JPH01161883A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH01161883A JPH01161883A JP32050787A JP32050787A JPH01161883A JP H01161883 A JPH01161883 A JP H01161883A JP 32050787 A JP32050787 A JP 32050787A JP 32050787 A JP32050787 A JP 32050787A JP H01161883 A JPH01161883 A JP H01161883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- resistor
- light
- laser
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガスレーザ発振器の出力安定化、特に温度特
性の向上に関する。
性の向上に関する。
従来、ガスレーザ発振器は、レーザ光の一部を反射させ
るビームスプリッタからのレーザ反射光を受光する光セ
ンサ部を設け、この光センサ部の出力をフィードバック
して、発振器出力の安定化を行なっている。
るビームスプリッタからのレーザ反射光を受光する光セ
ンサ部を設け、この光センサ部の出力をフィードバック
して、発振器出力の安定化を行なっている。
上述した従来のレーザ発振器は、光センサ部は光電変換
素子として通常ホトダイオード（太陽電池）と温度係数
の小さい抵抗器とを並列接続して構成されている。とこ
ろで、ホトダイオードは温度特性をもち、その光−電圧
変換効率は温度により第２図に示すように変化する。光
センサ部の抵抗器は温度係数が小さいので、上記の温度
特性によるホトダイオードの出力がそのまま検出信号の
変化としてフィードバックされ、ガスレーザ発振器の制
御部に伝達される。
素子として通常ホトダイオード（太陽電池）と温度係数
の小さい抵抗器とを並列接続して構成されている。とこ
ろで、ホトダイオードは温度特性をもち、その光−電圧
変換効率は温度により第２図に示すように変化する。光
センサ部の抵抗器は温度係数が小さいので、上記の温度
特性によるホトダイオードの出力がそのまま検出信号の
変化としてフィードバックされ、ガスレーザ発振器の制
御部に伝達される。
上記制御部は、検出信号の変化をうけて、ガスレーザ発
振器の出力を制御するため、ガス−レーザ発振器の出力
がもともと変化していないにもかかわらず、第３図に示
すようにレーザ出力が変化するという欠点があった。
振器の出力を制御するため、ガス−レーザ発振器の出力
がもともと変化していないにもかかわらず、第３図に示
すようにレーザ出力が変化するという欠点があった。
本発明の目的は、光センサ部の光電変換素子の温度特性
に起因する、誤った出力制御を防止するガスレーザ発振
器を提供することにある。
に起因する、誤った出力制御を防止するガスレーザ発振
器を提供することにある。
本発明は、レーザ出力の一部を光センサ部で検出し、そ
の検出信号をフィードバック信号として、レーザ出力を
一定に制御するガスレーザ発振器において、前記光セン
サ部が光電変換素子に、その温度変化を補償する温度係
数を有する抵抗器を並列に接続してなるものである。
の検出信号をフィードバック信号として、レーザ出力を
一定に制御するガスレーザ発振器において、前記光セン
サ部が光電変換素子に、その温度変化を補償する温度係
数を有する抵抗器を並列に接続してなるものである。
いま、光電変換素子としてホトダイオードを用いるもの
とする。ホトダイオードに並列接続された抵抗器の出力
端子電圧が検出信号としてフィードバックされるが、温
度が上昇しホトダイオードからの出力される電流が低下
しても、同時に抵抗器の抵抗値が上昇するので、検出信
号を一定に保つことができる。これによってホトダイオ
ード自体の温度特性が補償され、光センサ部の検出信号
が一定化され、光センサ部はガスレーザ発振器の本来の
出力変化のみ検出できるようになる。
とする。ホトダイオードに並列接続された抵抗器の出力
端子電圧が検出信号としてフィードバックされるが、温
度が上昇しホトダイオードからの出力される電流が低下
しても、同時に抵抗器の抵抗値が上昇するので、検出信
号を一定に保つことができる。これによってホトダイオ
ード自体の温度特性が補償され、光センサ部の検出信号
が一定化され、光センサ部はガスレーザ発振器の本来の
出力変化のみ検出できるようになる。
〔実施例〕
以下１図面を参照して、本発明の一実施例につき説明す
る。第１図はガスレーザ発振器として、空冷アルゴンレ
ーザ発振器の概略図である。１は両端に１対の光共振器
用ミラーを有する内部ミラー型空冷アルゴンレーザ管、
２はレーザ出力光の１部を反射させるビームスプリッタ
、３，４はそれぞれビームスプリッタ２により分離され
たレーザ出力光と光フイードバツク用の信号となるレー
ザ反射光である。光センサ部７は、上記レーザ反射光４
を受光するホトダイオード（太陽電池）５と、並列接続
され穴高い正温度係数の負荷抵抗器６とからなり、負荷
抵抗器６の出力端子電圧を図示していないレーザ電源の
出力制御部にフィードバックしている。
る。第１図はガスレーザ発振器として、空冷アルゴンレ
ーザ発振器の概略図である。１は両端に１対の光共振器
用ミラーを有する内部ミラー型空冷アルゴンレーザ管、
２はレーザ出力光の１部を反射させるビームスプリッタ
、３，４はそれぞれビームスプリッタ２により分離され
たレーザ出力光と光フイードバツク用の信号となるレー
ザ反射光である。光センサ部７は、上記レーザ反射光４
を受光するホトダイオード（太陽電池）５と、並列接続
され穴高い正温度係数の負荷抵抗器６とからなり、負荷
抵抗器６の出力端子電圧を図示していないレーザ電源の
出力制御部にフィードバックしている。
従来例の負荷抵抗器の温度係数は５ ＰＰＭ／℃の変化
率をもつが、本実施例では２８００ＰＰＭ／”０のもの
を使用した結果、従来３５℃（２５℃を１０ｏｚとして
）における約４％のレーザ出力変化が約２％と半減する
ことができた。
率をもつが、本実施例では２８００ＰＰＭ／”０のもの
を使用した結果、従来３５℃（２５℃を１０ｏｚとして
）における約４％のレーザ出力変化が約２％と半減する
ことができた。
いままでの説明において、光電変換素子としてホトダイ
オード（太陽電池）を対象としたが、この素子は温度に
対して負の出方電圧係数をもつので抵抗器には正の温度
係数をもたせて補償するようにした。しかし光電変換素
子として正の出力電圧係数をもつものを用いた場合は、
抵抗器としては負の係数を有するサーミスタ抵抗器を用
いればよい。
オード（太陽電池）を対象としたが、この素子は温度に
対して負の出方電圧係数をもつので抵抗器には正の温度
係数をもたせて補償するようにした。しかし光電変換素
子として正の出力電圧係数をもつものを用いた場合は、
抵抗器としては負の係数を有するサーミスタ抵抗器を用
いればよい。
以上説明したように、ガスレーザ発振器ノ出力を一定に
するため、レーザ光の一部を光センサ部で検出し、その
検出信号をフィードバックしてレーザ電源制御を行なう
場合に、本発明は光センサ部の、光電変換素子の温度特
性を補償するように、負荷抵抗器の温度係数を選択する
ことによって、常に正しいガスレーザ発振器の出力制御
をなすことを可能とした。
するため、レーザ光の一部を光センサ部で検出し、その
検出信号をフィードバックしてレーザ電源制御を行なう
場合に、本発明は光センサ部の、光電変換素子の温度特
性を補償するように、負荷抵抗器の温度係数を選択する
ことによって、常に正しいガスレーザ発振器の出力制御
をなすことを可能とした。
第１図は本発明の一実施例である空冷アルゴンガスレー
ザ発振器の概略図、第２図はホトダイオード（太陽電池
）の温度特性図、第３図は従来例の発振器出力の温度特
性図である。 １・・・空冷アルゴンレーザ管、 ２・・・ビームスプリッタ、 ３・・・レーザ出力光、 ４・・・レーザ反射光、５
・・・ホトダイオード（太陽電池）、６・・・負荷抵抗
器、 ７・・・光センサ部。 特許出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 内 原 晋第１図 第２図 Ｊ￥Ｉ囲混度（０Ｃ） 第３図 眉囲温茂（’Ｃ）
ザ発振器の概略図、第２図はホトダイオード（太陽電池
）の温度特性図、第３図は従来例の発振器出力の温度特
性図である。 １・・・空冷アルゴンレーザ管、 ２・・・ビームスプリッタ、 ３・・・レーザ出力光、 ４・・・レーザ反射光、５
・・・ホトダイオード（太陽電池）、６・・・負荷抵抗
器、 ７・・・光センサ部。 特許出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 内 原 晋第１図 第２図 Ｊ￥Ｉ囲混度（０Ｃ） 第３図 眉囲温茂（’Ｃ）
Claims (1)
- レーザ出力の一部を光センサ部で検出し、その検出信号
をフィードバック信号として、レーザ出力を一定に制御
するガスレーザ発振器において、前記光センサ部が光電
変換素子に、その温度変化を補償する温度係数を有する
抵抗器を並列に接続してなることを特徴とするガスレー
ザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32050787A JPH01161883A (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32050787A JPH01161883A (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01161883A true JPH01161883A (ja) | 1989-06-26 |
Family
ID=18122219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32050787A Pending JPH01161883A (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01161883A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5499257A (en) * | 1993-01-07 | 1996-03-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Output control apparatus for laser oscillator |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60144622A (ja) * | 1984-01-09 | 1985-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光電式ロ−タリ−エンコ−ダの温度補償回路 |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP32050787A patent/JPH01161883A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60144622A (ja) * | 1984-01-09 | 1985-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光電式ロ−タリ−エンコ−ダの温度補償回路 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5499257A (en) * | 1993-01-07 | 1996-03-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Output control apparatus for laser oscillator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4431308A (en) | Laser angular speed detector employing non-optical output | |
| JP2686036B2 (ja) | アバランシェフォトダイオードのバイアス回路 | |
| JPH06326384A (ja) | 半導体レーザ素子駆動回路 | |
| JPS58171880A (ja) | 半導体レ−ザの波長制御装置 | |
| JPH0532917B2 (ja) | ||
| JPS5976490A (ja) | レ−ザ光制御装置 | |
| JPH0636454B2 (ja) | 半導体レ−ザ波長安定化装置 | |
| JP2898720B2 (ja) | 光非線形性発生装置 | |
| JPS59218520A (ja) | 自動制御回路 | |
| JPH05243664A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPS62282474A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| JP2734680B2 (ja) | 光検出法 | |
| JPH0447829B2 (ja) | ||
| JP2825833B2 (ja) | レーザーダイオード駆動装置 | |
| JPH05129706A (ja) | 半導体レーザ駆動制御回路 | |
| JP2511730B2 (ja) | 火炎検出器 | |
| JPH079412Y2 (ja) | アルゴンガスレ−ザ装置 | |
| SU1286062A2 (ru) | Фотоприемное устройство | |
| JPS59202035A (ja) | 光入力の電流電圧変換回路 | |
| JPS61248658A (ja) | レ−ザプリンタ | |
| JPH0246057Y2 (ja) | ||
| SU1372262A2 (ru) | Измеритель солнечной радиации | |
| JPH0468812B2 (ja) | ||
| JPH05129686A (ja) | 半導体レーザ駆動回路 | |
| JPH0530077B2 (ja) |