JPS6284156U - - Google Patents

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JPS6284156U
JPS6284156U JP17601485U JP17601485U JPS6284156U JP S6284156 U JPS6284156 U JP S6284156U JP 17601485 U JP17601485 U JP 17601485U JP 17601485 U JP17601485 U JP 17601485U JP S6284156 U JPS6284156 U JP S6284156U
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JP
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cooling
conductive member
thermally conductive
pipe
cooling means
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JP17601485U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図はその動作を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：スペーサ、３：上磁極片
、４：下磁極片、５：ヨーク、６：励磁コイル、
７：ステージ、８：試料、９：試料ホルダ、１０
：冷却フイン、１１：押え金具、１２，１３：絶
縁物、１５：膨出部、１６：フランジ、１８：冷
却槽、１９：接続筒、２０：液体窒素、２１：内
槽、２２：熱伝導棒、２４：編組線、２７：接続
金具、３０：固定金具、３４：蓋体、３５：パイ
プ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの上磁極片と下磁極片との間に固定
    され、かつ光軸に垂直な方向のネジ穴を有する冷
    却フインと、該冷却フインを冷却するための冷媒
    を満たした冷却手段と、該冷却手段と前記冷却フ
    インとを熱的に接続するための可撓性を有した熱
    伝導性部材とを備え、前記熱伝導性部材の一端に
    前記ネジ穴に螺合するネジ及びピンを有する接続
    金具を、また他端に前記冷却手段に固定される固
    定金具を夫々設け、その内部に前記熱伝導性部材
    が挿入されるパイプを設け、該パイプの端部には
    前記ピンに嵌合する溝を設け、該パイプは前記熱
    伝導性部材を冷却トラツプに接続する際に前記ピ
    ンと嵌合し、冷却トラツプが冷却手段により冷却
    されているときには熱伝導性部材から該パイプを
    取り外すようになしたことを特徴とする電子顕微
    鏡における試料汚染防止装置。
JP1985176014U 1985-11-15 1985-11-15 Expired JPH0323650Y2 (ja)

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JP1985176014U JPH0323650Y2 (ja) 1985-11-15 1985-11-15

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JPS6284156U true JPS6284156U (ja) 1987-05-29
JPH0323650Y2 JPH0323650Y2 (ja) 1991-05-23

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005100988A (ja) * 2003-09-24 2005-04-14 Carl Zeiss Nts Gmbh 粒子放射装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51145848U (ja) * 1975-05-16 1976-11-24
JPS5478076A (en) * 1977-12-05 1979-06-21 Hitachi Ltd Frozen sample observation device of scanning electron microscope and similar unit
JPS58165848U (ja) * 1982-04-28 1983-11-04 日本電子株式会社 電子顕微鏡等の試料交換装置

Patent Citations (3)

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Publication number Publication date
JPH0323650Y2 (ja) 1991-05-23

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