JPH01161545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01161545U JPH01161545U JP5813988U JP5813988U JPH01161545U JP H01161545 U JPH01161545 U JP H01161545U JP 5813988 U JP5813988 U JP 5813988U JP 5813988 U JP5813988 U JP 5813988U JP H01161545 U JPH01161545 U JP H01161545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooled
- cooling
- heat conductive
- cooling tank
- cooling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例を説明するための装
置断面図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １：冷却槽、２：冷却フイン、３：上磁極片、
４：下磁極片、５：編組線、６ａ，６ｂ：フラン
ジ、７：熱伝導部材製パイプ。
置断面図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １：冷却槽、２：冷却フイン、３：上磁極片、
４：下磁極片、５：編組線、６ａ，６ｂ：フラン
ジ、７：熱伝導部材製パイプ。
Claims (1)
- 試料近傍に配置された被冷却部材と、該被冷却
部材を冷却するための冷媒を満たした冷却槽と、
該冷却槽と前記被冷却部材を熱的に接続するため
の可撓性を有した熱伝導部材を備えた電子顕微鏡
における冷却装置において、一方の端が該冷却槽
に取り付けられると共に他方の端が前記被冷却部
材と接触しないように熱伝導部材より成るパイプ
を設け、前記可撓性熱伝導部材を該パイプを通し
て前記被冷却部材に接続したことを特徴とする電
子顕微鏡における冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5813988U JPH01161545U (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5813988U JPH01161545U (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01161545U true JPH01161545U (ja) | 1989-11-09 |
Family
ID=31283965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5813988U Pending JPH01161545U (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01161545U (ja) |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP5813988U patent/JPH01161545U/ja active Pending
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