の走
行方向の当たり量を保持する保護基板を前記磁気回路部
の接続端子部を被覆するようにして接合する。薄膜磁気
ヘッド素子、ダミー基板及び保護基板とによって構成さ
れる磁気記録媒体との当たり面が円弧状に削成される。

【００２９】

【作用】以上の構成を備える本発明に係る薄膜磁気ヘッ
ドによれば、磁気回路部を被覆するようにして薄膜磁気
ヘッド素子に接合固定した保護基板は、引出し端子部が
前記磁気回路部の接続端子部と直接接合されることによ
って、接続用のフレキシブル配線基板を介すること無く
制御部との電気的接続が行われる引出し部を構成する。
また、薄膜磁気ヘッド素子と保護基板とは、磁気記録媒
体との走行方向の厚み寸法が大ならしめられることによ
って磁気記録媒体との当たり量が確保され、磁気記録媒
体を円滑に走行させる。

【００３０】また、薄膜磁気ヘッド素子に隣接して接合
固定されるダミー基板は、前記薄膜磁気ヘッド素子と、
この薄膜磁気ヘッド素子の磁気回路部を被覆するように
して接合固定された保護基板とによって、幅広の磁気記
録媒体に対応してその走行方向に対して直交する方向の
全域に亘って接触する充分な当たり面を確保し、磁気記
録媒体を円滑に走行させるとともに損傷の発生を防止す
る。

【００３１】さらに、磁気回路部を被覆するようにして
薄膜磁気ヘッド素子に接合固定される長尺の保護基板の
一側部に長さ方向に一体に形成されたダミー部は、薄膜
磁気ヘッド素子に対して幅広の磁気記録媒体の走行方向
に対して直交する方向の全域に亘って接触する充分な当
たり面を確保し、磁気記録媒体を円滑に走行させるとと
もに損傷の発生を防止する。また、このダミー部の一部
に切欠き形成した薄膜磁気ヘッド素子装填部に薄膜磁気
ヘッド素子を装填して接合固定することによって、幅広
の磁気記録媒体の幅方向に形成された特定の記録領域に
対応して薄膜磁気ヘッド素子が対応位置される薄膜磁気
ヘッドが構成される。

【００３２】本発明に係る薄膜磁気ヘッド製造方法によ
れば、磁気回路部を被覆するようにして薄膜磁気ヘッド
素子に保護基板を接合固定した後、薄膜磁気ヘッド素子
と保護基板とによって構成される磁気記録媒体との当た
り面を円弧状に作成することから、制御部との電気的接
続が容易でありかつ磁気記録媒体との当たり量が充分に
確保されて磁気記録媒体を円滑に走行させる薄膜磁気ヘ
ッドが得られる。

【００３３】上述した構成を備える本発明に係る薄膜磁
気ヘッドによれば、保護基板は、磁気回路部を被覆して
これを保護するとともに薄膜磁気ヘッド素子と共働して
磁気記録媒体の走行方向の厚み寸法が大ならしめられて
磁気記録媒体との当たり量を確保して、磁気記録媒体を
円滑に走行させる。薄膜磁気ヘッド素子に隣接して長尺
の保護基板に接合固定されるダミー基板は、保護基板と
共働して磁気記録媒体の走行方向の厚み寸法が大ならし
められて磁気記録媒体との当たり量を確保して、磁気記
録媒体を円滑に走行させるとともに、磁気記録媒体の走
行方向と直交する幅方向の当たり量を確保して磁気記録
媒体の損傷を防止する。さらに、このダミー基板は、引
出し端子部と薄膜磁気ヘッド素子の磁気回路部の接続端
子部とが直接接続されることによって、接続用のフレキ
シブル配線基板を介すること無く、制御部との電気的接
続が行われる引出し部を構成する。

【００３４】薄膜磁気ヘッド素子に隣接して配設される
複数個のダミー基板の少なくとも一方のダミー基板に薄
膜磁気ヘッド素子の磁気回路部の接続端子部と接続され
る引出し端子部を設けることによって、共通仕様の薄膜
磁気ヘッド素子が磁気記録媒体の幅方向に形成された特
定の記録領域に対応して配置されるとともに引出し端子
部の仕様を異にした薄膜磁気ヘッドが簡単に構成され
る。また、長尺のダミー基板の一部に切欠き形成した薄
膜磁気ヘッド装填部に薄膜磁気ヘッド素子を装填して接
合固定するように構成することによって、共通仕様の薄
膜磁気ヘッド素子を磁気記録媒体の幅方向に形成された
特定の記録領域に対応して配置した薄膜磁気ヘッドが得
られる。

【００３５】本発明に係る薄膜磁気ヘッド製造方法によ
れば、薄膜磁気ヘッド素子とダミー基板とを組み合わせ
て、薄膜磁気ヘッド素子に形成した磁気回路部からの接
続端子部と引出し端子部とを接続した後、これら薄膜磁
気ヘッド素子とダミー基板とに前記磁気回路部を被覆す
るようにして長尺の保護基板を接合固定し、しかる後薄
膜磁気ヘッド素子の基板、ダミー基板及び保護基板とが
共働して構成する磁気記録媒体との当たり面を円弧状に
削成することから、共通仕様の薄膜磁気ヘッド素子が磁
気記録媒体の幅方向に形成された特定の記録領域に対応
して配置されかつ制御部との電気的接続が容易でありか
つ磁気記録媒体との当たり量が充分に確保されて磁気記
録媒体を円滑に走行させる薄膜磁気ヘッドが得られる。

【００３６】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照
して詳細に説明する。本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第
１の実施例として、図１乃至図３に示した薄膜磁気ヘッ
ド２０は、薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板４０とか
ら構成されている。薄膜磁気ヘッド素子３０は、図１に
示すように、上述した従来の薄膜磁気ヘッド素子２と同
様に、セラミック材或いはフェライト材等からなる基板
３１上に真空薄膜形成技術、リソグラフィ技術によって
下層コア部を形成し、この下層コアの上面部に絶縁層を
介してスパイラル状の下部導電コイル部を形成するとと
もに絶縁層を介して上層コア部を形成してなり、この上
層コア部と前記下層コア部或いは導電コイル部とによっ
て基板３１の一側部に沿って磁気回路部３２を構成して
いる。また、基板３１には、前記磁気回路部３２が形成
された一側部と対向する他方側に位置して、磁気回路部
３２からリード部を介して制御部との接続用の複数個の
接続端子部３３が幅方向に併設された状態で一体に引き
出し形成されている。このようにして、基板３１上に磁
気回路部３２、接続端子部３３を形成した後、基板３１
をカッティングすることによって、薄膜磁気ヘッド素子
３０が構成される。

【００３７】保護基板４０は、図１に示すように、薄膜
磁気ヘッド素子３０を構成する基板３１と同質のセラミ
ック材或いはフェライト材等を材料とし、薄膜磁気ヘッ
ド素子３０に対してその幅方向の寸法が大ならしめられ
た横長矩形の偏平なブロック体として形成されている。
この保護基板４０の一側部には、後述するように薄膜磁
気ヘッド素子３０が接合固定される薄膜磁気ヘッド素子
取付け部４１が一体に突出形成されている。そして、こ
の薄膜磁気ヘッド素子取付け部４１は、薄膜磁気ヘッド
素子３０の基板３１の幅寸法とほぼ同じ幅寸法を有する
とともに、その基端側に位置して、図１に示すように、
複数個の素子側接続端子部４２が形成されている。これ
ら素子側接続端子部４２は、前記薄膜磁気ヘッド素子３
０の基板３１に形成した接続端子部３３にそれぞれ１対
１で対応するようにして個数、幅間隔が設定されて保護
基板４０上に形成されている。

【００３８】また、保護基板４０には、幅方向に大なら
しめられた他方側部に沿って複数個の外部接続端子部４
３が形成されている。これら外部接続端子部４３と前記
素子側接続端子部４２とは、前記薄膜磁気ヘッド素子３
０の接続端子部３３を外部へ引き出すための引出し端子
部として構成される。そして、これら外部接続端子部４
３は、それぞれの間隔が幅方向に対して充分保持される
ことによって制御部等の外部との接続が容易ならしめら
れており、リード部を介して前記素子側接続端子部４２
とそれぞれ１対１で接続されている。

【００３９】以上のように構成された保護基板４０に
は、図２に示すように、薄膜磁気ヘッド素子３０がその
磁気回路部３２側を薄膜磁気ヘッド素子取付け部４１に
対向するようにして接合された後、接着剤樹脂、例えば
熱硬化性接着剤樹脂であるエポキシ樹脂を用いて固定さ
れる。このようにして薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基
板４０の薄膜磁気ヘッド素子取付け部４１を接合固定す
ることによって、薄膜磁気ヘッド２０は、薄膜磁気ヘッ
ド素子３０部分の厚み寸法が大ならしめられる。また、
薄膜磁気ヘッド素子３０は、保護基板４０に接合固定さ
れた状態において、その磁気回路部３２が保護基板４０
に被覆されることによって保護されるとともに、薄膜磁
気ヘッド素子３０側の接続端子部３３と保護基板４０側
の素子側接続端子部４２とが、それぞれ１対１で接合し
て互いに電気的に接続される。

【００４０】以上のように、薄膜磁気ヘッド２０は、薄
膜磁気ヘッド素子３０と保護基板４０とを接合固定して
薄膜磁気ヘッド素子３０部分の厚み寸法が大ならしめら
れることによって、この薄膜磁気ヘッド２０を磁気記録
再生装置に組み込んだ際に走行する磁気記録媒体である
磁気テープが接触する一方の側面、すなわち当たり面２
１の走行方向の接触面積が確保される。また、薄膜磁気
ヘッド２０は、互いに接合固定された薄膜磁気ヘッド素
子３０と保護基板４０の薄膜磁気ヘッド素子取付け部４
１とが共働して構成する前記磁気テープとの当たり面２
１が、図３に示すように、円弧状に削成される。このよ
うに、薄膜磁気ヘッド２０は、磁気テープとの当たり面
２１が円弧状に形成されることによって、磁気テープの
円滑な走行を可能とする。

【００４１】上述したように、第１の実施例として示し
た薄膜磁気ヘッド２０においては、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのように制御部等との電気的接続を行うためのフレキ
シブル配線基板を不要とすることによって、部品数、組
立て工数の削減が図られる。また、薄膜磁気ヘッド素子
３０の接続端子部３３と保護基板４０の素子側接続端子
部４２との接続状態は、薄膜磁気ヘッド素子３０と薄膜
磁気ヘッド素子取付け部４１とが熱硬化性接着樹脂によ
ってしっかりと接合固定されることによって保持される
ため、引張り力が加えられた場合にも断線することは無
い。さらに、加熱工程も、薄膜磁気ヘッド素子３０と保
護基板４０とを熱硬化性接着樹脂を用いて接合固定する
１回の工程であるため、薄膜磁気ヘッド素子３０に対す
る熱影響が低減される。

【００４２】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第２の実施
例として、図４乃至図６に示した薄膜磁気ヘッド２２
は、記録再生装置或いはパーソナルコンピュータ、オフ
ィスコンピュータ等に接続されたデータバックアップ装
置に備えられ、装填されるデータカートリッジに収納さ
れた幅広であってかつ幅方向に複数の記録領域が形成さ
れた磁気テープの前記複数の記録領域の一部、具体的に
は磁気テープの幅方向の４トラックの記録領域を走査し
た後次の４トラック分の記録領域に移動され、以下順次
この移動動作が繰り返されることによって幅広の磁気テ
ープの全トラック分を走査してデータ信号の記録、再生
を行う全体長尺に構成された薄膜磁気ヘッドである。こ
の薄膜磁気ヘッド２２は、上述した第１の実施例薄膜磁
気ヘッド２０に用いられた薄膜磁気ヘッド素子３０と、
保護基板４０及び一対のダミー基板５１、５２とによっ
て構成されている。勿論、この実施例薄膜磁気ヘッド２
２がデータバックアップ装置に備えられて磁気テープが
走行動作された場合、薄膜磁気ヘッド素子３０は磁気テ
ープの前記特定記録領域に対応位置するとともに、ダミ
ー基板５１、５２は、磁気テープのその他の領域を摺擦
する。

【００４３】ダミー基板５１、５２は、薄膜磁気ヘッド
素子３０の基板３１と同質のセラミック材或いはフェラ
イト材等によって、図４に示すように、前記基板３１と
保護基板４０とを接合した厚み寸法と同一の厚み寸法を
有して形成されている。また、これらダミー基板５１、
５２は、その幅寸法が保護基板４０に突出形成した薄膜
磁気ヘッド素子取付け部４１の突出寸法とほぼ等しく、
さらに長さ寸法が薄膜磁気ヘッド素子取付け部４１の一
側部から保護基板４０の側端部までの間隔とほぼ等しく
形成されている。

【００４４】以上のように構成されたダミー基板５１、
５２は、図５に示すように、保護基板４０の一側部に、
前記薄膜磁気ヘッド素子取付け部４１を挟むようにして
配設された後、接着剤樹脂、例えば熱硬化性接着剤樹脂
であるエポキシ樹脂を用いて接合固定される。しかる
後、保護基板４０の薄膜磁気ヘッド素子取付け部４１に
は、図５に示すように、薄膜磁気ヘッド素子３０がその
磁気回路部３２側を対向するようにして接合された後、
接着剤樹脂、例えば熱硬化性接着剤樹脂であるエポキシ
樹脂を用いて固定される。このようにして薄膜磁気ヘッ
ド素子３０と保護基板４０の薄膜磁気ヘッド素子取付け
部４１を接合固定して構成した第２の実施例薄膜磁気ヘ
ッド２２は、薄膜磁気ヘッド素子３０の磁気回路部３２
が保護基板４０に被覆されることによって保護されると
ともに、薄膜磁気ヘッド素子３０側の接続端子部３３と
保護基板４０側の素子側接続端子部４２とが、それぞれ
１対１で接合して互いに電気的に接続される。

【００４５】なお、上述した薄膜磁気ヘッド素子３０、
保護基板４０及びダミー基板５１、５２の接合工程は、
説明の便宜上、別工程によって行うように説明したが、
実際は同一の接合工程によって行われる。この場合、薄
膜磁気ヘッド素子３０とダミー基板５１とは、保護基板
４０の接合面が接合基準面として作用した接合されるこ
とから、高精度の組立が行われる。なお、以下の各実施
例においても、同様であることは勿論である。

【００４６】以上のように、薄膜磁気ヘッド２２は、薄
膜磁気ヘッド素子３０と保護基板３０及びダミー基板５
１、５２とをそれぞれ組み合わせて接合固定することに
よって、この薄膜磁気ヘッド２２を磁気記録再生装置に
組み込んだ際に走行する磁気記録媒体である幅広の磁気
テープが接触する一方の側面、すなわち当たり面２３の
厚み寸法が大ならしめられて走行方向の接触面積が確保
される。また、薄膜磁気ヘッド２２は、互いに接合固定
された薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板４０の薄膜磁
気ヘッド素子取付け部４１及びダミー基板５１、５２と
が共働して構成する磁気テープとの前記当たり面２３
が、図６に示すように、円弧状に削成される。このよう
に、薄膜磁気ヘッド２２は、当たり面２３が円弧状に形
成されることによって、磁気テープの円滑な走行を可能
とする。

【００４７】上述したように、第２の実施例として示し
た幅広の磁気テープに適応するように全体長尺として構
成されるとともに磁気テープの特定の記録領域を走査す
る薄膜磁気ヘッド２２においては、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのように制御部等との電気的接続を行うためのフレキ
シブル配線基板を不要とすることによって、部品数、組
立て工数の削減が図られる。また、薄膜磁気ヘッド素子
３０の接続端子部３３と保護基板４０の素子側接続端子
部４２との接続状態は、薄膜磁気ヘッド素子３０と薄膜
磁気ヘッド素子取付け部４１とが熱硬化性接着樹脂によ
ってしっかりと接合固定されることによって保持される
ため、引張り力が加えられた場合にも断線することは無
い。さらに、ダミー基板５１、５２によって、磁気テー
プの走行方向と直交する方向に対しても充分な当たり量
を以った当たり面が確保されるため、幅広の磁気テープ
と幅狭の磁気テープに対して、共通仕様の薄膜磁気ヘッ
ド素子３０によっての対応が可能となる。

【００４８】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第３の実施
例として、図７乃至図９に示した薄膜磁気ヘッド２４
は、上述した第２の実施例薄膜磁気ヘッド２２と同様
に、記録再生装置或いはパーソナルコンピュータ、オフ
ィスコンピュータ等に接続されたデータバックアップ装
置に備えられ、装填されるデータカートリッジに収納さ
れた幅広であってかつ幅方向に複数の記録領域が形成さ
れた磁気テープの前記複数の記録領域の一部、具体的に
は磁気テープの幅方向の４トラックの記録領域を走査し
た後次の４トラック分の記録領域に移動され、以下順次
この移動動作が繰り返されることによって幅広の磁気テ
ープの全トラック分を走査してデータ信号の記録、再生
を行う全体長尺に構成された薄膜磁気ヘッドである。こ
の薄膜磁気ヘッド２４は、上述した薄膜磁気ヘッド素子
３０と、上述した保護基板４５とによって構成されてお
り、保護基板４５にダミー部４９Ａ、４９Ｂが一体に形
成された構成において、上記第２の実施例薄膜磁気ヘッ
ド２２との差異がある。

【００４９】すなわち、保護基板４５は、薄膜磁気ヘッ
ド素子３０の基板３１と同質のセラミック材或いはフェ
ライト材等によって形成され、図７に示すように、一方
側縁部に沿って一対のダミー部４９Ａ、４９Ｂが一体に
立設されている。これらダミー部４９Ａ、４９Ｂは、保
護基板４５からの突出高さ寸法が、薄膜磁気ヘッド素子
３０の厚み寸法とほぼ等しく形成されている。また、保
護基板４５には、これらダミー部４９Ａ、４９Ｂの相対
する側面間に構成される長手方向のほぼ中央部の空間部
が、薄膜磁気ヘッド素子取付け部４６として構成されて
いる。すなわち、この薄膜磁気ヘッド素子取付け部４６
は、薄膜磁気ヘッド素子３０の基板３１の幅寸法とほぼ
同じ幅寸法を有しており、その基端側に位置して、図７
に示すように、複数個の素子側接続端子部４７が形成さ
れている。これら素子側接続端子部４７は、前記薄膜磁
気ヘッド素子３０の基板３１に形成した接続端子部３３
にそれぞれ１対１で対応するようにして個数、幅間隔が
設定されて保護基板４５上に形成されている。これら素
子側接続端子部４７は、幅方向に大ならしめられた保護
基板４５の他方側部に沿って、制御部等の外部との接続
が容易ならしめるようにそれぞれの間隔が充分保持され
て形成された複数個の外部接続端子部４８とリード部を
介してそれぞれ１対１で接続されている。

【００５０】以上のように構成された保護基板４５に
は、薄膜磁気ヘッド素子３０が薄膜磁気ヘッド素子取付
け部４６に装填されて接合固定される。すなわち、薄膜
磁気ヘッド素子３０は、その磁気回路部３２側を対向す
るようにして薄膜磁気ヘッド素子取付け部４６に接合さ
れた後、接着剤樹脂、例えば熱硬化性接着剤樹脂である
エポキシ樹脂を用いて固定される。このようにして薄膜
磁気ヘッド素子３０をダミー部４９Ａ、４９Ｂ間に位置
して形成された薄膜磁気ヘッド素子取付け部４６に装填
されて保護基板４５に接合固定して構成した第３の実施
例薄膜磁気ヘッド２４は、薄膜磁気ヘッド素子３０の磁
気回路部３２が保護基板４５に被覆されることによって
保護されるとともに、薄膜磁気ヘッド素子３０側の接続
端子部３３と保護基板４５側の素子側接続端子部４７と
が、それぞれ１対１で接合して互いに電気的に接続され
る。

【００５１】以上のように、薄膜磁気ヘッド２４は、薄
膜磁気ヘッド素子３０とダミー部４９Ａ、４９Ｂを一体
に形成した保護基板４５とを組み合わせて接合固定する
ことによって、この薄膜磁気ヘッド２４を磁気記録再生
装置に組み込んだ際に走行する磁気記録媒体である幅広
の磁気テープが接触する一方の側面、すなわち当たり面
２５の厚み寸法が大ならしめられて走行方向の接触面積
が確保される。また、薄膜磁気ヘッド２４は、互いに接
合固定された薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板４５の
薄膜磁気ヘッド素子取付け部４６及びダミー部４９Ａ、
４９Ｂとが共働して構成する磁気テープとの前記当たり
面２５が、図９に示すように、円弧状に削成される。こ
のように、薄膜磁気ヘッド２４は、当たり面２５が円弧
状に形成されることによって、磁気テープの円滑な走行
を可能とする。

【００５２】上述したように、第３の実施例として示し
た幅広の磁気テープに適応するように全体長尺として構
成されるとともに磁気テープの特定の記録領域を走査す
る薄膜磁気ヘッド２４においては、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのように制御部等との電気的接続を行うためのフレキ
シブル配線基板を不要とすることによって、部品数、組
立て工数の削減が図られる。また、薄膜磁気ヘッド素子
３０の接続端子部３３と保護基板４５の素子側接続端子
部４７との接続状態は、薄膜磁気ヘッド素子３０と薄膜
磁気ヘッド素子取付け部４６とが熱硬化性接着樹脂によ
ってしっかりと接合固定されることによって保持される
ため、引張り力が加えられた場合にも断線することは無
い。さらに、ダミー部４９Ａ、４９Ｂによって、磁気テ
ープの走行方向と直交する方向に対しても充分な当たり
量を以った当たり面が確保されるため、幅広の磁気テー
プと幅狭の磁気テープに対して、共通仕様の薄膜磁気ヘ
ッド素子３０によっての対応が可能となる。さらにま
た、上述した第２の実施例薄膜磁気ヘッド２２と比較し
て、加熱工程も、薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板４
５とを熱硬化性接着樹脂を用いて接合固定する１回の工
程であるため、薄膜磁気ヘッド素子３０に対する熱影響
が低減される。

【００５３】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第４の実施
例として、図１０乃至図１２に示した薄膜磁気ヘッド２
６は、上述した第２及び第３の実施例薄膜磁気ヘッド２
２、２４と同様に、記録再生装置或いはビデオテープレ
コーダに備えられ、装填されるビデオテープカートリッ
ジに収納された幅広であってかつ幅方向に複数の記録領
域が形成された磁気テープの前記複数の記録領域の一
部、具体的には磁気テープの幅方向の側方部に形成され
た記録領域を走査するところの全体長尺に構成された薄
膜磁気ヘッドである。

【００５４】この薄膜磁気ヘッド２６は、上述した薄膜
磁気ヘッド素子３０と、幅広の磁気テープの幅寸法とほ
ぼ等しい長さ寸法を有する上述した保護基板６０とによ
って構成されており、保護基板６０にダミー部６４を一
体に形成する構成については上記第３の実施例薄膜磁気
ヘッド２４と同様であるが、このダミー部６４が１個で
あること及び薄膜磁気ヘッド素子取付け部６１が保護基
板６０の長手方向の一側部に形成されている構成におい
て差異がある。

【００５５】すなわち、保護基板６０は、薄膜磁気ヘッ
ド素子３０の基板３１と同質のセラミック材或いはフェ
ライト材等によって形成され、図１０に示すように、一
方側縁部に沿って、保護基板４５からの突出高さ寸法が
薄膜磁気ヘッド素子３０の厚み寸法とほぼ等しく形成さ
れたブロック状のダミー部６４が一体に立設されてい
る。このダミー部６４は、保護基板６０の長手方向の長
さ寸法に対して薄膜磁気ヘッド素子３０の幅寸法分短く
形成されるとともに、保護基板６０からの突出高さ寸法
が、薄膜磁気ヘッド素子３０の厚み寸法とほぼ等しく形
成されている。したがって、保護基板６０には、その一
方側端部とダミー部６４の側面部との間に位置して薄膜
磁気ヘッド素子３０の幅寸法とほぼ等しい切欠き空間部
が構成され、この空間部が薄膜磁気ヘッド素子取付け部
６１として構成される。

【００５６】薄膜磁気ヘッド素子３０の基板３１の幅寸
法とほぼ同じ幅寸法とされた薄膜磁気ヘッド素子取付け
部６１には、その基端側に位置して、図１０に示すよう
に、複数個の素子側接続端子部６２が形成されている。
これら素子側接続端子部６２は、前記薄膜磁気ヘッド素
子３０の基板３１に形成した接続端子部３３にそれぞれ
１対１で対応するようにして個数、幅間隔が設定されて
保護基板６０上に形成されている。これら素子側接続端
子部６２は、ダミー部６４が一体に形成されることによ
って、幅方向に大ならしめられた保護基板６０の他方側
部に沿って、制御部等の外部との接続が容易ならしめる
ようにそれぞれの間隔が充分保持されて形成された複数
個の外部接続端子部６３とリード部を介してそれぞれ１
対１で接続されている。

【００５７】以上のように構成された保護基板６０に
は、薄膜磁気ヘッド素子３０が薄膜磁気ヘッド素子取付
け部６１に装填されて接合固定される。すなわち、薄膜
磁気ヘッド素子３０は、その磁気回路部３２側を対向す
るようにして薄膜磁気ヘッド素子取付け部６１に接合さ
れた後、接着剤樹脂、例えば熱硬化性接着剤樹脂である
エポキシ樹脂を用いて固定される。このようにして薄膜
磁気ヘッド素子３０を薄膜磁気ヘッド素子取付け部６１
に装填して保護基板６０に接合固定して構成した第４の
実施例薄膜磁気ヘッド２６は、薄膜磁気ヘッド素子３０
の磁気回路部３２が保護基板６０の薄膜磁気ヘッド素子
取付け部６１に被覆されることによって保護されるとと
もに、薄膜磁気ヘッド素子３０側の接続端子部３３と保
護基板６０側の素子側接続端子部６２とが、それぞれ１
対１で接合して互いに電気的に接続される。

【００５８】以上のように、薄膜磁気ヘッド２６は、薄
膜磁気ヘッド素子３０とダミー部６４を一体に形成した
保護基板６０とを組み合わせて接合固定することによっ
て、この薄膜磁気ヘッド２６を磁気記録再生装置に組み
込んだ際に走行する磁気記録媒体である幅広の磁気テー
プが接触する一方の側面、すなわち当たり面２７の厚み
寸法が大ならしめられて走行方向の接触面積が確保され
る。また、薄膜磁気ヘッド２６は、互いに接合固定され
た薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板６０の薄膜磁気ヘ
ッド素子取付け部６１及びダミー部６４とが共働して構
成する磁気テープとの前記当たり面２７が、図１１に示
すように、円弧状に削成される。このように、薄膜磁気
ヘッド２６は、当たり面２７が円弧状に形成されること
によって、磁気テープの円滑な走行を可能とする。

【００５９】上述したように、第４の実施例として示し
た幅広の磁気テープに適応するように全体長尺として構
成されるとともに磁気テープの特定の記録領域を走査す
る薄膜磁気ヘッド２６においては、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのように制御部等との電気的接続を行うためのフレキ
シブル配線基板を不要とすることによって、部品数、組
立て工数の削減が図られる。また、薄膜磁気ヘッド素子
３０の接続端子部３３と保護基板６０の素子側接続端子
部６２との接続状態は、薄膜磁気ヘッド素子３０と薄膜
磁気ヘッド素子取付け部６１とが熱硬化性接着樹脂によ
ってしっかりと接合固定されることによって保持される
ため、引張り力が加えられた場合にも断線することは無
い。さらに、ダミー部６４によって、磁気テープの走行
方向と直交する方向に対しても充分な当たり量を以った
当たり面が確保されるため、幅広の磁気テープと幅狭の
磁気テープに対して、共通仕様の薄膜磁気ヘッド素子３
０によっての対応が可能となる。さらにまた、加熱工程
も、薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板６０とを熱硬化
性接着樹脂を用いて接合固定する１回の工程であるた
め、薄膜磁気ヘッド素子３０に対する熱影響が低減され
る。

【００６０】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第５の実施
例として、図１３乃至図１７に示した薄膜磁気ヘッド７
０は、上述した第２乃至第４の実施例薄膜磁気ヘッド２
２、２４、２６と同様に、記録再生装置或いはパーソナ
ルコンピュータ、オフィスコンピュータ等に接続された
データバックアップ装置に備えられ、装填されるデータ
カートリッジに収納された幅広であってかつ幅方向に複
数の記録領域が形成された磁気テープの前記複数の記録
領域の一部、具体的には磁気テープの幅方向の４トラッ
クの記録領域を走査した後次の４トラック分の記録領域
に移動され、以下順次この移動動作が繰り返されること
によって幅広の磁気テープの全トラック分を走査してデ
ータ信号の記録、再生を行う全体長尺に構成された薄膜
磁気ヘッドである。また、この第５の実施例薄膜磁気ヘ
ッド７０は、薄膜磁気ヘッド素子の端子部との接続をワ
イヤボンディングによって行うように構成したことに特
徴を有している。

【００６１】この薄膜磁気ヘッド７０は、薄膜磁気ヘッ
ド素子３５と、上述した保護基板６５と、薄膜磁気ヘッ
ド素子３５の両側面部にそれぞれ接合される一対のダミ
ー基板５５Ａ、５５Ｂとによって構成されている。薄膜
磁気ヘッド素子３５は、図１３に示すように、上述した
薄膜磁気ヘッド素子３０と同様に、セラミック材或いは
フェライト材等からなる基板３６上に真空薄膜形成技
術、リソグラフィ技術によって下層コア部を形成し、こ
の下層コアの上面部に絶縁層を介してスパイラル状の下
部導電コイル部を形成するとともに絶縁層を介して上層
コア部を形成してなり、この上層コア部と前記下層コア
部或いは導電コイル部とによって基板３６の一側部に沿
って磁気回路部３７を構成している。また、基板３６に
は、前記磁気回路部３７が形成された一側部と直交する
両側面側に位置して、磁気回路部３７からリード部を介
して制御部との接続用の複数個の接続端子部３８が幅方
向に併設された状態で一体に引き出し形成されている。
このようにして、基板３６上に磁気回路部３７、接続端
子部３８を形成した後、基板３６をカッティングするこ
とによって、薄膜磁気ヘッド素子３５が構成される。

【００６２】保護基板６５は、薄膜磁気ヘッド素子３５
の基板３６と同質のセラミック材或いはフェライト材等
によって形成され、少なくとも薄膜磁気ヘッド素子３５
の磁気回路部３６を被覆するに足る幅寸法を有するブロ
ック状に形成されている。また、ダミー基板５５Ａ、５
５Ｂも薄膜磁気ヘッド素子３５の基板３６と同質のセラ
ミック材或いはフェライト材等によって形成され、後述
するように薄膜磁気ヘッド素子３５の両側面部に接合さ
れた状態において、保護基板６５と同一長さを構成する
長さ寸法を有するとともに、薄膜磁気ヘッド素子３５の
基板３６とほぼ同一の幅寸法を有している。そして、こ
れらダミー基板５５Ａ、５５Ｂには、図１４に示すよう
に、薄膜磁気ヘッド素子３５と対向する側端部側に位置
して素子側接続端子部５６が形成されている。これら素
子側接続端子部５６は、ダミー基板５５Ａ、５５Ｂの長
手方向の一方側端部側に沿って制御部等の外部との接続
が容易ならしめるようにそれぞれの間隔が充分保持され
て形成された複数個の外部接続端子部５７とリード部を
介してそれぞれ１対１で接続されている。

【００６３】以上のように構成された薄膜磁気ヘッド素
子３５とダミー基板５５Ａ、５５Ｂとは、図１５に示す
ように、薄膜磁気ヘッド素子３５の両側面部にダミー基
板５５Ａ、５５Ｂをそれぞれ配設した後、相対する側面
部が熱硬化性接着剤樹脂を用いて接合固定される。しか
る後、薄膜磁気ヘッド素子３５の磁気回路部３７を被覆
するようにして保護基板６５がこれら薄膜磁気ヘッド素
子３５及びダミー基板５５Ａ、５５Ｂ上に接合され、そ
れぞれの相対する接合面が熱硬化性接着剤樹脂を用いて
固定される。このようにして磁気回路部３６が保護基板
６５によって被覆されることによって保護された薄膜磁
気ヘッド素子３５は、その接続端子部３８とダミー基板
５５Ａ、５５Ｂの素子側接続端子部５６とが、いわゆる
ワイヤボンディング法を利用してワイヤ５８によってそ
れぞれ１対１で接合して互いに電気的に接続される。接
続端子部３８と素子側接続端子部５６とを接続するワイ
ヤ５８の取付けに際しては、加熱を必要としないため、
加熱工程も、薄膜磁気ヘッド素子３５と保護基板６５と
を熱硬化性接着樹脂を用いて接合固定する１回の工程と
なり、薄膜磁気ヘッド素子３５に対する熱影響が低減さ
れる。

【００６４】以上のように、薄膜磁気ヘッド７０は、薄
膜磁気ヘッド素子３５と保護基板６５及びダミー基板５
５Ａ、５５Ｂとをそれぞれ組み合わせて接合固定するこ
とによって、この薄膜磁気ヘッド７０を磁気記録再生装
置に組み込んだ際に走行する磁気記録媒体である幅広の
磁気テープが接触する一方の側面、すなわち当たり面７
１の厚み寸法が大ならしめられて走行方向の接触面積が
確保される。また、薄膜磁気ヘッド７０は、互いに接合
固定された薄膜磁気ヘッド素子３５と保護基板６５及び
ダミー基板５５Ａ、５５Ｂとが共働して構成する磁気テ
ープとの前記当たり面７１が、図１７に示すように、円
弧状に削成される。このように、薄膜磁気ヘッド７０
は、当たり面７１が円弧状に形成されることによって、
磁気テープの円滑な走行を可能とする。

【００６５】上述したように、第５の実施例として示し
た幅広の磁気テープに適応するように全体長尺として構
成されるとともに磁気テープの特定の記録領域を走査す
る薄膜磁気ヘッド７０においては、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのように制御部等との電気的接続を行うためのフレキ
シブル配線基板を不要とし、構成部材である薄膜磁気ヘ
ッド素子３５、保護基板６５及びダミー基板５５Ａ、５
５Ｂは熱硬化性接着樹脂によってしっかりと接合固定さ
れることによって保持されるため、引張り力が加えられ
た場合にも断線することは無い。また、フレキシブル配
線基板を用いた配線方法に対して、ワイヤ５８を用いて
薄膜磁気ヘッド素子３５の接続端子部３８とダミー基板
５５Ａ、５５Ｂの素子側接続端子部５６とを接続するた
め、各端子部間の間隔を小ならしめることが可能とさ
れ、全体の小型化を図ることができる。さらに、ダミー
基板５５Ａ、５５Ｂによって、磁気テープの走行方向と
直交する方向に対しても充分な当たり量を以った当たり
面が確保されるため、幅広の磁気テープと幅狭の磁気テ
ープに対して、共通仕様の薄膜磁気ヘッド素子３０によ
っての対応が可能となる。また、これらダミー基板５５
Ａ、５５Ｂを適宜選択することによって、共通仕様の薄
膜磁気ヘッド素子３５を磁気テープの特定記録領域に対
応位置させた薄膜磁気ヘッドを得ることができる。

【００６６】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第６の実施
例として、図１８乃至図２１に示した薄膜磁気ヘッド７
２は、上述した各実施例薄膜磁気ヘッドと同様に、記録
再生装置或いはパーソナルコンピュータ、オフィスコン
ピュータ等に接続されたデータバックアップ装置に備え
られ、装填されるデータカートリッジに収納された幅広
であってかつ幅方向に複数の記録領域が形成された磁気
テープの前記複数の記録領域の一部、具体的には磁気テ
ープの幅方向の４トラックの記録領域を走査した後次の
４トラック分の記録領域に移動され、以下順次この移動
動作が繰り返されることによって幅広の磁気テープの全
トラック分を走査してデータ信号の記録、再生を行う全
体長尺に構成された薄膜磁気ヘッドである。

【００６７】この薄膜磁気ヘッド７２は、上述した薄膜
磁気ヘッド素子３０と、上述した保護基板６５及びダミ
ー基板８０とによって構成されており、ダミー基板８０
に薄膜磁気ヘッド素子３０の引出し端子部を一体に形成
する構成及び端子部間の接続をワイヤボンディングによ
って行うように構成については、上述した第５の実施例
薄膜磁気ヘッド７０と同様である。

【００６８】ダミー基板８０は、図１８に示すように、
一方側端部の長さ方向の略中央部に位置して薄膜磁気ヘ
ッド素子取付け部８１が切欠き形成されている。この薄
膜磁気ヘッド素子取付け部８１は、薄膜磁気ヘッド素子
３０の基板３１の外形寸法とほぼ同じ切欠き寸法を以っ
てダミー基板８０に形成されている。また、ダミー基板
８０には、薄膜磁気ヘッド素子取付け部８１に対応し
て、複数個の素子側接続端子部８２が形成されている。
これら素子側接続端子部８２は、前記薄膜磁気ヘッド素
子３０の基板３１に形成した接続端子部３３にそれぞれ
１対１で対応するようにして個数、幅間隔が設定されて
ダミー基板８０上に形成されている。これら素子側接続
端子部８２は、ダミー基板８０の前記薄膜磁気ヘッド素
子取付け部８１が形成された側端部とは反対側の側端部
に沿って、制御部等の外部との接続が容易ならしめるよ
うにそれぞれの間隔が充分保持されて形成された複数個
の外部接続端子部８３とリード部を介してそれぞれ１対
１で接続されている。

【００６９】以上のように構成されたダミー基板８０に
は、薄膜磁気ヘッド素子３０が薄膜磁気ヘッド素子取付
け部８１に装填されて接合固定される。すなわち、薄膜
磁気ヘッド素子３０は、その接続端子部３３を素子側接
続端子部８２と対向させるようにして薄膜磁気ヘッド素
子取付け部８１に装填された後、接着剤樹脂、例えば熱
硬化性接着剤樹脂であるエポキシ樹脂を用いて固定され
る。しかる後、図１９に示すように、薄膜磁気ヘッド素
子３０の磁気回路部３２を被覆するようにして保護基板
６５がこれら薄膜磁気ヘッド素子３０及びダミー基板８
０上に接合され、それぞれの相対する接合面が熱硬化性
接着剤樹脂を用いて固定される。このようにして磁気回
路部３２が保護基板６５によって被覆されることによっ
て保護された薄膜磁気ヘッド素子３０は、図２０に示す
ように、その接続端子部３３とダミー基板８０の素子側
接続端子部８２とが、いわゆるワイヤボンディング法に
よりワイヤ８４でそれぞれ１対１で接合されて互いに電
気的に接続される。なお、上述したように接続端子部３
３と素子側接続端子部８２とを接続するワイヤ８４の取
付けに際しては、加熱を必要としないため、薄膜磁気ヘ
ッド７２を製造する際の加熱工程も、薄膜磁気ヘッド素
子３０とダミー基板８０とを熱硬化性接着樹脂を用いて
接合固定する１回の工程となり、薄膜磁気ヘッド素子３
０に対する熱影響が低減される。

【００７０】以上のように、薄膜磁気ヘッド７２は、薄
膜磁気ヘッド素子３０と保護基板６５及びダミー基板８
０とをそれぞれ組み合わせて接合固定することによっ
て、この薄膜磁気ヘッド７２を磁気記録再生装置に組み
込んだ際に走行する磁気記録媒体である幅広の磁気テー
プが接触する一方の側面、すなわち当たり面７３の厚み
寸法が大ならしめられて走行方向の接触面積が確保され
る。また、薄膜磁気ヘッド７２は、互いに接合固定され
た薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板６５及びダミー基
板８０とが共働して構成する磁気テープとの前記当たり
面７３が、図２１に示すように、円弧状に削成される。
このように、薄膜磁気ヘッド７２は、当たり面７３が円
弧状に形成されることによって、磁気テープの円滑な走
行を可能とする。

【００７１】上述したように、第６の実施例として示し
た幅広の磁気テープに適応するように全体長尺として構
成されるとともに磁気テープの特定の記録領域を走査す
る薄膜磁気ヘッド７２においては、従来の薄膜磁気ヘッ
ドのように制御部等との電気的接続を行うためのフレキ
シブル配線基板を不要とし、構成部材である薄膜磁気ヘ
ッド素子３０、保護基板６５及びダミー基板８０は互い
に熱硬化性接着樹脂によってしっかりと接合固定される
ことによって保持されるため、引張り力が加えられた場
合にも断線することは無い。また、フレキシブル配線基
板を用いた配線方法に対して、ワイヤ８４を用いて薄膜
磁気ヘッド素子３０の接続端子部３３とダミー基板８０
の素子側接続端子部８３とを接続するため、各端子部間
の間隔を小ならしめることが可能とされ、全体の小型化
を図ることができる。さらに、ダミー基板８０によっ
て、磁気テープの走行方向と直交する方向に対しても充
分な当たり量を以った当たり面が確保され、幅広の磁気
テープと幅狭の磁気テープに対して、共通仕様の薄膜磁
気ヘッド素子３０によっての対応が可能となる。また、
ダミー基板８０に切欠き形成する薄膜磁気ヘッド素子取
付け部８１の位置を適宜選択することによって、共通仕
様の薄膜磁気ヘッド素子３０を磁気テープの特定記録領
域に対応位置させた薄膜磁気ヘッドを得ることができ
る。

【００７２】すなわち、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの
第７の実施例として、図２２乃至図２５に示した薄膜磁
気ヘッド７４は、上述した第６の実施例薄膜磁気ヘッド
７２と同様に、記録再生装置或いはビデオテープレコー
ダに備えられ、装填されるビデオテープカートリッジに
収納された幅広であってかつ幅方向に複数の記録領域が
形成された磁気テープの前記複数の記録領域の一部、具
体的には磁気テープの幅方向の側方部に形成された記録
領域を走査するところの全体長尺に構成された薄膜磁気
ヘッドである。

【００７３】この薄膜磁気ヘッド７４は、上述した薄膜
磁気ヘッド素子３０と、幅広の磁気テープの幅寸法とほ
ぼ等しい長さ寸法を有する上述した保護基板６５及びダ
ミー基板８５とによって構成されており、ダミー基板８
５に薄膜磁気ヘッド素子３０の引出し端子部を一体に形
成する構成及び端子部間の接続をワイヤボンディングに
よって行うように構成については、上述した第６の実施
例薄膜磁気ヘッド７２と同様であるが、薄膜磁気ヘッド
素子３０を、記録領域が幅方向の側方部に形成された磁
気テープに適応させるため、ダミー基板８５の長手方向
の一側部に配設した構成について特徴を有している。

【００７４】すなわち、ダミー基板８５は、図２２に示
すように、一方側端部の長さ方向の一側部に位置して薄
膜磁気ヘッド素子取付け部８６が切欠き形成されてい
る。この薄膜磁気ヘッド素子取付け部８６は、薄膜磁気
ヘッド素子３０の基板３１の外形寸法とほぼ同じ切欠き
寸法を以ってダミー基板８５に形成されている。また、
ダミー基板８５には、薄膜磁気ヘッド素子取付け部８６
に対応して、複数個の素子側接続端子部８７が形成され
ている。これら素子側接続端子部８７は、前記薄膜磁気
ヘッド素子３０の基板３１に形成した接続端子部３３に
それぞれ１対１で対応するようにして個数、幅間隔が設
定されてダミー基板８５上に形成されている。これら素
子側接続端子部８７は、ダミー基板８５の前記薄膜磁気
ヘッド素子取付け部８６が形成された側端部とは反対側
の側端部に沿って、制御部等の外部との接続が容易なら
しめるようにそれぞれの間隔が充分保持されて形成され
た複数個の外部接続端子部８８とリード部を介して接続
されている。

【００７５】以上のように構成されたダミー基板８５に
は、薄膜磁気ヘッド素子３０が薄膜磁気ヘッド素子取付
け部８６に装填されて接合固定される。すなわち、薄膜
磁気ヘッド素子３０は、その接続端子部３３を素子側接
続端子部８７と対向させるようにして薄膜磁気ヘッド素
子取付け部８６に装填された後、接着剤樹脂、例えば熱
硬化性接着剤樹脂であるエポキシ樹脂を用いて固定され
る。しかる後、図２３に示すように、薄膜磁気ヘッド素
子３０の磁気回路部３２を被覆するようにして保護基板
６５がこれら薄膜磁気ヘッド素子３０及びダミー基板８
５上に接合され、それぞれの相対する接合面が熱硬化性
接着剤樹脂を用いて固定される。このようにして磁気回
路部３２が保護基板６５によって被覆されることによっ
て保護された薄膜磁気ヘッド素子３０は、図２４に示す
ように、その接続端子部３３とダミー基板８５の素子側
接続端子部８７とが、いわゆるワイヤボンディング法に
よりワイヤ８９でそれぞれ１対１で接合されて互いに電
気的に接続される。なお、上述したように接続端子部３
３と素子側接続端子部８７とを接続するワイヤ８９の取
付けに際しては、加熱を必要としないため、薄膜磁気ヘ
ッド７４を製造する際の加熱工程も、薄膜磁気ヘッド素
子３０とダミー基板８５とを熱硬化性接着樹脂を用いて
接合固定する１回の工程となり、薄膜磁気ヘッド素子３
０に対する熱影響が低減される。

【００７６】以上のように、薄膜磁気ヘッド７４は、薄
膜磁気ヘッド素子３０と保護基板６５及びダミー基板８
５とをそれぞれ組み合わせて接合固定することによっ
て、この薄膜磁気ヘッド７４を磁気記録再生装置に組み
込んだ際に走行する磁気記録媒体である幅広の磁気テー
プが接触する一方の側面、すなわち当たり面７５の厚み
寸法が大ならしめられて走行方向の接触面積が確保され
る。また、薄膜磁気ヘッド７４は、互いに接合固定され
た薄膜磁気ヘッド素子３０と保護基板６５及びダミー基
板８５とが共働して構成する磁気テープとの前記当たり
面７５が、図２５に示すように、円弧状に削成される。
このように、薄膜磁気ヘッド７４は、当たり面７５が円
弧状に形成されることによって、磁気テープの円滑な走
行を可能とする。

【００７７】上述したように、第７の実施例として示し
た幅広の磁気テープに適応するように全体長尺として構
成されるとともに磁気テープの幅方向の側方部に形成さ
れた特定の記録領域を走査する薄膜磁気ヘッド７４にお
いては、従来の薄膜磁気ヘッドのように制御部等との電
気的接続を行うためのフレキシブル配線基板を不要と
し、構成部材である薄膜磁気ヘッド素子３０、保護基板
６５及びダミー基板８５は互いに熱硬化性接着樹脂によ
ってしっかりと接合固定されることによって保持される
ため、引張り力が加えられた場合にも断線することは無
い。また、フレキシブル配線基板を用いた配線方法に対
して、ワイヤ８９を用いて薄膜磁気ヘッド素子３０の接
続端子部３３とダミー基板８５の素子側接続端子部８７
とを接続するため、各端子部間の間隔を小ならしめるこ
とが可能とされ、全体の小型化を図ることができる。さ
らに、ダミー基板８５によって、磁気テープの走行方向
と直交する方向に対しても充分な当たり量を以った当た
り面が確保され、幅広の磁気テープと幅狭の磁気テープ
に対して、共通仕様の薄膜磁気ヘッド素子３０によって
の対応が可能となる。

【００７８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る薄膜磁気ヘッドによれば、薄膜磁気ヘッド素子と、こ
の薄膜磁気ヘッド素子の基板上に形成された磁気回路部
を被覆するようにして接合固定されることによって、前
記磁気回路部を保護する保護基板とによって構成され、
この保護基板に前記磁気回路部の接続端子部と接合され
る引出し端子部を一体に形成したことにより、磁気記録
媒体との当たり量は充分に保持されるため磁気記録媒体
を損傷させるといった不都合の発生が確実に防止される
とともに、接続用の部品であるフレキシブル配線基板が
不要とされることにより、部品点数、加工工数が削減さ
れコストの低減が図られる。また、薄膜磁気ヘッドと保
護基板とは互いにしっかりと接合保持されるため、引張
り力等が加えられた場合にも両端子部の接合部分での断
線が生ずることは無く、さらに加熱工程も少ないため、
薄膜磁気ヘッド素子に対する熱影響が軽減され、高精
度、信頼性の向上が図られる。

【００７９】また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造
方法によれば、薄膜磁気ヘッド素子の基板上に、この薄
膜磁気ヘッド素子の磁気回路部の接続端子部に対応して
引出し端子部が一体に形成された保護基板を、前記磁気
回路部を被覆するようにして接合固定し、しかる後磁気
記録媒体の当たり面を円弧状に削成するようにして製造
することによって、接続部間の配線工程が大幅に短縮さ
れるとともに精密な配線が行なわれ、以って高精度で信
頼性の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。また、幅広の磁
気テープの特定記録領域に対応して共通仕様の薄膜磁気
ヘッド素子を配置させた薄膜磁気ヘッドが極めて簡単に
得られる。

【００８０】本発明に係る薄膜磁気ヘッドによれば、薄
膜磁気ヘッド素子と、この薄膜磁気ヘッド素子の基板上
に形成された磁気回路部を被覆するようにして接合固定
されることによって前記磁気回路部を保護する保護基板
と、薄膜磁気ヘッド素子に隣接して接合固定されるダミ
ー基板とから構成され、このダミー基板に前記磁気回路
部の接続端子部と接合される引出し端子部を一体に形成
したことにより、磁気記録媒体との当たり量は充分に保
持されるため磁気記録媒体を損傷させるといった不都合
の発生が確実に防止されるとともに、接続用の部品であ
るフレキシブル配線基板が不要とされることにより、部
品点数、加工工数が削減されコストの低減が図られる。
また、薄膜磁気ヘッドと保護基板とは互いにしっかりと
接合保持されるため、引張り力等が加えられた場合にも
両端子部の接合部分での断線が生ずることは無く、さら
に加熱工程も少ないため、薄膜磁気ヘッド素子に対する
熱影響が軽減され、高精度、信頼性の向上が図られる。

【００８１】また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造
方法によれば、薄膜磁気ヘッド素子に隣接してこの薄膜
磁気ヘッド素子の磁気回路部の配線端子部に対応して引
出し端子部が一体に形成されたダミー基板を接合固定
し、さらに薄膜磁気ヘッド素子の基板上に前記磁気回路
部を被覆するようにして接合固定し、しかる後磁気記録
媒体の当たり面を円弧状に削成するようにして製造する
ことによって、接続部間の配線工程が大幅に短縮される
とともに精密な配線が行なわれ、以って高精度で信頼性
の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。また、幅広の磁気テ
ープの特定記録領域に対応して共通仕様の薄膜磁気ヘッ
ド素子を配置させた薄膜磁気ヘッドが極めて簡単に得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第１の実施例構
成部材を説明するため分解した状態で示した斜視図であ
る。

【図２】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた状
態の斜視図である。

【図３】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり面
を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図４】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの長尺型である第
２の実施例構成部材を説明するため分解した状態で示し
た斜視図である。

【図５】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた状
態の斜視図である。

【図６】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり面
を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図７】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第３の実施例構
成部材を説明するため分解した状態で示した斜視図であ
る。

【図８】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた状
態の斜視図である。

【図９】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり面
を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図１０】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第３の実施例
構成部材を説明するため分解した状態で示した斜視図で
ある。

【図１１】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた
状態の斜視図である。

【図１２】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図１３】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第４の実施例
薄膜磁気ヘッドに備えられる薄膜磁気ヘッド素子の平面
図である。

【図１４】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を説明するため
分解した状態で示した斜視図である。

【図１５】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた
状態の斜視図である。

【図１６】同薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気ヘッド素子の接
続端子部とダミー基板の引出し端子部とをワイヤで接続
した状態を示した斜視図である。

【図１７】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図１８】同薄膜磁気ヘッドの第５の実施例構成部材を
説明するため分解した状態で示した斜視図である。

【図１９】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた
状態の斜視図である。

【図２０】同薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気ヘッド素子の接
続端子部とダミー基板の引出し端子部とをワイヤで接続
した状態を示した斜視図である。

【図２１】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図２２】同薄膜磁気ヘッドの第６の実施例構成部材を
説明するため分解した状態で示した斜視図である。

【図２３】同薄膜磁気ヘッドの構成部材を組み合わせた
状態の斜視図である。

【図２４】同薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気ヘッド素子の接
続端子部とダミー基板の引出し端子部とをワイヤで接続
した状態を示した斜視図である。

【図２５】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図２６】従来の薄膜磁気ヘッドに備えられる薄膜磁気
ヘッド素子の平面図である。

【図２７】同薄膜磁気ヘッド部の構成部材を説明するた
め分解した状態で示した斜視図である。

【図２８】同薄膜磁気ヘッド部とこの薄膜磁気ヘッド部
との電気的接続を行うためのフレキシブル配線基板とを
説明するため分解した状態で示した斜視図である。

【図２９】同薄膜磁気ヘッド部とフレキシブル配線基板
とを組み合わせた状態を示した斜視図である。

【図３０】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図３１】従来の長尺型の薄膜磁気ヘッドにおける薄膜
磁気ヘッド部の構成部材を説明するために分解した状態
で示した斜視図である。

【図３２】同薄膜磁気ヘッド部とこの薄膜磁気ヘッド部
との電気的接続を行うためのフレキシブル配線基板とを
説明するため分解した状態で示した斜視図である。

【図３３】同薄膜磁気ヘッド部とフレキシブル配線基板
とを組み合わせた状態を示した斜視図である。

【図３４】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【図３５】従来のさらに他の薄膜磁気ヘッドにおける薄
膜磁気ヘッド部の構成部材を説明するために分解した状
態で示した斜視図である。

【図３６】同薄膜磁気ヘッド部とこの薄膜磁気ヘッド部
との電気的接続を行うためのフレキシブル配線基板とを
説明するため分解した状態で示した斜視図である。

【図３７】同薄膜磁気ヘッド部とフレキシブル配線基板
とを組み合わせた状態を示した斜視図である。

【図３８】同薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり
面を円弧状に削成して形成した状態を示した斜視図であ
る。

【符号の説明】

３０ 薄膜磁気ヘッド素子 ３１ 基板 ３２ 磁気回路部 ３３ 接続端子部 ４０ 保護基板 ４１ 薄膜磁気ヘッド素子取付け部 ４２ 素子側接続端子部（引出し端子部） ４３ 外部接続端子部（引出し端子部） ４９ ダミー部 ５５ ダミー基板 ５６ 素子側接続端子部（引出し端子部） ５７ 外部接続端子部（引出し端子部）

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に磁気回路部を構成する磁性体
   膜、導電コイル部等を形成してなる薄膜磁気ヘッド素子
   と、この薄膜磁気ヘッド素子に前記磁気回路部を被覆す
   るようにして接合固定されることによって磁気回路部を
   保護するとともに磁気記録媒体の走行方向の当たり量を
   保持する保護基板とを備え、 この保護基板に、薄膜磁気ヘッド素子と接合固定した状
   態において前記磁気回路部から引き出されて基板上に形
   成された接続端子部と相対接合する引出し端子部を一体
   に形成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 薄膜磁気ヘッド素子に隣接して、幅広の
   磁気記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり
   量を保持するダミー基板を組み合わせたことを特徴とす
   る請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 長尺の保護基板の一側部に、幅広の磁気
   記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり量を
   保持するダミー部を一体に形成したことを特徴とする請
   求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 保護基板に一体に形成されたダミー部の
   一部を切り欠いて、薄膜磁気ヘッド素子が装填される薄
   膜磁気ヘッド素子装填部を形成したことを特徴とする請
   求項３記載の薄膜磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 基板上に磁気回路部を構成する磁性体
   膜、導電コイル部等が形成された薄膜磁気ヘッド素子
   に、前記磁気回路部から引き出された接続端子部と相対
   接合する引出し端子部が形成されかつ磁気記録媒体の走
   行方向の当たり量を保持する保護基板を前記磁気回路部
   を被覆するようにして接合固定した後、薄膜磁気ヘッド
   素子の基板と保護基板とが共働して構成する磁気記録媒
   体との当たり面を円弧状に削成することによって請求項
   １乃至請求項４に記載した薄膜磁気ヘッドを製造するこ
   とを特徴とした薄膜磁気ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 薄膜磁気ヘッド素子に隣接して、幅広の
   磁気記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり
   量を保持するダミー基板を組み合わせて接合固定した
   後、薄膜磁気ヘッド素子の基板と保護基板及びダミー基
   板とが共働して構成する磁気記録媒体との当たり面を円
   弧状に削成して構成することを特徴とした請求項５記載
   の薄膜磁気ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 長尺の保護基板の一側部に、幅広の磁気
   記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり量を
   保持するダミー部を一体に形成し、この保護基板を薄膜
   磁気ヘッド素子に組み合わせて接合固定した後、薄膜磁
   気ヘッド素子の基板と保護基板とが共働して構成する磁
   気記録媒体との当たり面を円弧状に削成して構成するこ
   とを特徴とした請求項５記載の薄膜磁気ヘッドの製造方
   法。
8. 【請求項８】 基板上に磁気回路部を構成する磁性体
   膜、導電コイル部等を形成してなる薄膜磁気ヘッド素子
   と、この薄膜磁気ヘッド素子に前記磁気回路部を被覆す
   るようにして接合固定されることによって磁気回路部を
   保護するとともに磁気記録媒体との走行方向の当たり量
   を保持する長尺の保護基板と、この保護基板に前記薄膜
   磁気ヘッド素子と併設した状態で接合固定されることに
   よって薄膜磁気ヘッド素子よりも幅広の磁気記録媒体と
   の走行方向に対して直交する方向の当たり量を保持する
   ダミー基板とを備え、 このダミー基板に、薄膜磁気ヘッド素子の前記磁気回路
   部から引き出されて基板上に形成された接続端子部と相
   対接続される引出し端子部を形成したことを特徴とする
   薄膜磁気ヘッド。
9. 【請求項９】 薄膜磁気ヘッド素子の前記磁気回路部か
   ら引き出されて基板上に形成された接続端子部とダミー
   基板に形成した引出し端子部とをワイヤボンディングし
   て接続することを特徴とする請求項８記載の薄膜磁気ヘ
   ッド。
10. 【請求項１０】 薄膜磁気ヘッド素子に併設されること
    によって幅広の磁気記録媒体の走行方向に対して直交す
    る方向の当たり量を保持する複数個のダミー基板を備
    え、これらダミー基板の薄膜磁気ヘッド素子に隣接して
    配設された少なくとも一方のダミー基板に、薄膜磁気ヘ
    ツド素子の前記磁気回路部からの接続端子部と接続され
    る引出し端子部を形成したことを特徴とする請求項８記
    載の薄膜磁気ヘッド。
11. 【請求項１１】 幅広の磁気記録媒体の走行方向に対し
    て直交する方向の当たり量を保持するように長尺に形成
    されたダミー基板の一部に、薄膜磁気ヘッド素子を装填
    して接合固定する薄膜磁気ヘッド素子装填部を切欠き形
    成するとともに、この薄膜磁気ヘッド素子装填部の近傍
    に位置して薄膜磁気ヘツド素子の磁気回路部からの接続
    端子部と接続される引出し端子部を形成したことを特徴
    とする請求項８記載の薄膜磁気ヘッド。
12. 【請求項１２】 基板上に磁気回路部を構成する磁性体
    膜、導電コイル部等が形成された薄膜磁気ヘッド素子に
    磁気記録媒体の走行方向に対して直交する方向の当たり
    量を保持するダミー基板を併設するとともに、薄膜磁気
    ヘッド素子の前記磁気回路部の接続端子部と相対するダ
    ミー基板に形成した引出し端子部とを配線接続し、これ
    ら薄膜磁気ヘッド素子とダミー基板とに磁気記録媒体の
    走行方向の当たり量を保持する保護基板を前記磁気回路
    部を被覆するようにして接合した後、薄膜磁気ヘッド素
    子の基板、ダミー基板及び保護基板とが共働して構成す
    る磁気記録媒体との当たり面を円弧状に削成することに
    よって請求項８乃至請求項１１に記載した薄膜磁気ヘッ
    ドを製造することを特徴とした薄膜磁気ヘッドの製造方
    法。